Produk

Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.


Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.


Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:


Excellent properties of TaC coating graphite


Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.


Ciri-ciri Utama:

 ●Kestabilan suhu

 ●Ketulenan ultra tinggi

 ●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

 ●Rintangan kepada stok haba

 ●Lekatan yang kuat pada grafit

 ●Liputan salutan selaras

 Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Suseptor pemanasan induktif

 ● Elemen pemanasan rintangan

 ●Cakera satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin pemandu

 ●Penerima Epi LED

 ●Muncung suntikan

 ●Cincin bertopeng

 ● Perisai haba


Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan 14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus 0.3
Pekali pengembangan terma 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000 HK
Rintangan 1×10-5Ohm*cm
Kestabilan terma <2500 ℃
Perubahan saiz grafit -10~-20um
Ketebalan salutan ≥20um nilai biasa (35um±10um)


Data EDX salutan TaC

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur Peratus atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Purata
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan pvt kristal tunggal sic

Cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan pvt kristal tunggal sic

Sebagai salah satu pembekal produk salutan TAC terkemuka di China, Vetek Semiconductor dapat menyediakan pelanggan dengan bahagian-bahagian yang disesuaikan dengan TAC yang berkualiti tinggi. Cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan PVT SIC Single Crystal adalah salah satu produk Vetek Semikonduktor yang paling cemerlang dan matang. Ia memainkan peranan penting dalam pertumbuhan PVT proses kristal SIC dan dapat membantu pelanggan mengembangkan kristal SIC berkualiti tinggi. Nantikan pertanyaan anda.
CVD TAC Ceret Tiga Petal Panduan

CVD TAC Ceret Tiga Petal Panduan

Vetek Semiconductor telah mengalami banyak pembangunan teknologi dan telah menguasai teknologi proses terkemuka salutan CVD TAC. CVD TAC bersalut cincin panduan tiga-petal adalah salah satu produk salutan CVD TAC yang paling matang Vetek Semetonductor dan merupakan komponen penting untuk menyediakan kristal SIC dengan kaedah PVT. Dengan bantuan Vetek Semiconductor, saya percaya pengeluaran kristal SIC anda akan lebih lancar dan lebih cekap.
Cincin salutan karbida Tantalum

Cincin salutan karbida Tantalum

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Ring adalah komponen yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor, khususnya dalam etsa wafer SIC. Gabungan asas grafit dan salutan TAC memastikan prestasi unggul dalam persekitaran suhu tinggi dan kimia yang agresif. Dengan kestabilan haba yang dipertingkatkan, rintangan kakisan, dan kekuatan mekanikal, cincin bersalut karbida tantalum membantu pengeluar semikonduktor mencapai ketepatan, kebolehpercayaan, dan hasil yang berkualiti tinggi dalam proses pengeluaran mereka.
Cincin salutan TAC

Cincin salutan TAC

Cincin salutan TAC adalah komponen berprestasi tinggi yang direka untuk digunakan dalam proses semikonduktor, cincin salutan TAC semikonduktor Vetek mempunyai kestabilan haba yang tinggi, ketahanan terhadap kakisan kimia, dan kekuatan mekanikal yang sangat baik dan digunakan secara khusus untuk memegang dan menyokong sic wafer semasa proses etching, di mana kawalan dan ketahanan yang tepat adalah penting untuk mencapai wafer berkualiti tinggi. Kami menantikan perundingan lanjut anda.
TAC Coating Crucible

TAC Coating Crucible

Sebagai pembekal dan pengilang salutan TAC yang profesional di China, salutan TAC Coating Vetek semikonduktor memainkan peranan yang tidak dapat ditukar dalam proses pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor dengan kekonduksian terma yang sangat baik, kestabilan kimia yang cemerlang dan rintangan kakisan yang dipertingkatkan. Selamat datang pertanyaan lanjut anda.
Cincin panduan bersalut karbida Tantalum

Cincin panduan bersalut karbida Tantalum

Sebagai pembekal dan pengilang cincin Panduan TAC yang terkemuka di China, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Guide Ring adalah komponen penting yang digunakan untuk membimbing dan mengoptimumkan aliran gas reaktif dalam kaedah PVT (pengangkutan wap fizikal). Ia menggalakkan pemendapan seragam kristal tunggal SIC di zon pertumbuhan dengan menyesuaikan pengedaran dan kelajuan aliran gas. Vetek Semiconductor adalah pengeluar dan pembekal terkemuka cincin panduan salutan TAC di China dan bahkan di dunia, dan kami menantikan konsultasi anda.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept