Produk

Veteksemicon semikonduktor gred kuarza crucibles adalah bahan habis-habisan utama dalam proses pertumbuhan kristal tunggal Czochralski. Dengan kesucian yang melampau dan kestabilan terma unggul sebagai tumpuan utama kami, kami komited untuk menyediakan pelanggan dengan produk berkualiti tinggi yang mempamerkan prestasi yang stabil dan ketahanan yang sangat baik terhadap penghabluran di bawah persekitaran tekanan tinggi dan tekanan tinggi. Ini memastikan kualiti rod kristal dari sumber, membantu pembuatan wafer silikon semikonduktor mencapai hasil yang lebih tinggi dan keberkesanan kos yang lebih baik.

Veteksemicon Focus Ring direka khusus untuk menuntut peralatan etsa semikonduktor, terutamanya aplikasi etching SIC. Dilengkapi di sekitar chuck elektrostatik (ESC), berdekatan dengan wafer, fungsi utamanya adalah untuk mengoptimumkan pengedaran medan elektromagnet dalam ruang tindak balas, memastikan tindakan plasma seragam dan fokus di seluruh permukaan wafer. Cincin tumpuan berprestasi tinggi dengan ketara meningkatkan keseragaman kadar etch dan mengurangkan kesan kelebihan, secara langsung meningkatkan hasil produk dan kecekapan pengeluaran.

Veteksemicon Silicon Carbide Carrier Plate untuk etsa LED, yang direka khusus untuk pembuatan cip LED, adalah teras yang boleh digunakan dalam proses etsa. Diperbuat daripada karbida silikon kesakitan yang ketat, ia menawarkan rintangan kimia yang luar biasa dan kestabilan dimensi suhu tinggi, dengan berkesan menentang kakisan dari asid, pangkalan, dan plasma yang kuat. Ciri -ciri pencemaran yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaxial LED, manakala ketahanannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangkan kos operasi keseluruhan, menjadikannya pilihan yang boleh dipercayai untuk meningkatkan kecekapan proses etsa dan konsistensi.

Bot grafit Veteksemicon untuk PECVD adalah ketepatan-machined dari grafit kemelut tinggi dan direka khusus untuk proses pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma. Memanfaatkan pemahaman kami yang mendalam tentang bahan -bahan medan haba semikonduktor dan keupayaan pemesinan ketepatan, kami menawarkan bot grafit dengan kestabilan haba yang luar biasa, kekonduksian yang sangat baik, dan kehidupan perkhidmatan yang panjang. Bot ini direka untuk memastikan pemendapan filem nipis yang sangat seragam di setiap wafer dalam persekitaran proses PECVD yang menuntut, meningkatkan hasil proses dan produktiviti.

CVD TAC Coated Graphite Ring oleh Veteksemicon direkayasa untuk memenuhi tuntutan melampau pemprosesan wafer semikonduktor. Menggunakan teknologi pemendapan wap kimia (CVD), salutan tantalum karbida (TAC) yang padat dan seragam digunakan untuk substrat grafit kemelut tinggi, mencapai kekerasan yang luar biasa, rintangan haus, dan ketahanan kimia. Dalam fabrikasi semikonduktor, cincin grafit bersalut CVD TAC digunakan secara meluas dalam ruang pertumbuhan MOCVD, etching, penyebaran, dan epitaxial, berfungsi sebagai komponen struktur atau pengedap utama untuk pembawa wafer, susceptor, dan perhimpunan perisai. Nantikan perundingan lanjut anda.

Cincin grafit bersalut TAC yang dihasilkan oleh Vetek menggunakan substrat grafit yang ringan dan dilapisi dengan salutan karbida tantalum yang tinggi, yang menampilkan rintangan yang sangat baik terhadap suhu tinggi, gas menghancurkan dan hakisan plasma