Produk

Secceptor planet bersalut SIC kami adalah komponen teras dalam proses suhu tinggi pembuatan semikonduktor. Reka bentuknya menggabungkan substrat grafit dengan salutan karbida silikon untuk mencapai pengoptimuman komprehensif prestasi pengurusan haba, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal.

Plat seramik SIC kami adalah bahan seramik berliang yang diperbuat daripada karbida silikon sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khas. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor, pemendapan wap kimia (CVD) dan proses lain.

Cincin pengedap bersalut SIC kami adalah komponen pengedap berprestasi tinggi berdasarkan grafit atau komposit karbon-karbon yang disalut dengan karbida silikon tinggi (SIC) oleh pemendapan wap kimia (CVD), yang menggabungkan kestabilan terma grafit

Kapal kuarza kemelut tinggi kami diperbuat daripada kuarza yang bersatu (kandungan SIO₂ ≥ 99.99%). Dengan rintangan yang sangat baik terhadap persekitaran yang melampau, pekali pengembangan terma yang rendah, dan kitaran hayat yang panjang, ia telah menjadi kunci utama yang boleh diganti dalam industri semikonduktor dan tenaga baru.

Cincin fokus untuk etsa adalah komponen utama untuk memastikan ketepatan dan kestabilan proses. Komponen -komponen ini betul -betul dipasang di dalam ruang vakum untuk mencapai pemesinan seragam struktur nanoscale pada permukaan wafer melalui kawalan tepat pengedaran plasma, suhu tepi dan keseragaman medan elektrik.

Veteksemicon Single Wafer Epi Graphite Susceptor direka untuk karbida silikon berprestasi tinggi (SIC), gallium nitride (GAN) dan proses epitaxial semikonduktor generasi ketiga yang lain, dan komponen galas teras lembaran epitaxial tinggi dalam pengeluaran besar-besaran.