Produk

Bot grafit Veteksemicon untuk PECVD adalah ketepatan-machined dari grafit kemelut tinggi dan direka khusus untuk proses pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma. Memanfaatkan pemahaman kami yang mendalam tentang bahan -bahan medan haba semikonduktor dan keupayaan pemesinan ketepatan, kami menawarkan bot grafit dengan kestabilan haba yang luar biasa, kekonduksian yang sangat baik, dan kehidupan perkhidmatan yang panjang. Bot ini direka untuk memastikan pemendapan filem nipis yang sangat seragam di setiap wafer dalam persekitaran proses PECVD yang menuntut, meningkatkan hasil proses dan produktiviti.

CVD TAC Coated Graphite Ring oleh Veteksemicon direkayasa untuk memenuhi tuntutan melampau pemprosesan wafer semikonduktor. Menggunakan teknologi pemendapan wap kimia (CVD), salutan tantalum karbida (TAC) yang padat dan seragam digunakan untuk substrat grafit kemelut tinggi, mencapai kekerasan yang luar biasa, rintangan haus, dan ketahanan kimia. Dalam fabrikasi semikonduktor, cincin grafit bersalut CVD TAC digunakan secara meluas dalam ruang pertumbuhan MOCVD, etching, penyebaran, dan epitaxial, berfungsi sebagai komponen struktur atau pengedap utama untuk pembawa wafer, susceptor, dan perhimpunan perisai. Nantikan perundingan lanjut anda.

Cincin grafit bersalut TAC yang dihasilkan oleh Vetek menggunakan substrat grafit yang ringan dan dilapisi dengan salutan karbida tantalum yang tinggi, yang menampilkan rintangan yang sangat baik terhadap suhu tinggi, gas menghancurkan dan hakisan plasma

Paddle cantilever karbida silikon dari Veteksemicon direka untuk pemprosesan wafer lanjutan dalam pembuatan semikonduktor. Diperbuat daripada sic kemelut yang tinggi, ia memberikan kestabilan terma yang luar biasa, kekuatan mekanikal yang unggul, dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan persekitaran yang menghakis. Ciri -ciri ini memastikan pengendalian wafer yang tepat, hayat perkhidmatan lanjutan, dan prestasi yang boleh dipercayai dalam proses seperti MOCVD, epitaxy, dan penyebaran. Selamat datang ke Rundingan.

Veteksemicon sic vakum seramik chuck untuk wafer direkayasa untuk memberikan ketepatan dan kebolehpercayaan yang luar biasa dalam pemprosesan wafer semikonduktor. Dikeluarkan dari karbida silikon kemelut tinggi, ia memastikan kekonduksian terma yang sangat baik, rintangan kimia, dan kekuatan mekanikal yang unggul, menjadikannya sesuai untuk menuntut aplikasi seperti etsa, pemendapan, dan litografi. Permukaan ultra-flatnya menjamin sokongan wafer yang stabil, meminimumkan kecacatan dan peningkatan hasil proses. Chuck vakum ini adalah pilihan yang dipercayai untuk pengendalian wafer berprestasi tinggi.

Veteksemi pepejal sic fokus cincin dengan ketara meningkatkan keseragaman etsa dan kestabilan proses dengan tepat mengawal medan elektrik dan aliran udara di pinggir wafer. Ia digunakan secara meluas dalam proses etsa ketepatan untuk silikon, dielektrik, dan bahan semikonduktor kompaun, dan merupakan komponen utama untuk memastikan hasil pengeluaran besar-besaran dan operasi peralatan yang boleh dipercayai jangka panjang.