Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.

Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:

Excellent properties of TaC coating graphite

Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.

Ciri-ciri Utama:

●Kestabilan suhu

●Ketulenan ultra tinggi

●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

●Rintangan kepada stok haba

●Lekatan yang kuat pada grafit

●Liputan salutan selaras

● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Suseptor pemanasan induktif

● Elemen pemanasan rintangan

●Cakera satelit

●Kepala pancuran

●Cincin pemandu

●Penerima Epi LED

●Muncung suntikan

●Cincin bertopeng

● Perisai haba

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10^-5Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Data EDX salutan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur	Peratus atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Purata
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Salutan TaC Cakera Planetary Salutan TaC
Plat Bersalut TaC Plat Putaran Salutan TaC Penerima salutan TaC Penutup salutan CVD TaC Cincin Salutan CVD TaC Plat Salutan TaC

View as

SPOLED PUTIHAN TAC Coating

Sebagai pengeluar profesional, inovator dan pemimpin produk Salce Salceptor TAC di China. Vetek Semiconductor TAC Coating Rotation Susceptor biasanya dipasang dalam pemendapan wap kimia (CVD) dan peralatan epitaxy rasuk molekul (MBE) untuk menyokong dan memutar wafer untuk memastikan pemendapan bahan seragam dan tindak balas yang cekap. Ia adalah komponen utama dalam pemprosesan semikonduktor. Selamat datang perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

CVD TAC Coating Crucible

Vetek Semiconductor adalah pengeluar profesional dan pemimpin produk CVD TAC Coating Crucible di China. CVD TAC Coating Crucible adalah berdasarkan salutan Tantalum Carbon (TAC). Lapisan karbon Tantalum sama rata di permukaan yang boleh dilepaskan melalui proses pemendapan wap kimia (CVD) untuk meningkatkan rintangan haba dan rintangan kakisannya. Ia adalah alat bahan yang digunakan secara khusus dalam persekitaran yang melampau suhu tinggi. Selamat datang perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Sebagai pengeluar produk dan kilang pembawa wafer CVD TAC profesional di China, Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier adalah alat pembawa wafer yang direka khas untuk persekitaran yang tinggi dan persekitaran yang menghakis dalam pembuatan semikonduktor. dan CVD TAC Coating Wafer Carrier mempunyai kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik dan kestabilan haba, memberikan jaminan yang diperlukan untuk pembuatan peranti semikonduktor berkualiti tinggi. Pertanyaan lanjut anda dialu -alukan.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Pemanas salutan TAC

Pemanas Salutan TaC Semikonduktor VeTek mempunyai takat lebur yang sangat tinggi (kira-kira 3880°C). Takat lebur yang tinggi membolehkan ia beroperasi pada suhu yang sangat tinggi, terutamanya dalam pertumbuhan lapisan epitaxial galium nitrida (GaN) dalam proses pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD). VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan pelanggan dengan penyelesaian produk tersuai. Kami berharap untuk mendengar daripada anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Salutan TAC CVD

VeTek Semiconductor ialah pengeluar produk Salutan TAC CVD terkemuka di china. Selama bertahun-tahun, kami telah menumpukan pada pelbagai produk Salutan TAC CVD seperti penutup salutan CVD TaC, Cincin Salutan CVD TaC. VeTek Semiconductor menyokong perkhidmatan produk tersuai dan harga produk yang memuaskan, dan mengharapkan perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

TAC bersalut Chuck

Dengan rintangan suhu yang tinggi, inertness kimia dan prestasi yang sangat baik, chuck bersalut TAC Vetek semikonduktor direka untuk relau semikonduktor. Kami percaya bahawa produk kami boleh membawa anda penyelesaian teknologi canggih dan produk yang berkualiti.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Salutan Tantalum Carbide

Ciri-ciri Utama:

Aplikasi:

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Data EDX salutan TaC：

Data struktur kristal lapisan TaC:

SPOLED PUTIHAN TAC Coating

CVD TAC Coating Crucible

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Pemanas salutan TAC

Salutan TAC CVD

TAC bersalut Chuck

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat