Produk

Karbida silikon pepejal

Vetek semikonduktor silikon pepejal karbida adalah komponen seramik penting dalam peralatan etsa plasma, karbida silikon pepejal (CVD Silicon Carbide) Bahagian dalam peralatan etsa termasukMemfokuskan cincin, kepala mandi gas, dulang, cincin tepi, dan lain -lain. Oleh kerana kereaktifan dan kekonduksian rendah karbida silikon pepejal (CVD silikon karbida) ke gas klorin - dan gas etsa yang mengandungi fluorin, ia adalah bahan yang ideal untuk peralatan etching plasma yang memberi tumpuan cincin dan komponen lain.


Sebagai contoh, cincin fokus adalah bahagian penting yang diletakkan di luar wafer dan bersentuhan langsung dengan wafer, dengan menggunakan voltan ke cincin untuk memfokuskan plasma melalui cincin, dengan itu memfokuskan plasma pada wafer untuk meningkatkan keseragaman pemprosesan. Cincin fokus tradisional diperbuat daripada silikon ataukuarza, silikon konduktif sebagai bahan cincin tumpuan yang sama, hampir hampir dengan kekonduksian wafer silikon, tetapi kekurangannya adalah rintangan etsa yang lemah dalam plasma yang mengandungi fluorin, bahan-bahan bahagian mesin yang sering digunakan untuk tempoh masa, akan ada fenomena kakisan yang serius, dengan serius mengurangkan kecekapan pengeluarannya.


Scincin fokus olid sicPrinsip kerja

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Perbandingan cincin fokus berasaskan Si dan cvd sic fokus cincin:

Perbandingan cincin fokus berasaskan Si dan cincin fokus cvd sic
Item Dan Cvd sic
Ketumpatan (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Kekonduksian terma (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
Modulus Elastik (GPA) 150 440
Kekerasan (GPA) 11.4 24.5
Rintangan untuk haus dan kakisan Miskin Cemerlang


Vetek Semiconductor menawarkan bahagian -bahagian silikon karbida pepejal (CVD silikon karbida) seperti cincin fokus SIC untuk peralatan semikonduktor. Cincin silikon pepejal kami yang memfokuskan cincin mengatasi silikon tradisional dari segi kekuatan mekanikal, rintangan kimia, kekonduksian terma, ketahanan suhu tinggi, dan rintangan etsa ion.


Ciri -ciri utama cincin fokus SIC kami termasuk:

Ketumpatan tinggi untuk mengurangkan kadar etsa.

Penebat yang sangat baik dengan bandgap yang tinggi.

Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali rendah pengembangan haba.

Rintangan kesan mekanikal dan keanjalan.

Kekerasan tinggi, rintangan haus, dan rintangan kakisan.

Dihasilkan menggunakanPemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma (PECVD)Teknik, cincin fokus SIC kami memenuhi peningkatan permintaan proses etsa dalam pembuatan semikonduktor. Mereka direka untuk menahan kuasa dan tenaga plasma yang lebih tinggi, khususnya dalamPlasma ditambah kapasitive (PKC)sistem.

Cincin fokus SIC Vetek Semiconductor memberikan prestasi dan kebolehpercayaan yang luar biasa dalam pembuatan peranti semikonduktor. Pilih komponen SIC kami untuk kualiti dan kecekapan unggul.


View as  
 
Kepala Pancuran SiC Gas Pepejal

Kepala Pancuran SiC Gas Pepejal

Kepala mandi gas pepejal memainkan peranan utama dalam membuat seragam gas dalam proses CVD, dengan itu memastikan pemanasan seragam substrat. Vetek Semiconductor telah terlibat dalam bidang peranti SIC pepejal selama bertahun -tahun dan dapat menyediakan pelanggan dengan kepala mandi gas pepejal yang disesuaikan. Tidak kira apa keperluan anda, kami menantikan pertanyaan anda.
Proses pemendapan wap kimia cincin tepi pepejal

Proses pemendapan wap kimia cincin tepi pepejal

Vetek Semiconductor sentiasa berkomitmen untuk penyelidikan dan pembangunan dan pembuatan bahan semikonduktor canggih. Hari ini, Vetek Semiconductor telah membuat kemajuan yang besar dalam proses pemendapan wap kimia yang solid sol edge cincin produk dan dapat menyediakan pelanggan dengan cincin kelebihan pepejal yang sangat disesuaikan. Cincin kelebihan pepejal memberikan keseragaman etsa yang lebih baik dan kedudukan wafer yang tepat apabila digunakan dengan chuck elektrostatik, memastikan hasil etsa yang konsisten dan boleh dipercayai. Nantikan pertanyaan anda dan menjadi rakan kongsi jangka panjang masing-masing.
Cincin fokus sic sic pepejal

Cincin fokus sic sic pepejal

Cincin fokus pepejal pepejal adalah salah satu komponen teras proses etsa wafer, yang memainkan peranan dalam memperbaiki wafer, memfokuskan plasma dan meningkatkan keseragaman etsa wafer. Sebagai pengeluar cincin fokus SIC terkemuka di China, Vetek Semiconductor mempunyai teknologi canggih dan proses yang matang, dan mengeluarkan cincin fokus sol pepejal yang memenuhi keperluan pelanggan akhir mengikut keperluan pelanggan. Kami mengharapkan pertanyaan anda dan menjadi rakan kongsi jangka panjang masing-masing.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Karbida silikon pepejal di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept