Produk

Seramik Silikon Karbida

VeTek Semiconductor ialah rakan kongsi anda yang inovatif dalam bidang pemprosesan semikonduktor. Dengan portfolio gabungan bahan Seramik Karbida Silikon gred semikonduktor kami yang luas, keupayaan pembuatan komponen dan perkhidmatan kejuruteraan aplikasi, kami boleh membantu anda mengatasi cabaran yang ketara. Seramik Silicon Carbide teknikal kejuruteraan digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor kerana prestasi bahannya yang luar biasa. Seramik Silicon Carbide VeTek Semiconductor yang sangat tulen kerap digunakan sepanjang keseluruhan kitaran pembuatan dan pemprosesan semikonduktor.


RESAPAN & PEMPROSESAN LPCVD

VeTek Semiconductor menyediakan komponen seramik kejuruteraan yang direka khusus untuk resapan kelompok dan keperluan LPCVD termasuk:

• Penyekat & pemegang
• Penyuntik
• Pelapik & tiub proses
• Pendayung Cantilever Silicon Carbide
• Bot wafer dan alas


KOMPONEN PROSES ETCH

Minimumkan pencemaran dan penyelenggaraan tidak berjadual dengan komponen ketulenan tinggi yang direka bentuk untuk ketelitian pemprosesan etsa plasma, termasuk:

Fokus berdering

muncung

Perisai

Kepala pancuran

Tingkap / Penutup

Komponen tersuai lain


PEMPROSESAN TERMA PANTAS & KOMPONEN PROSES EPITAXIAL

VeTek Semiconductor menyediakan komponen bahan termaju yang disesuaikan untuk aplikasi pemprosesan terma suhu tinggi dalam industri semikonduktor. Aplikasi ini merangkumi RTP, proses Epi, resapan, pengoksidaan dan penyepuhlindapan. Seramik teknikal kami direka untuk menahan kejutan haba, memberikan prestasi yang boleh dipercayai dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, pengeluar semikonduktor boleh mencapai pemprosesan haba yang cekap dan berkualiti tinggi, menyumbang kepada kejayaan keseluruhan pengeluaran semikonduktor.

• Penyebar

• Penebat

• Susceptor

• Komponen terma tersuai lain


Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula
Harta benda Nilai Biasa
Suhu kerja (°C) 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran)
Kandungan SiC / SiC > 99.96%
Kandungan Si / Percuma Si < 0.1%
Ketumpatan pukal 2.60-2.70 g/cm3
Keliangan yang ketara < 16%
Kekuatan mampatan > 600 MPa
Kekuatan lenturan sejuk 80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lenturan panas 90-100 MPa (1400°C)
Pengembangan terma @1500°C 4.70 10-6/°C
Kekonduksian terma @1200°C 23  W/m•K
Modulus elastik 240 GPa
Rintangan kejutan terma Sangat baik


View as  
 
Lengan robot karbida silikon

Lengan robot karbida silikon

Lengan robot karbida silikon kami direka untuk pengendalian wafer berprestasi tinggi dalam pembuatan semikonduktor canggih. Diperbuat daripada karbida silikon kemelut tinggi, lengan robot ini menawarkan ketahanan yang luar biasa kepada suhu tinggi, kakisan plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang boleh dipercayai dalam menuntut persekitaran bilik bersih. Kekuatan mekanikal yang luar biasa dan kestabilan dimensi membolehkan pengendalian wafer yang tepat sambil meminimumkan risiko pencemaran, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi pengendalian wafer kritikal yang lain. Kami mengalu -alukan pertanyaan anda.
Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Bot wafer veteksemicon digunakan secara meluas dalam proses suhu tinggi kritikal dalam pembuatan semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang boleh dipercayai untuk pengoksidaan, penyebaran, dan proses penyepuhlindapan untuk litar bersepadu berasaskan silikon. Mereka juga cemerlang dalam sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat sesuai untuk menuntut proses seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD) untuk peranti kuasa SIC dan GaN. Mereka juga menyokong fabrikasi suhu tinggi sel solar kecekapan tinggi dalam industri fotovoltaik. Nantikan perundingan lanjut anda.
Sic cantilever paddles

Sic cantilever paddles

Veteksemicon sic cantilever paddles adalah senjata sokongan silikon silikon tinggi yang direka untuk pengendalian wafer dalam relau penyebaran mendatar dan reaktor epitaxial. Dengan kekonduksian terma yang luar biasa, rintangan kakisan, dan kekuatan mekanikal, paddles ini memastikan kestabilan dan kebersihan dalam menuntut persekitaran semikonduktor. Terdapat dalam saiz tersuai dan dioptimumkan untuk hayat perkhidmatan yang panjang.
Blok sic

Blok sic

Blok SIC Veteksemicon direka untuk pengisaran kecekapan tinggi dan penipisan silikon dan wafer nilam. Dengan kekonduksian terma yang sangat baik (≥120 w/m · k), rintangan kejutan terma yang tinggi, dan rintangan haus unggul (Mohs ≥9), blok kami meningkatkan kestabilan proses dan mengurangkan kekerapan perubahan alat. Terdapat dalam saiz dari 120mm hingga 480mm, dengan pilihan tersuai dan penghantaran cepat untuk memenuhi keperluan pengeluaran yang pelbagai.
Membran Sic Ceramics

Membran Sic Ceramics

Membran Seramik Veteksemicon adalah sejenis membran bukan organik dan tergolong dalam bahan membran pepejal dalam teknologi pemisahan membran. Membran sic dipecat pada suhu di atas 2000 ℃. Permukaan zarah licin dan bulat. Tiada liang tertutup atau saluran dalam lapisan sokongan dan setiap lapisan. Mereka biasanya terdiri daripada tiga lapisan dengan saiz liang yang berbeza.
Pinggan seramik sic berliang

Pinggan seramik sic berliang

Plat seramik SIC kami adalah bahan seramik berliang yang diperbuat daripada karbida silikon sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khas. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor, pemendapan wap kimia (CVD) dan proses lain.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Seramik Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept