Seramik Silikon Karbida

VeTek Semiconductor ialah rakan kongsi anda yang inovatif dalam bidang pemprosesan semikonduktor. Dengan portfolio gabungan bahan Seramik Karbida Silikon gred semikonduktor kami yang luas, keupayaan pembuatan komponen dan perkhidmatan kejuruteraan aplikasi, kami boleh membantu anda mengatasi cabaran yang ketara. Seramik Silicon Carbide teknikal kejuruteraan digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor kerana prestasi bahannya yang luar biasa. Seramik Silicon Carbide VeTek Semiconductor yang sangat tulen kerap digunakan sepanjang keseluruhan kitaran pembuatan dan pemprosesan semikonduktor.

RESAPAN & PEMPROSESAN LPCVD

VeTek Semiconductor menyediakan komponen seramik kejuruteraan yang direka khusus untuk resapan kelompok dan keperluan LPCVD termasuk:

• Penyekat & pemegang
• Penyuntik
• Pelapik & tiub proses
• Pendayung Cantilever Silicon Carbide
• Bot wafer dan alas

SiC Cantilever Paddle Tiub Proses SiC Tiub Proses Silikon Karbida Bot wafer menegak SiC Bot wafer mendatar SiC SiC mendatar kuar bot wafer Bot wafer SiC LPCVD Bot plat mendatar SiC Cincin Kedap Seramik SiC

KOMPONEN PROSES ETCH

Minimumkan pencemaran dan penyelenggaraan tidak berjadual dengan komponen ketulenan tinggi yang direka bentuk untuk ketelitian pemprosesan etsa plasma, termasuk:

Fokus berdering

muncung

Perisai

Kepala pancuran

Tingkap / Penutup

Komponen tersuai lain

PEMPROSESAN TERMA PANTAS & KOMPONEN PROSES EPITAXIAL

VeTek Semiconductor menyediakan komponen bahan termaju yang disesuaikan untuk aplikasi pemprosesan terma suhu tinggi dalam industri semikonduktor. Aplikasi ini merangkumi RTP, proses Epi, resapan, pengoksidaan dan penyepuhlindapan. Seramik teknikal kami direka untuk menahan kejutan haba, memberikan prestasi yang boleh dipercayai dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, pengeluar semikonduktor boleh mencapai pemprosesan haba yang cekap dan berkualiti tinggi, menyumbang kepada kejayaan keseluruhan pengeluaran semikonduktor.

• Penyebar

• Penebat

• Susceptor

• Komponen terma tersuai lain

Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula
Harta benda	Nilai Biasa
Suhu kerja (°C)	1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran)
Kandungan SiC / SiC	> 99.96%
Kandungan Si / Percuma Si	< 0.1%
Ketumpatan pukal	2.60-2.70 g/cm3
Keliangan yang ketara	< 16%
Kekuatan mampatan	> 600 MPa
Kekuatan lenturan sejuk	80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lenturan panas	90-100 MPa (1400°C)
Pengembangan terma @1500°C	4.70 10-6/°C
Kekonduksian terma @1200°C	23 W/m•K
Modulus elastik	240 GPa
Rintangan kejutan terma	Sangat baik

Silicon Carbide Crystal Bonding Vacuum Hot-Press Relau

Teknologi ikatan benih SIC adalah salah satu proses utama yang mempengaruhi pertumbuhan kristal. VETEK telah membangunkan relau tekanan panas vakum khusus untuk ikatan benih berdasarkan ciri-ciri proses ini. Relau secara berkesan dapat mengurangkan pelbagai kecacatan yang dihasilkan semasa proses ikatan benih, dengan itu meningkatkan hasil dan kualiti akhir kristal ingot.

Kapal kaset silikon

Kapal kaset silikon dari Veteksemicon adalah pembawa wafer yang direka bentuk yang dibangunkan khusus untuk aplikasi relau semikonduktor suhu tinggi, termasuk pengoksidaan, penyebaran, pemacu, dan penyepuhlindapan. Dilancarkan dari silikon ultra-tinggi kemurungan dan selesai dengan piawaian kawalan pencemaran yang lebih maju, ia menyediakan platform yang stabil secara stabil, secara kimia yang sesuai dengan sifat-sifat silikon wafer sendiri. Penjajaran ini meminimumkan tekanan haba, mengurangkan pembentukan slip dan kecacatan, dan memastikan pengagihan haba yang sangat seragam sepanjang batch

Silikon cantilever dayung untuk pemprosesan wafer

Paddle cantilever karbida silikon dari Veteksemicon direka untuk pemprosesan wafer lanjutan dalam pembuatan semikonduktor. Diperbuat daripada sic kemelut yang tinggi, ia memberikan kestabilan terma yang luar biasa, kekuatan mekanikal yang unggul, dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan persekitaran yang menghakis. Ciri -ciri ini memastikan pengendalian wafer yang tepat, hayat perkhidmatan lanjutan, dan prestasi yang boleh dipercayai dalam proses seperti MOCVD, epitaxy, dan penyebaran. Selamat datang ke Rundingan.

Lengan robot karbida silikon

Lengan robot karbida silikon kami direka untuk pengendalian wafer berprestasi tinggi dalam pembuatan semikonduktor canggih. Diperbuat daripada karbida silikon kemelut tinggi, lengan robot ini menawarkan ketahanan yang luar biasa kepada suhu tinggi, kakisan plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang boleh dipercayai dalam menuntut persekitaran bilik bersih. Kekuatan mekanikal yang luar biasa dan kestabilan dimensi membolehkan pengendalian wafer yang tepat sambil meminimumkan risiko pencemaran, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi pengendalian wafer kritikal yang lain. Kami mengalu -alukan pertanyaan anda.

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Bot wafer veteksemicon digunakan secara meluas dalam proses suhu tinggi kritikal dalam pembuatan semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang boleh dipercayai untuk pengoksidaan, penyebaran, dan proses penyepuhlindapan untuk litar bersepadu berasaskan silikon. Mereka juga cemerlang dalam sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat sesuai untuk menuntut proses seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD) untuk peranti kuasa SIC dan GaN. Mereka juga menyokong fabrikasi suhu tinggi sel solar kecekapan tinggi dalam industri fotovoltaik. Nantikan perundingan lanjut anda.

Sic cantilever paddles

Veteksemicon sic cantilever paddles adalah senjata sokongan silikon silikon tinggi yang direka untuk pengendalian wafer dalam relau penyebaran mendatar dan reaktor epitaxial. Dengan kekonduksian terma yang luar biasa, rintangan kakisan, dan kekuatan mekanikal, paddles ini memastikan kestabilan dan kebersihan dalam menuntut persekitaran semikonduktor. Terdapat dalam saiz tersuai dan dioptimumkan untuk hayat perkhidmatan yang panjang.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar