Produk

Karbida silikon pepejal

Vetek semikonduktor silikon pepejal karbida adalah komponen seramik penting dalam peralatan etsa plasma, karbida silikon pepejal (CVD Silicon Carbide) Bahagian dalam peralatan etsa termasukMemfokuskan cincin, kepala mandi gas, dulang, cincin tepi, dan lain -lain. Oleh kerana kereaktifan dan kekonduksian rendah karbida silikon pepejal (CVD silikon karbida) ke gas klorin - dan gas etsa yang mengandungi fluorin, ia adalah bahan yang ideal untuk peralatan etching plasma yang memberi tumpuan cincin dan komponen lain.


Sebagai contoh, cincin fokus adalah bahagian penting yang diletakkan di luar wafer dan bersentuhan langsung dengan wafer, dengan menggunakan voltan ke cincin untuk memfokuskan plasma melalui cincin, dengan itu memfokuskan plasma pada wafer untuk meningkatkan keseragaman pemprosesan. Cincin fokus tradisional diperbuat daripada silikon ataukuarza, silikon konduktif sebagai bahan cincin tumpuan yang sama, hampir hampir dengan kekonduksian wafer silikon, tetapi kekurangannya adalah rintangan etsa yang lemah dalam plasma yang mengandungi fluorin, bahan-bahan bahagian mesin yang sering digunakan untuk tempoh masa, akan ada fenomena kakisan yang serius, dengan serius mengurangkan kecekapan pengeluarannya.


Scincin fokus olid sicPrinsip kerja

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Perbandingan cincin fokus berasaskan Si dan cvd sic fokus cincin:

Perbandingan cincin fokus berasaskan Si dan cincin fokus cvd sic
Item Dan Cvd sic
Ketumpatan (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Kekonduksian terma (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
Modulus Elastik (GPA) 150 440
Kekerasan (GPA) 11.4 24.5
Rintangan untuk haus dan kakisan Miskin Cemerlang


Vetek Semiconductor menawarkan bahagian -bahagian silikon karbida pepejal (CVD silikon karbida) seperti cincin fokus SIC untuk peralatan semikonduktor. Cincin silikon pepejal kami yang memfokuskan cincin mengatasi silikon tradisional dari segi kekuatan mekanikal, rintangan kimia, kekonduksian terma, ketahanan suhu tinggi, dan rintangan etsa ion.


Ciri -ciri utama cincin fokus SIC kami termasuk:

Ketumpatan tinggi untuk mengurangkan kadar etsa.

Penebat yang sangat baik dengan bandgap yang tinggi.

Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali rendah pengembangan haba.

Rintangan kesan mekanikal dan keanjalan.

Kekerasan tinggi, rintangan haus, dan rintangan kakisan.

Dihasilkan menggunakanPemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma (PECVD)Teknik, cincin fokus SIC kami memenuhi peningkatan permintaan proses etsa dalam pembuatan semikonduktor. Mereka direka untuk menahan kuasa dan tenaga plasma yang lebih tinggi, khususnya dalamPlasma ditambah kapasitive (PKC)sistem.

Cincin fokus SIC Vetek Semiconductor memberikan prestasi dan kebolehpercayaan yang luar biasa dalam pembuatan peranti semikonduktor. Pilih komponen SIC kami untuk kualiti dan kecekapan unggul.


View as  
 
Kepala mandi grafit bersalut cvd sic

Kepala mandi grafit bersalut cvd sic

Kepala mandi grafit bersalut CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen berprestasi tinggi yang direka khusus untuk proses pemendapan wap kimia semikonduktor (CVD). Dikeluarkan dari grafit kemelut tinggi dan dilindungi dengan salutan silikon pemendapan wap (CVD) karbida (SIC), kepala pancuran ini memberikan ketahanan yang luar biasa, kestabilan haba, dan ketahanan terhadap gas proses yang menghakis. Nantikan perundingan lanjut anda.
Cincin tepi sic

Cincin tepi sic

Veteksemicon cincin kelebihan sic-sic, direka khas untuk peralatan etsa semikonduktor, mempunyai rintangan kakisan yang luar biasa dan kestabilan terma, meningkatkan hasil wafer dengan ketara
Bahan mentah CVD sic tinggi

Bahan mentah CVD sic tinggi

Bahan mentah CVD sic yang tinggi yang disediakan oleh CVD adalah bahan sumber terbaik untuk pertumbuhan kristal karbida silikon oleh pengangkutan wap fizikal. Ketumpatan bahan mentah CVD sic yang tinggi yang dibekalkan oleh vetek semikonduktor adalah lebih tinggi daripada zarah-zarah kecil yang dibentuk oleh pembakaran spontan gas Si dan C yang mengandungi, dan ia tidak memerlukan relau sintering khusus dan mempunyai kadar penyejatan yang hampir berterusan. Ia boleh tumbuh kristal tunggal SIC yang sangat tinggi. Nantikan pertanyaan anda.
Pembawa wafer sic pepejal

Pembawa wafer sic pepejal

Pembawa Wafer Sic Wafer SIC Vetek direka untuk persekitaran yang tinggi dan persekitaran tahan kakisan dalam proses epitaxial semikonduktor dan sesuai untuk semua jenis proses pembuatan wafer dengan keperluan kesucian yang tinggi. Vetek Semiconductor adalah pembekal pembawa wafer terkemuka di China dan berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda dalam industri semikonduktor.
Kepala mandi berbentuk cakera sic pepejal

Kepala mandi berbentuk cakera sic pepejal

Vetek Semiconductor adalah pengeluar peralatan semikonduktor terkemuka di China dan pengilang profesional dan pembekal kepala mandi berbentuk cakera SIC yang padat. Kepala mandi bentuk cakera kami digunakan secara meluas dalam pengeluaran pemendapan filem nipis seperti proses CVD untuk memastikan pengedaran seragam gas reaksi dan merupakan salah satu komponen teras relau CVD.
Bahagian pengedap sic

Bahagian pengedap sic

Sebagai pengeluar produk dan kilang bahagian SIC Sealing di China. Vetek Semiconducto SIC Sealing Bahagian adalah komponen pengedap berprestasi tinggi yang digunakan secara meluas dalam pemprosesan semikonduktor dan lain-lain proses tekanan tinggi dan tekanan tinggi yang melampau. Selamat datang perundingan lanjut anda.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Karbida silikon pepejal di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept