Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.
Produk utama ialah Cincin Pemandu Bersalut TaC, Cincin Pemandu Tiga Kelopak Bersalut CVD TaC, Setengah Bulan Bersalut Tantalum Carbide TaC, Suseptor epitaxial SiC salutan CVD TaC, Cincin Salutan Tantalum Karbida, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Cincin Suseptor Putaran TaC Coating, Wastalum TaC Carbide Coating, Plate TaC Coating Susceptor susceptor, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaC dll., ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.
Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:
Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC PVT. Ia juga mempunyai aplikasi kaedah pertumbuhan kristal SiC yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC.
Ciri-ciri Utama
● Kestabilan suhu sehingga 2500°C dengan rintangan yang sangat baik terhadap kejutan haba.
● Ketulenan ultra tinggi (<5ppm) dan lekatan yang kuat pada grafit untuk penjanaan zarah yang minimum.
● Rintangan unggul kepada wap H₂, NH₃, SiH₄ dan Si dalam persekitaran proses yang keras.
● Liputan salutan selaras dengan keupayaan saiz sehingga diameter 750mm, tersedia secara unik di China.
Spesifikasi Produk
Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:
| Sifat fizikal salutan TaC |
| Ketumpatan |
14.3 g/cm³ |
| Kekerasan |
2000 HK |
| Pengembangan terma |
6.3×10⁻⁶/K |
| Rintangan |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Kestabilan terma |
<2500°C |
| Ketebalan salutan |
≥20μm (biasa 35±10μm) |
salutan karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:
Data EDX lapisan TaC:
Data struktur kristal lapisan TaC:
| unsur |
Peratus atom |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Purata |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Aplikasi
Untuk memenuhi pelbagai keperluan proses semikonduktor, VeTek menawarkan produk Salutan Tantalum Carbide yang disasarkan. Jadual berikut mengklasifikasikannya mengikut kawasan aplikasi utama, menyenaraikan komponen biasa dan proses yang berkenaan:
| Medan Permohonan |
Produk Biasa |
Penerangan Permohonan |
| Epitaksi SiC |
Susceptor planet bersalut CVD TaC,Suseptor wafer bersalut TaC,Cincin panduan bersalut TaC
|
Sesuai untuk proses epitaxial SiC suhu tinggi (cth., kaedah LPE), menyediakan kestabilan terma yang tinggi dan antara muka pencemaran yang rendah untuk memastikan keseragaman filem. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
Kepala pancuran mandian, cakera satelit, cincin pelekat, pelindung haba, muncung suntikan |
Sesuai untuk sistem Aixtron MOCVD, tahan kakisan H₂/NH₃, mengurangkan pencemaran zarah dan meningkatkan hasil epitaxial LED. |
| Pertumbuhan Kristal SiC (Kaedah PVT) |
grafit berliang bersalut TaC,halfmoon bersalut TaC,cincin panduan,penutup,chuck
|
Digunakan dalam pertumbuhan jongkong PVT SiC, tahan sehingga 2500°C, menghalang tindak balas grafit, dan memastikan ketulenan kristal. |
| Komponen Pemanasan & Penyokong Suhu Tinggi |
Suseptor pemanasan induktif,elemen pemanasan rintangan, pembawa wafer
|
Sesuai untuk sistem pemanasan aruhan atau rintangan, menawarkan kekerasan tinggi dan rintangan kejutan haba, memanjangkan jangka hayat komponen sebanyak 3-5 kali. |
Untuk penyelesaian padanan proses yang lebih terperinci, sila rujuk kepadaEpitaksi Silikon Karbidahalaman permohonan berkaitan.
Kami menyokong perkhidmatan tersuai berdasarkan keperluan pelanggan. Lulus ISO9001 dengan kawalan kualiti yang baik.
Dialu-alukan untuk menghubungi kami untuk perundingan lanjut atau tinggalkan mesej
