VeTek Semiconductor ialah rakan kongsi anda yang inovatif dalam bidang pemprosesan semikonduktor. Dengan portfolio gabungan bahan Seramik Karbida Silikon gred semikonduktor kami yang luas, keupayaan pembuatan komponen dan perkhidmatan kejuruteraan aplikasi, kami boleh membantu anda mengatasi cabaran yang ketara. Seramik Silicon Carbide teknikal kejuruteraan digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor kerana prestasi bahannya yang luar biasa. Seramik Karbida Silikon Ultra-tulen Semikonduktor VeTek kerap digunakan sepanjang keseluruhan kitaran pembuatan dan pemprosesan semikonduktor.
RESAPAN & PEMPROSESAN LPCVD
VeTek Semiconductor menyediakan komponen seramik kejuruteraan yang direka khusus untuk resapan kelompok dan keperluan LPCVD termasuk:
● Penyekat & pemegang
● Penyuntik
● Pelapik & tiub proses
● Pendayung Cantilever Silicon Carbide
● Bot wafer dan alas
KOMPONEN PROSES ETCH
Meminimumkan pencemaran dan penyelenggaraan tidak berjadual dengan komponen ketulenan tinggi yang direka bentuk untuk ketelitian pemprosesan etsa plasma, termasuk:
● Fokus berdering
● Muncung
● Perisai
● Kepala pancuran mandian
● Tingkap / Penutup
● Komponen tersuai lain
PEMPROSESAN TERMA PANTAS & KOMPONEN PROSES EPITAXIAL
VeTek Semiconductor menyediakan komponen bahan termaju yang disesuaikan untuk aplikasi pemprosesan terma suhu tinggi dalam industri semikonduktor. Aplikasi ini merangkumi RTP, proses Epi, resapan, pengoksidaan dan penyepuhlindapan. Seramik teknikal kami direka untuk menahan kejutan haba, memberikan prestasi yang boleh dipercayai dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, pengeluar semikonduktor boleh mencapai pemprosesan haba yang cekap dan berkualiti tinggi, menyumbang kepada kejayaan keseluruhan pengeluaran semikonduktor.
● Penyebar
● Penebat
● Susceptors
● Komponen terma tersuai lain
Ciri-ciri Utama
● Ketulenan ultra tinggi: Kandungan SiC >99.96%, silikon bebas <0.1%, meminimumkan pencemaran logam.
● Prestasi suhu tinggi yang sangat baik: suhu kerja sehingga 1600°C (pengoksidaan) / 1700°C (mengurangkan).
● Rintangan kejutan haba yang unggul dan pengembangan haba yang rendah untuk prestasi yang boleh dipercayai di bawah kitaran haba yang pantas.
● Kekuatan mekanikal yang tinggi (mampatan >600 MPa) dan lengai kimia terhadap gas proses dan plasma.
● Rangkaian produk yang komprehensif untuk proses resapan/LPCVD, etch, RTP dan epi — daripada bot wafer hingga cincin fokus dan bahagian tersuai.
● Hayat perkhidmatan yang panjang dan penjanaan zarah yang berkurangan, membantu mengurangkan kekerapan penyelenggaraan dan meningkatkan hasil.
Spesifikasi Produk
Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula
| Harta benda |
Nilai Biasa |
| Suhu kerja (°C) |
1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran) |
| Kandungan SiC / SiC |
> 99.96% |
| Kandungan Si / Percuma Si |
< 0.1% |
| Ketumpatan pukal |
2.60-2.70 g/cm³ |
| Keliangan yang ketara |
< 16% |
| Kekuatan mampatan |
> 600 MPa |
| Kekuatan lenturan sejuk |
80-90 MPa (20°C) |
| Kekuatan lenturan panas |
90-100 MPa (1400°C) |
| Pengembangan terma @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| Kekonduksian terma @1200°C |
23 W/m·K |
| Modulus elastik |
240 GPa |
| Rintangan kejutan terma |
Sangat baik |
Aplikasi
Untuk memenuhi pelbagai keperluan proses semikonduktor, VeTek menawarkan produk Seramik Silicon Carbide yang disasarkan. Jadual berikut mengklasifikasikannya mengikut bidang aplikasi utama:
| Medan Permohonan |
Produk Biasa |
Penerangan Permohonan |
| Penyebaran & LPCVD |
Bot wafer SiC, dayung julur, tiub proses, pelapik, penyuntik,penyekat & pemegang
|
Komponen SiC ketulenan tinggi untuk resapan kelompok dan relau LPCVD; kestabilan haba yang sangat baik dan rintangan kimia sehingga 1600–1700°C, pencemaran yang rendah. |
| Proses Goresan Plasma |
Fokus berdering, muncung, perisai, kepala pancuran mandian, tingkap/penutup, komponen goresan tersuai |
Bahagian SiC ketulenan tinggi direka bentuk untuk persekitaran etch plasma; meminimumkan penjanaan zarah dan penyelenggaraan tidak berjadual, rintangan plasma yang unggul. |
| RTP / Epitaxial / Pemprosesan Terma |
suseptor, penyebar, penebat, komponen terma tersuai |
Komponen untuk RTP, epi, resapan, pengoksidaan dan penyepuhlindapan; direka untuk menahan kejutan haba dan memberikan prestasi suhu tinggi yang konsisten. |
| Pertumbuhan Kristal SiC (PVT) |
Serbuk SiC ketulenan tinggi,Bahan mentah 7N CVD SiC, bahagian berkaitan ikatan benih |
Bahan sumber SiC ultra tulen dan komponen sokongan untuk pertumbuhan kristal tunggal PVT SiC, meningkatkan hasil dan kualiti kristal. |
| Pengendalian & Pembawa Wafer |
Bot wafer SiC menegak/mendatar, bot kaset silikon, alas kaki, cincin meterai
|
Pembawa ketepatan dan komponen pengedap yang memberikan keseragaman terma, kestabilan mekanikal dan pencemaran minimum semasa pemprosesan suhu tinggi. |
Untuk penyelesaian padanan proses yang lebih terperinci, sila rujuk kepadaRelau Pengoksidaan dan Resapanhalaman berkaitan.
Sebagai pengeluar dan pembekal seramik silikon karbida profesional di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli Seramik Silicon Carbide yang canggih dan tahan lama buatan China, anda bolehtinggalkan kami mesej.
