Apakah Salutan TAC CVD? - Veteksemi

Seperti yang kita semua kenal,tantalum karbida (TaC)mempunyai titik lebur sehingga 3880 ° C, kekuatan mekanikal yang tinggi, kekerasan, rintangan kejutan haba; lengai kimia yang baik dan kestabilan terma kepada ammonia, hidrogen, wap yang mengandungi silikon pada suhu tinggi.

Salutan karbida tantalum pada keratan rentas mikroskopik

Salutan TAC CVD, pemendapan wap kimia (CVD) daripadaSalutan Tantalum Carbide (TAC), ialah satu proses untuk membentuk salutan berketumpatan tinggi dan tahan lama pada substrat (biasanya grafit). Kaedah ini melibatkan mendepositkan TaC ke permukaan substrat pada suhu tinggi, menghasilkan salutan dengan kestabilan haba yang sangat baik dan rintangan kimia.

Kelebihan utama salutan CVD TaC termasuk:

●  Kestabilan haba yang sangat tinggi: Salutan Tantalum Carbide boleh menahan suhu melebihi 2200°C.

● Rintangan kimia: Salutan TaC CVD boleh menahan bahan kimia yang keras seperti hidrogen, ammonia dan wap silikon dengan berkesan.

● Lekatan yang kuat: Salutan TaC memastikan perlindungan tahan lama tanpa delaminasi.

● Kesucian yang tinggi: meminimumkan kekotoran, menjadikannya sesuai untuk aplikasi semikonduktor.

Salutan ini amat sesuai untuk persekitaran yang memerlukan ketahanan yang tinggi dan rintangan kepada keadaan yang melampau, seperti pembuatan semikonduktor dan proses perindustrian suhu tinggi.

Dalam pengeluaran perindustrian, grafit (Komposit karbon-karbon) bahan yang disalut dengan salutan TaC berkemungkinan besar menggantikan grafit ketulenan tinggi tradisional, salutan pBN, bahagian salutan SiC, dll. Selain itu, dalam bidang aeroangkasa, TaC mempunyai potensi besar untuk digunakan sebagai anti-pengoksidaan suhu tinggi dan salutan anti-ablasi, dan mempunyai prospek aplikasi yang luas. Walau bagaimanapun, masih terdapat banyak cabaran untuk mencapai penyediaan salutan TaC yang padat, seragam, tidak mengelupas pada permukaan grafit dan menggalakkan pengeluaran besar-besaran industri.

Dalam proses ini, meneroka mekanisme perlindungan salutan, berinovasi proses pengeluaran, dan bersaing dengan tahap asing teratas adalah penting untuk generasi ketigaPertumbuhan Kristal Semikonduktor dan Epitaxy.

Vetek Semiconductor adalah pengeluar Cina profesional CVD Tantalum Carbide Coating Products, dan kesucian salutan TAC kami adalah di bawah 5ppm, dapat memenuhi keperluan pelanggan. Veteksemi Produk Bersalut CVD TAC Utama Termasuk CVD TAC Coating Crucible, Pembawa Wafer Salutan CVD TaC, Pembawa Salutan TaC CVD, Penutup Salutan TaC CVD,  Cincin salutan CVD TAC. Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan penyelesaian lanjutan untuk pelbagai produk salutan untuk industri semikonduktor. Vetek Semiconductor dengan tulus berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

E -mel: anny@veteksemi.com