Pengoksidaan dan penyebaran relau

Relau pengoksidaan dan penyebaran digunakan dalam pelbagai bidang seperti peranti semikonduktor, peranti diskret, peranti optoelektronik, peranti elektronik kuasa, sel solar, dan pembuatan litar bersepadu berskala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk penyebaran, pengoksidaan, penyepuhlindapan, pengaliran, dan sintering wafer.

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka yang mengkhususkan diri dalam pengeluaran grafit kemelut tinggi, silikon karbida dan komponen kuarza dalam pengoksidaan dan relau penyebaran. Kami komited untuk menyediakan komponen relau berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di barisan hadapan teknologi salutan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, dan lain-lain.

Kelebihan Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Components:

● Rintangan suhu tinggi (sehingga 1600 ℃)

● Kekonduksian terma yang sangat baik dan kestabilan terma

● Rintangan kakisan kimia yang baik

● Koefisien pengembangan haba yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan yang tinggi

● Hayat perkhidmatan yang panjang

Dalam pengoksidaan dan penyebaran relau, disebabkan oleh kehadiran suhu tinggi dan gas yang menghakis, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan-bahan tahan suhu tinggi dan tahan karat, di antaranya karbida silikon (SIC) adalah pilihan yang biasa digunakan. Berikut adalah komponen silikon karbida biasa yang terdapat dalam relau pengoksidaan dan relau penyebaran:

● Bot wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah bekas yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bertindak balas dengan wafer silikon.

● Tiub relau

Tiub relau adalah komponen teras relau penyebaran, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengawal persekitaran tindak balas. Tiub relau karbida silikon mempunyai prestasi suhu tinggi dan prestasi rintangan kakisan yang sangat baik.

● Plat baffle

Digunakan untuk mengawal aliran udara dan pengagihan suhu di dalam relau

● Tiub perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu mengukur termokopel dari hubungan langsung dengan gas menghakis.

● Paddle cantilever

Silicon Carbide cantilever paddles tahan suhu tinggi dan kakisan, dan digunakan untuk mengangkut bot silikon atau bot kuarza yang membawa wafer silikon ke dalam tiub relau penyebaran.

● Penyuntik gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam relau, ia perlu tahan terhadap suhu tinggi dan kakisan.

● Pembawa bot

Pembawa bot wafer karbida silikon digunakan untuk membetulkan dan menyokong wafer silikon, yang mempunyai kelebihan seperti kekuatan tinggi, rintangan kakisan, dan kestabilan struktur yang baik.

● Pintu relau

Salutan atau komponen karbida silikon juga boleh digunakan di bahagian dalam pintu relau.

● Elemen pemanasan

Unsur pemanasan karbida silikon sesuai untuk suhu tinggi, kuasa tinggi, dan dengan cepat dapat meningkatkan suhu hingga lebih dari 1000 ℃.

● liner sic

Digunakan untuk melindungi dinding dalaman tiub relau, ia dapat membantu mengurangkan kehilangan tenaga haba dan menahan persekitaran yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.

View as

Sic Wafer Boat

Bot wafer SIC digunakan untuk membawa wafer, terutamanya untuk proses pengoksidaan dan penyebaran, untuk memastikan suhu dapat diedarkan secara merata pada permukaan wafer. Kestabilan suhu tinggi dan kekonduksian terma yang tinggi bagi bahan -bahan SIC memastikan pemprosesan semikonduktor yang cekap dan boleh dipercayai. Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Tiub proses sic

VeTek Semiconductor menyediakan Tiub Proses SiC berprestasi tinggi untuk pembuatan semikonduktor. Tiub Proses SiC kami cemerlang dalam proses pengoksidaan, resapan. Dengan kualiti dan ketukangan yang unggul, tiub ini menawarkan kestabilan suhu tinggi dan kekonduksian terma untuk pemprosesan semikonduktor yang cekap. Kami menawarkan harga yang kompetitif dan berusaha untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sic cantilever dayung

Dayung Cantilever SiC Semikonduktor VeTek digunakan dalam relau rawatan haba untuk mengendalikan dan menyokong bot wafer. Kestabilan suhu tinggi dan kekonduksian haba yang tinggi bagi bahan SiC memastikan kecekapan dan kebolehpercayaan yang tinggi dalam proses pemprosesan semikonduktor. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti tinggi pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Bot Wafer Silicon Carbide untuk Relau Mendatar

Bot wafer SiC mempunyai keperluan yang tinggi dalam ketulenan bahan.Vetek Semiconductor membekalkan ketulenan SiC ＞99.96% SiC terhablur semula kepada produk ini.VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional di China untuk bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan pengeluaran, boleh mengawal kualiti dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Anda boleh yakin untuk membeli bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar daripada kami.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Bot Wafer Silikon Karbida Bersalut SiC

Sic Coated Silicon Carbide Wafer Boat direka dengan 165 slot untuk membawa wafer. Vetek Semiconductor adalah pengeluar dan pembekal profesional di China untuk SIC bersalut Silicon Carbide Wafer Boat, dengan pengalaman bertahun -tahun dalam R & D dan Pengeluaran, dapat mengawal kualiti dengan baik dan menawarkan kompetitif harga. Selamat datang untuk melawat kilang kami dan mengadakan perbincangan lanjut mengenai kerjasama.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Dayung cantilever karbida silikon

Vetek Semiconductor's Silicon Carbide Cantilever Paddle adalah komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya yang sesuai untuk relau penyebaran atau relau LPCVD dalam proses suhu tinggi seperti penyebaran dan RTP. Paddle cantilever karbida silikon kami direka dengan teliti dan dihasilkan dengan rintangan suhu tinggi dan kekuatan mekanikal yang sangat baik, dan boleh mengangkut wafer dengan selamat dan boleh dipercayai ke tiub proses di bawah keadaan proses yang keras untuk pelbagai proses suhu tinggi seperti penyebaran dan RTP. Kami berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Percuma untuk bertanya kepada kami.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Pengoksidaan dan penyebaran relau di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Pengoksidaan dan penyebaran relau

Kelebihan Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Components:

Sic Wafer Boat

Tiub proses sic

Sic cantilever dayung

Bot Wafer Silicon Carbide untuk Relau Mendatar

Bot Wafer Silikon Karbida Bersalut SiC

Dayung cantilever karbida silikon

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat