Silikon nitrida

1. Kestabilan kimia yang sangat baik

Seramik silikon nitrida mempunyai kestabilan kimia yang sangat baik dan dapat menahan pelbagai asid kuat, alkali dan gas yang menghakis. Dalam proses pembuatan semikonduktor sering perlu menangani bahan kimia yang menghakis, seramik silikon nitrida dapat memberikan jaminan prestasi stabil jangka panjang.

2. Sifat mekanikal yang sangat baik

Seramik silikon nitrida mempunyai kekerasan yang tinggi, kekuatan mampatan yang sangat baik dan rintangan haus, dapat menahan tekanan mekanikal dan memakai permukaan, tidak mudah untuk ubah bentuk atau pecah. Harta mekanikal ini menjadikannya sangat sesuai sebagai bahan untuk bahagian struktur dan proses dalam peralatan semikonduktor.

3. Kestabilan suhu tinggi

Seramik silikon nitrida dapat mengekalkan kestabilan dalam persekitaran suhu tinggi, tidak mudah dilembutkan atau mencairkan, dan dapat menahan pemprosesan dan pengendalian suhu tinggi dalam proses pembuatan semikonduktor. Ini membolehkan ia digunakan dalam pembuatan komponen kunci peralatan suhu tinggi, seperti grippers, komponen ruang tindak balas dan sebagainya.

4. Hartanah penebat yang sangat baik

Sifat penebat adalah kritikal dalam pembuatan peranti semikonduktor. Seramik silikon nitrida mempunyai sifat penebat yang baik, yang secara berkesan dapat mengasingkan dan melindungi komponen litar dari kebocoran semasa atau gangguan elektromagnet, membantu meningkatkan kestabilan dan kebolehpercayaan peranti.

5. Kekonduksian terma dan kekonduksian terma

Seramik silikon nitrida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dapat dengan berkesan menjalankan dan menghilangkan haba yang dihasilkan oleh peranti, membantu mengekalkan kestabilan suhu peranti dalam proses operasi. Ini adalah penting untuk operasi berprestasi tinggi peranti semikonduktor.

1. Komponen Chamber Electrostatic dan Etching

Seramik silikon nitrida sering digunakan sebagai bahan untuk chucks elektrostatik dan komponen ruang etsa dalam pembuatan semikonduktor kerana kestabilan kimia yang sangat baik dan rintangan suhu tinggi. Chucks elektrostatik digunakan untuk membetulkan dan menstabilkan wafer atau substrat, sementara komponen ruang etsa digunakan untuk menahan gas menghakis dan persekitaran suhu tinggi.

2. Plat pengedaran gas dan reflektor

Seramik silikon nitrida juga digunakan dalam pembuatan peralatan semikonduktor dalam plat pengedaran gas dan reflektor. Plat pengedaran gas digunakan untuk mengedarkan secara seragam gas reaktif atau pelindung ke dalam ruang tindak balas, sementara reflektor digunakan untuk mengoptimumkan pengedaran dan refleksi cahaya dalam ruang tindak balas untuk meningkatkan kecekapan reaksi dan keseragaman.

3. Pemegang dan komponen terma

Seramik silikon nitrida sering digunakan sebagai pemegang dan komponen pengurusan terma dalam peralatan pembuatan semikonduktor. Komponen ini perlu mempunyai kekuatan mekanikal yang baik, rintangan haus dan kekonduksian terma untuk memastikan operasi peralatan yang stabil dan ketepatan pemprosesan peranti.

4. Pad penggilap mekanikal kimia (cmp)

Seramik silikon nitrida digunakan secara meluas sebagai bahan pad dalam proses penggilap mekanikal kimia (CMP). Ia mempunyai kebosanan yang sangat baik dan rintangan haus, dan dapat memberikan sokongan yang stabil semasa proses penggilap untuk memastikan kebosanan dan ketepatan permukaan wafer semikonduktor.