Pengoksidaan dan penyebaran relau

● Rintangan suhu tinggi (sehingga 1600 ℃)

● Kekonduksian terma yang sangat baik dan kestabilan terma

● Rintangan kakisan kimia yang baik

● Koefisien pengembangan haba yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan yang tinggi

● Hayat perkhidmatan yang panjang

Dalam pengoksidaan dan penyebaran relau, disebabkan oleh kehadiran suhu tinggi dan gas yang menghakis, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan-bahan tahan suhu tinggi dan tahan karat, di antaranya karbida silikon (SIC) adalah pilihan yang biasa digunakan. Berikut adalah komponen silikon karbida biasa yang terdapat dalam relau pengoksidaan dan relau penyebaran:

● Bot wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah bekas yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bertindak balas dengan wafer silikon.

● Tiub relau

Tiub relau adalah komponen teras relau penyebaran, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengawal persekitaran tindak balas. Tiub relau karbida silikon mempunyai prestasi suhu tinggi dan prestasi rintangan kakisan yang sangat baik.

● Plat baffle

Digunakan untuk mengawal aliran udara dan pengagihan suhu di dalam relau

● Tiub perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu mengukur termokopel dari hubungan langsung dengan gas menghakis.

● Paddle cantilever

Silicon Carbide cantilever paddles tahan suhu tinggi dan kakisan, dan digunakan untuk mengangkut bot silikon atau bot kuarza yang membawa wafer silikon ke dalam tiub relau penyebaran.

● Penyuntik gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam relau, ia perlu tahan terhadap suhu tinggi dan kakisan.

● Pembawa bot

Pembawa bot wafer karbida silikon digunakan untuk membetulkan dan menyokong wafer silikon, yang mempunyai kelebihan seperti kekuatan tinggi, rintangan kakisan, dan kestabilan struktur yang baik.

● Pintu relau

Salutan atau komponen karbida silikon juga boleh digunakan di bahagian dalam pintu relau.

● Elemen pemanasan

Unsur pemanasan karbida silikon sesuai untuk suhu tinggi, kuasa tinggi, dan dengan cepat dapat meningkatkan suhu hingga lebih dari 1000 ℃.

● liner sic

Digunakan untuk melindungi dinding dalaman tiub relau, ia dapat membantu mengurangkan kehilangan tenaga haba dan menahan persekitaran yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.