Silicon Carbide Crystal Bonding Vacuum Hot-Press Relau

Teknologi ikatan benih sic adalah salah satu proses utama yang mempengaruhiPertumbuhan Kristal.Vetek telah membangunkan khususVacuum Hot-Press Relauuntuk ikatan benih berdasarkan ciri -ciri proses ini. Relau secara berkesan dapat mengurangkan pelbagai kecacatan yang dihasilkan semasa proses ikatan benih, dengan itu meningkatkan hasil dan kualiti akhir kristal ingot.

Memperkenalkan

1. relau digunakan untuk ikatan benih sebelum iniPertumbuhan kristal sic

2. Benih terikat dapat tetap dipasang pada suhu 2300 ℃, mengekalkan lekatan 100% tanpa gelembung udara, dengan kebosanan yang tinggi, permukaan bersih benih, dan tidak ada kekotoran yang terserap

3. Platform yang dipanaskan diadopsi Resistancheating dari zon pemanasan berbentuk cakera lingkaran, ia adalah savety untuk digunakan, mudah untuk beroperasi

4. Bahagian bawah plat beban dilengkapi dengan sensor daya, downforce pada bahan kerja tepat dipaparkan 

Pengenalan fungsi

1. Ruang logam yang disejukkan air dari dinding dua kali mengurangkan suhu permukaan luar badan relau dengan berkesan, meminimumkan kemudaratan suhu tinggi dan mengurangkan kesan ke atas alam sekitar.

2. Ia boleh mencapai peningkatan automatik dan daya tahan, daya pemuatan perlahan, dan anjakan boleh dikawal secara automatik.

3. Konfigurasi vakum boleh didapati, dan tahap vakum yang berbeza boleh dipilih mengikut proses.

4. Tekanan aktif dan ketepatan kawalan suhu tinggi.

5. Struktur Downforce mengamalkan disign yang tepat mekanikal, memastikan penggunaan yang tepat dan stabledownforce, penggunaan selamat dan keramahan alam sekitar.

6. Setem ke bawah disambungkan ke batang push dengan cara "sejagat". Ia memastikan apabila bahan kerja ditindas, permukaan setem bawah berada di bawah selari penyesuaian dengan permukaan plat yang dipanaskan, memastikan bahan kerja yang mengandungi downforce seragam.

7. Setem ke bawah mempunyai fungsi pemuatan penimbunan downforce, memberikan downforce yang licin dan lembut tanpa kesan, dengan itu untuk mencegah retak bahan kerja.

9. Dua plat yang dipanaskan dan setem downforce dilengkapi dengan perisai penebat haba untuk mengurangkan kehilangan suhu yang tidak berkesan.

Parameter

Ciri

1. Pumpan vakum slow, kadar pam vakum boleh laras

2. ruang besar, ruang peningkatan besar

3. Stamp bawah berjalan stabil dan beroperasi secara automatik

4. Pelepasan perlahan yang perlahan dan peningkatan perlahan, jalan bawah tanah mengikut kawalan automatik resipi

5. Kawalan yang diprogramkan suhu dan downforce

6. Parameter vakum, downforce dan suhu boleh ditetapkan secara bebas untuk memadankan proses ikatan yang berbeza

7. Ikatan dipadatkan dan bebas dari gelembung

8. Kadar retak sangat rendah, dengan hampir tidak ada retak yang disebabkan oleh masalah peralatan

9.competer dengan ikatan benih 6-12 inci

10.Max. Downforce: 1.6 t

11. Vakum Lama: 5 Pa (sejuk)

12. Keseragaman PLATE GREATED: ＜ ± 3 ℃, σ <4 (200 ℃）

13. Peningkatan tekanan: <0.5%