Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Veteksemicon Sic Wafer Boat adalah pembawa teras yang direka khusus untuk proses semikonduktor suhu tinggi. Menggunakan grafit yang ditekan secara isostatik tinggi sebagai substratnya, produk ini menggunakan teknologi pemendapan wap kimia yang dipatenkan untuk membentuk lapisan pelindung karbida silikon yang padat, tidak berliang di permukaan.

Lapisan ini dengan lancar menggabungkan kekonduksian terma grafit yang sangat baik dengan rintangan kakisan yang luar biasa dari karbida silikon. Lapisan yang dikawal dengan ketat mencapai ketebalan 80-120μm, dengan berkesan menentang kakisan dari pelbagai atmosfera berasid dan alkali, dengan ketara mengurangkan risiko pencemaran logam. Ia mengekalkan kestabilan struktur dan integriti dimensi walaupun dalam persekitaran suhu tinggi, memberikan perlindungan dan sokongan yang boleh dipercayai untuk wafer semasa proses kritikal seperti pengoksidaan, penyebaran, dan pertumbuhan epitaxial, dengan berkesan memanjangkan jangka hayat wafer dengan lebih daripada tiga kali dari bot grafit konvensional.

Ⅰ. Parameter teknikal

Ⅱ. Veteksemicon sic wafer boat kelebihan

• Rintangan kakisan yang sangat baik

Salutan SIC pada bot wafer veteksemicon didepositkan menggunakan proses CVD suhu tinggi proprietari kami, menghasilkan struktur seragam yang padat dan seragam yang bebas dari liang dan retak. Halangan pepejal ini secara berkesan mengasingkan wafer dari persekitaran relau. Atmosfera pengoksidaan yang kuat, sebatian fluorin, dan gas -gas lain yang menghakis tidak tahan terhadap lapisan pelindung ini. Ini bermakna wafer anda dilindungi dari pencemaran, sementara bot itu sendiri tetap utuh melalui proses yang melampau berulang, dengan ketara memanjangkan hayat perkhidmatannya.

• Bahan kesucian ultra tinggi

Kami faham bahawa walaupun pencemaran yang sedikit dapat menyebabkan seluruh kumpulan wafer tidak berguna. Oleh itu, veteksemicon dengan ketat mengawal bahan mentah, menggunakan grafit yang diimport secara ditekan dengan kesucian melebihi 99.9995% sebagai substrat. Lapisan SIC yang didepositkan pada substrat ini juga mencapai kesucian 99.999%, dengan kekotoran kritikal seperti natrium, kalium, besi, dan logam berat disimpan ke tahap yang sangat rendah (PPB). Kesucian hampir intrinsik ini memastikan tiada bahan cemar yang dikeluarkan pada suhu tinggi, secara asasnya menghapuskan risiko kemerosotan prestasi peranti disebabkan oleh isu-isu yang berkaitan dengan pembawa.

• Kestabilan terma yang sangat baik

Pembuatan semikonduktor memerlukan proses terma yang sangat konsisten. Koefisien pengembangan haba Veteksemicon Wafer Boat direka dengan teliti untuk memadankan dengan teliti wafer silikon. Semasa pemanasan dan penyejukan yang cepat, bot dan wafer bergerak disegerakkan, dengan ketara mengurangkan risiko kecacatan kekisi dan melengkung yang disebabkan oleh tekanan haba. Ia dapat menahan suhu operasi yang berterusan sehingga 1600 ℃, mengekalkan kekuatan mekanikal yang sangat baik dan kestabilan dimensi walaupun pada suhu tinggi ini. Ini memastikan kebolehulangan dan kebolehpercayaan dalam setiap proses dijalankan, menyediakan asas yang kukuh untuk kawalan toleransi dalam pembuatan cip.

• Kekuatan mekanikal yang tahan lama

Nilai produk kami terletak bukan sahaja dalam pelaburan awal tetapi juga dalam kos pemilikan jangka panjang. Berbanding dengan komponen kuarza tradisional atau grafit, bot wafer veteksemicon menawarkan haus yang luar biasa dan rintangan kesan. Kekerasan permukaan mereka yang tinggi menentang calar dan serpihan semasa pengendalian dan pembersihan. Ketangguhan ini membolehkan mereka dengan mudah menahan lebih daripada 200 kitaran proses suhu tinggi dan prosedur pembersihan yang diperlukan, dengan ketara mengurangkan kos perolehan, kos inventori, dan downtime peralatan yang dikaitkan dengan penggantian komponen yang kerap.

• Pengesahan Pengesahan Rantaian Ekologi

Pengesahan rantaian ekologi Veteksemicon Sic Wafer meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah meluluskan pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kemampanannya dalam bidang semikonduktor dan bidang tenaga baru.

Ⅲ. Bidang aplikasi utama

Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih, atau pengaturan ujian sampel, sila hubungi pasukan sokongan teknikal kami untuk meneroka bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan kecekapan proses anda.

Gudang Produk Veteksemicon