Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.

Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:

Excellent properties of TaC coating graphite

Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.

Ciri-ciri Utama:

●Kestabilan suhu

●Ketulenan ultra tinggi

●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

●Rintangan kepada stok haba

●Lekatan yang kuat pada grafit

●Liputan salutan selaras

● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Suseptor pemanasan induktif

● Elemen pemanasan rintangan

●Cakera satelit

●Kepala pancuran

●Cincin pemandu

●Penerima Epi LED

●Muncung suntikan

●Cincin bertopeng

● Perisai haba

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10^-5Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Data EDX salutan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur	Peratus atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Purata
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Salutan TaC Cakera Planetary Salutan TaC
Plat Bersalut TaC Plat Putaran Salutan TaC Penerima salutan TaC Penutup salutan CVD TaC Cincin Salutan CVD TaC Plat Salutan TaC

View as

Tiub salutan TAC

Tiub salutan TAC Vetek Semiconductor adalah komponen utama untuk pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida silikon. Dengan rintangan suhu yang tinggi, ketidakseimbangan kimia dan prestasi yang sangat baik, yang memastikan pengeluaran kristal berkualiti tinggi dengan hasil yang konsisten. Percayalah penyelesaian inovatif kami untuk meningkatkan kaedah pertumbuhan kristal PVT anda dan mencapai hasil yang sangat baik. Selamat datang untuk menyiasat kami.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Bahagian ganti salutan TAC

Salutan TAC kini digunakan terutamanya dalam proses seperti Silicon Carbide Single Crystal Growth (PVT Method), cakera epitaxial (termasuk epitaxy karbida silikon, epitaxy LED), dan lain-lain. Kami menantikan anda menjadi rakan kongsi jangka panjang kami.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Gan pada penerima EPI

GaN pada Sic Epi Susceptor memainkan peranan penting dalam pemprosesan semikonduktor melalui kekonduksian terma yang sangat baik, keupayaan pemprosesan suhu tinggi dan kestabilan kimia, dan memastikan kecekapan tinggi dan kualiti material proses pertumbuhan epitaxial GAN. Vetek Semiconductor adalah pengeluar profesional China GAN pada SIC EPI SUSCEPTOR, kami dengan tulus menantikan konsultasi lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Pembawa salutan CVD TAC

Pembawa salutan CVD TAC terutamanya direka untuk proses epitaxial pembuatan semikonduktor. CVD TAC Coating Coating's Ultra-High Point, rintangan kakisan yang sangat baik, dan kestabilan terma yang luar biasa menentukan kebolehpercayaan produk ini dalam proses epitaxial semikonduktor. Selamat datang pertanyaan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Penerima Grafit Bersalut TaC

Susceptor Grafit Bersalut TaC Semiconductor menggunakan kaedah pemendapan wap kimia (CVD) untuk menyediakan salutan tantalum karbida pada permukaan bahagian grafit. Proses ini adalah yang paling matang dan mempunyai sifat salutan yang terbaik. Susceptor Grafit Bersalut TaC boleh memanjangkan hayat perkhidmatan komponen grafit, menghalang penghijrahan kekotoran grafit dan memastikan kualiti epitaksi. Kami menantikan pertanyaan anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Subser salutan TAC

Vetek Semiconductor membentangkan Salceptor Salutan TAC, dengan salutan TAC yang luar biasa, pemotong ini menawarkan banyak kelebihan yang membezakannya daripada penyelesaian konvensional. Menggalakkan dengan lancar ke dalam sistem yang sedia ada, Salceptor Salutan TAC dari Vetek Semiconductor menjamin keserasian dan operasi yang cekap. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan TAC berkualiti tinggi secara konsisten memberikan hasil yang luar biasa dalam proses epitaxy SIC. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Salutan Tantalum Carbide

Ciri-ciri Utama:

Aplikasi:

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Data EDX salutan TaC：

Data struktur kristal lapisan TaC:

Tiub salutan TAC

Bahagian ganti salutan TAC

Gan pada penerima EPI

Pembawa salutan CVD TAC

Penerima Grafit Bersalut TaC

Subser salutan TAC

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat