Pengoksidaan dan penyebaran relau

Relau pengoksidaan dan penyebaran digunakan dalam pelbagai bidang seperti peranti semikonduktor, peranti diskret, peranti optoelektronik, peranti elektronik kuasa, sel solar, dan pembuatan litar bersepadu berskala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk penyebaran, pengoksidaan, penyepuhlindapan, pengaliran, dan sintering wafer.

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka yang mengkhususkan diri dalam pengeluaran grafit kemelut tinggi, silikon karbida dan komponen kuarza dalam pengoksidaan dan relau penyebaran. Kami komited untuk menyediakan komponen relau berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di barisan hadapan teknologi salutan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, dan lain-lain.

Kelebihan Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Components:

● Rintangan suhu tinggi (sehingga 1600 ℃)

● Kekonduksian terma yang sangat baik dan kestabilan terma

● Rintangan kakisan kimia yang baik

● Koefisien pengembangan haba yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan yang tinggi

● Hayat perkhidmatan yang panjang

Dalam pengoksidaan dan penyebaran relau, disebabkan oleh kehadiran suhu tinggi dan gas yang menghakis, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan-bahan tahan suhu tinggi dan tahan karat, di antaranya karbida silikon (SIC) adalah pilihan yang biasa digunakan. Berikut adalah komponen silikon karbida biasa yang terdapat dalam relau pengoksidaan dan relau penyebaran:

● Bot wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah bekas yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bertindak balas dengan wafer silikon.

● Tiub relau

Tiub relau adalah komponen teras relau penyebaran, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengawal persekitaran tindak balas. Tiub relau karbida silikon mempunyai prestasi suhu tinggi dan prestasi rintangan kakisan yang sangat baik.

● Plat baffle

Digunakan untuk mengawal aliran udara dan pengagihan suhu di dalam relau

● Tiub perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu mengukur termokopel dari hubungan langsung dengan gas menghakis.

● Paddle cantilever

Silicon Carbide cantilever paddles tahan suhu tinggi dan kakisan, dan digunakan untuk mengangkut bot silikon atau bot kuarza yang membawa wafer silikon ke dalam tiub relau penyebaran.

● Penyuntik gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam relau, ia perlu tahan terhadap suhu tinggi dan kakisan.

● Pembawa bot

Pembawa bot wafer karbida silikon digunakan untuk membetulkan dan menyokong wafer silikon, yang mempunyai kelebihan seperti kekuatan tinggi, rintangan kakisan, dan kestabilan struktur yang baik.

● Pintu relau

Salutan atau komponen karbida silikon juga boleh digunakan di bahagian dalam pintu relau.

● Elemen pemanasan

Unsur pemanasan karbida silikon sesuai untuk suhu tinggi, kuasa tinggi, dan dengan cepat dapat meningkatkan suhu hingga lebih dari 1000 ℃.

● liner sic

Digunakan untuk melindungi dinding dalaman tiub relau, ia dapat membantu mengurangkan kehilangan tenaga haba dan menahan persekitaran yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.

View as

Lengan robot karbida silikon

Lengan robot karbida silikon kami direka untuk pengendalian wafer berprestasi tinggi dalam pembuatan semikonduktor canggih. Diperbuat daripada karbida silikon kemelut tinggi, lengan robot ini menawarkan ketahanan yang luar biasa kepada suhu tinggi, kakisan plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang boleh dipercayai dalam menuntut persekitaran bilik bersih. Kekuatan mekanikal yang luar biasa dan kestabilan dimensi membolehkan pengendalian wafer yang tepat sambil meminimumkan risiko pencemaran, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi pengendalian wafer kritikal yang lain. Kami mengalu -alukan pertanyaan anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Bot wafer veteksemicon digunakan secara meluas dalam proses suhu tinggi kritikal dalam pembuatan semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang boleh dipercayai untuk pengoksidaan, penyebaran, dan proses penyepuhlindapan untuk litar bersepadu berasaskan silikon. Mereka juga cemerlang dalam sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat sesuai untuk menuntut proses seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD) untuk peranti kuasa SIC dan GaN. Mereka juga menyokong fabrikasi suhu tinggi sel solar kecekapan tinggi dalam industri fotovoltaik. Nantikan perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sic cantilever paddles

Veteksemicon sic cantilever paddles adalah senjata sokongan silikon silikon tinggi yang direka untuk pengendalian wafer dalam relau penyebaran mendatar dan reaktor epitaxial. Dengan kekonduksian terma yang luar biasa, rintangan kakisan, dan kekuatan mekanikal, paddles ini memastikan kestabilan dan kebersihan dalam menuntut persekitaran semikonduktor. Terdapat dalam saiz tersuai dan dioptimumkan untuk hayat perkhidmatan yang panjang.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Membran Sic Ceramics

Membran Seramik Veteksemicon adalah sejenis membran bukan organik dan tergolong dalam bahan membran pepejal dalam teknologi pemisahan membran. Membran sic dipecat pada suhu di atas 2000 ℃. Permukaan zarah licin dan bulat. Tiada liang tertutup atau saluran dalam lapisan sokongan dan setiap lapisan. Mereka biasanya terdiri daripada tiga lapisan dengan saiz liang yang berbeza.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Pinggan seramik sic berliang

Plat seramik SIC kami adalah bahan seramik berliang yang diperbuat daripada karbida silikon sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khas. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor, pemendapan wap kimia (CVD) dan proses lain.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sic Seramik Wafer Boat

Vetek Semiconductor adalah pembekal bot, pengeluar dan kilang yang terkemuka di China. Bot Wafer Sic Ceramics kami adalah komponen penting dalam proses pengendalian wafer maju, yang memenuhi industri fotovoltaik, elektronik, dan semikonduktor. Nantikan perundingan anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Pengoksidaan dan penyebaran relau di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Pengoksidaan dan penyebaran relau

Kelebihan Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Components:

Lengan robot karbida silikon

Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Sic cantilever paddles

Membran Sic Ceramics

Pinggan seramik sic berliang

Sic Seramik Wafer Boat

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat