Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.

Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:

Excellent properties of TaC coating graphite

Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.

Ciri-ciri Utama:

●Kestabilan suhu

●Ketulenan ultra tinggi

●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

●Rintangan kepada stok haba

●Lekatan yang kuat pada grafit

●Liputan salutan selaras

● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Suseptor pemanasan induktif

● Elemen pemanasan rintangan

●Cakera satelit

●Kepala pancuran

●Cincin pemandu

●Penerima Epi LED

●Muncung suntikan

●Cincin bertopeng

● Perisai haba

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10^-5Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Data EDX salutan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur	Peratus atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Purata
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Salutan TaC Cakera Planetary Salutan TaC
Plat Bersalut TaC Plat Putaran Salutan TaC Penerima salutan TaC Penutup salutan CVD TaC Cincin Salutan CVD TaC Plat Salutan TaC

View as

Cincin salutan TAC

Cincin salutan TAC adalah komponen berprestasi tinggi yang direka untuk digunakan dalam proses semikonduktor, cincin salutan TAC semikonduktor Vetek mempunyai kestabilan haba yang tinggi, ketahanan terhadap kakisan kimia, dan kekuatan mekanikal yang sangat baik dan digunakan secara khusus untuk memegang dan menyokong sic wafer semasa proses etching, di mana kawalan dan ketahanan yang tepat adalah penting untuk mencapai wafer berkualiti tinggi. Kami menantikan perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

TAC Coating Crucible

Sebagai pembekal dan pengilang salutan TAC yang profesional di China, salutan TAC Coating Vetek semikonduktor memainkan peranan yang tidak dapat ditukar dalam proses pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor dengan kekonduksian terma yang sangat baik, kestabilan kimia yang cemerlang dan rintangan kakisan yang dipertingkatkan. Selamat datang pertanyaan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Cincin panduan bersalut karbida Tantalum

Sebagai pembekal dan pengilang cincin Panduan TAC yang terkemuka di China, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Guide Ring adalah komponen penting yang digunakan untuk membimbing dan mengoptimumkan aliran gas reaktif dalam kaedah PVT (pengangkutan wap fizikal). Ia menggalakkan pemendapan seragam kristal tunggal SIC di zon pertumbuhan dengan menyesuaikan pengedaran dan kelajuan aliran gas. Vetek Semiconductor adalah pengeluar dan pembekal terkemuka cincin panduan salutan TAC di China dan bahkan di dunia, dan kami menantikan konsultasi anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Grafit berliang bersalut karbida Tantalum

Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide adalah produk yang sangat diperlukan dalam proses pemprosesan semikonduktor, terutamanya dalam proses pertumbuhan kristal SIC. Selepas pelaburan R&D dan peningkatan teknologi yang berterusan, kualiti produk TaC Coated Porous Graphite VeTek Semiconductor telah mendapat pujian tinggi daripada pelanggan Eropah dan Amerika. Selamat datang ke perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

CVD TaC salutan susceptor epitaxial SiC planet

Susceptor epitaxial SiC salutan CVD TaC ialah salah satu komponen teras reaktor planet MOCVD. Melalui salutan CVD TaC susceptor epitaxial planet SiC, orbit cakera besar dan cakera kecil berputar, dan model aliran mendatar dilanjutkan kepada mesin berbilang cip, supaya ia mempunyai kedua-dua pengurusan keseragaman panjang gelombang epitaxial berkualiti tinggi dan pengoptimuman kecacatan tunggal. -mesin cip dan kelebihan kos pengeluaran mesin berbilang cip.VeTek Semiconductor boleh menyediakan pelanggan dengan salutan CVD TaC yang sangat disesuaikan suseptor epitaxial SiC planet. Jika anda juga ingin membuat relau MOCVD planet seperti Aixtron, datang kepada kami!

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Cincin bersalut TAC

Sebagai pengilang terkemuka dan pembekal produk cincin bersalut TAC di China, Vetek Semiconductor telah memberi tumpuan kepada R & D dan pengeluaran pelbagai produk salutan TAC. Sebagai pelanggan utama produk salutan TAC, pengeluar Eropah dan Amerika telah memberi pujian yang tinggi kepada produk salutan kami. Selamat datang ke konsultasi lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Salutan Tantalum Carbide

Ciri-ciri Utama:

Aplikasi:

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Data EDX salutan TaC：

Data struktur kristal lapisan TaC:

Cincin salutan TAC

TAC Coating Crucible

Cincin panduan bersalut karbida Tantalum

Grafit berliang bersalut karbida Tantalum

CVD TaC salutan susceptor epitaxial SiC planet

Cincin bersalut TAC

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat