Produk

Cincin atas epi SiC 8 inci ialah bahagian perkakasan untuk reaktor semikonduktor. Ia berfungsi di dalam sistem epitaksi Si/SiC dan MOCVD/CVD. Cincin ini menstabilkan haba di dalam ruang. Ia juga mengawal aliran gas. Bahannya adalah CVD Silicon Carbide ketulenan tinggi. Ia tidak mempunyai masalah keluar gas grafit. Ia juga mengurangkan pencemaran zarah semasa pengeluaran. Kami mengalu-alukan pertanyaan anda.

VETEK telah membangunkan kain rasa lembut gentian karbon kami menggunakan gabungan kad ketepatan dan teknologi jet udara. kami boleh menjamin struktur gentian yang sangat seragam di seluruh bahan. Ia dibina untuk menahan kepanasan relau industri sambil kekal sangat ringan. Dengan jisim terma yang rendah dan tekstur yang fleksibel, ia mudah dipasang dan dipasang dengan kemas ke dalam sudut relau, membantu memaksimumkan kecekapan tenaga dalam setiap kitaran.

Kualiti bahan sumber awal adalah faktor utama yang mengehadkan hasil wafer dalam penghasilan kristal tunggal SiC. Pukal SiC CVD Ketulenan Tinggi 7N VETEK menawarkan alternatif polihabluran berketumpatan tinggi kepada serbuk tradisional, direka khusus untuk Pengangkutan Wap Fizikal (PVT). Dengan menggunakan borang CVD pukal, kami menghapuskan kecacatan pertumbuhan biasa dan meningkatkan daya pemprosesan relau dengan ketara. Mengharapkan pertanyaan anda.

Dalam fabrikasi lanjutan seperti Diffusion, Oxidation atau LPCVD, bot wafer bukan sekadar pemegang—ia merupakan bahagian kritikal dalam persekitaran terma. Pada suhu mencecah 1000°C hingga 1400°C, bahan standard selalunya gagal kerana meledingkan atau keluar gas. Penyelesaian SiC-on-SiC VETEK (Substrat ketulenan tinggi dengan salutan CVD padat) direka khusus untuk menstabilkan pembolehubah haba tinggi ini.

Persekitaran MOCVD yang bersuhu tinggi dan reaktif secara kimia, perlindungan ruang tindak balas dan ketepatan kawalan proses adalah yang terpenting. VETEK menyediakan komponen Kuarza Legap (Putih Susu) premium, direka khusus untuk bertindak sebagai "bilik bersih" dan "pintu ketepatan" dalam peralatan semikonduktor anda. Komponen ini menawarkan penyelesaian yang kos efektif namun berprestasi tinggi untuk mengurus sinaran terma dan mencegah pencemaran.

AMAT Cover Top Quartz 8" PCII (0200-00218) ialah komponen kuarza ketulenan tinggi yang direka untuk ruang PVD Bahan Gunaan Endura PVD, memberikan kawalan pencemaran yang sangat baik, kestabilan plasma dan hayat perkhidmatan yang dilanjutkan. Direka kejuruteraan untuk proses semikonduktor 200mm, ia berfungsi sebagai kawasan perlindungan dan penebat bahagian atas yang kritikal, membantu meningkatkan elemen atas kebuk dan penebat. Semikonduktor menawarkan bahagian kuarza serasi OEM yang dihasilkan dengan ketepatan dengan prestasi yang boleh dipercayai dan keupayaan bekalan global Kami mengalu-alukan pertanyaan anda.