Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.
Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.
Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:
Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.
Ciri-ciri Utama:
●Kestabilan suhu
●Ketulenan ultra tinggi
●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si
●Rintangan kepada stok haba
●Lekatan yang kuat pada grafit
●Liputan salutan selaras
● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)
Aplikasi:
●Pembawa wafer
● Suseptor pemanasan induktif
● Elemen pemanasan rintangan
●Cakera satelit
●Kepala pancuran
●Cincin pemandu
●Penerima Epi LED
●Muncung suntikan
●Cincin bertopeng
● Perisai haba
Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:
Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:
|
Sifat fizikal salutan TaC
|
|
Ketumpatan
|
14.3 (g/cm³)
|
|
Pemancaran khusus
|
0.3
|
|
Pekali pengembangan terma
|
6.3 10-6/K
|
|
Kekerasan (HK)
|
2000 HK
|
|
Rintangan
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Kestabilan terma
|
<2500 ℃
|
|
Perubahan saiz grafit
|
-10~-20um
|
|
Ketebalan salutan
|
≥20um nilai biasa (35um±10um)
|
Data EDX salutan TaC：
Data struktur kristal lapisan TaC:
|
unsur
|
Peratus atom
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Purata
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
