Pengoksidaan dan penyebaran relau

Relau pengoksidaan dan penyebaran digunakan dalam pelbagai bidang seperti peranti semikonduktor, peranti diskret, peranti optoelektronik, peranti elektronik kuasa, sel solar, dan pembuatan litar bersepadu berskala besar. Mereka digunakan untuk proses termasuk penyebaran, pengoksidaan, penyepuhlindapan, pengaliran, dan sintering wafer.

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka yang mengkhususkan diri dalam pengeluaran grafit kemelut tinggi, silikon karbida dan komponen kuarza dalam pengoksidaan dan relau penyebaran. Kami komited untuk menyediakan komponen relau berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di barisan hadapan teknologi salutan permukaan, seperti CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, dan lain-lain.

Kelebihan Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Components:

● Rintangan suhu tinggi (sehingga 1600 ℃)

● Kekonduksian terma yang sangat baik dan kestabilan terma

● Rintangan kakisan kimia yang baik

● Koefisien pengembangan haba yang rendah

● Kekuatan dan kekerasan yang tinggi

● Hayat perkhidmatan yang panjang

Dalam pengoksidaan dan penyebaran relau, disebabkan oleh kehadiran suhu tinggi dan gas yang menghakis, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan-bahan tahan suhu tinggi dan tahan karat, di antaranya karbida silikon (SIC) adalah pilihan yang biasa digunakan. Berikut adalah komponen silikon karbida biasa yang terdapat dalam relau pengoksidaan dan relau penyebaran:

● Bot wafer

Silicon Carbide Wafer Boat adalah bekas yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang dapat menahan suhu tinggi dan tidak akan bertindak balas dengan wafer silikon.

● Tiub relau

Tiub relau adalah komponen teras relau penyebaran, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengawal persekitaran tindak balas. Tiub relau karbida silikon mempunyai prestasi suhu tinggi dan prestasi rintangan kakisan yang sangat baik.

● Plat baffle

Digunakan untuk mengawal aliran udara dan pengagihan suhu di dalam relau

● Tiub perlindungan termokopel

Digunakan untuk melindungi suhu mengukur termokopel dari hubungan langsung dengan gas menghakis.

● Paddle cantilever

Silicon Carbide cantilever paddles tahan suhu tinggi dan kakisan, dan digunakan untuk mengangkut bot silikon atau bot kuarza yang membawa wafer silikon ke dalam tiub relau penyebaran.

● Penyuntik gas

Digunakan untuk memperkenalkan gas reaksi ke dalam relau, ia perlu tahan terhadap suhu tinggi dan kakisan.

● Pembawa bot

Pembawa bot wafer karbida silikon digunakan untuk membetulkan dan menyokong wafer silikon, yang mempunyai kelebihan seperti kekuatan tinggi, rintangan kakisan, dan kestabilan struktur yang baik.

● Pintu relau

Salutan atau komponen karbida silikon juga boleh digunakan di bahagian dalam pintu relau.

● Elemen pemanasan

Unsur pemanasan karbida silikon sesuai untuk suhu tinggi, kuasa tinggi, dan dengan cepat dapat meningkatkan suhu hingga lebih dari 1000 ℃.

● liner sic

Digunakan untuk melindungi dinding dalaman tiub relau, ia dapat membantu mengurangkan kehilangan tenaga haba dan menahan persekitaran yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.

View as

Tiub relau penyebaran sic

Sebagai pengilang terkemuka dan pembekal peralatan relau penyebaran di China, Vetek semikonduktor SIC penyebaran tiub relau mempunyai kekuatan lenturan yang tinggi, rintangan yang sangat baik terhadap pengoksidaan, rintangan kakisan, rintangan haus yang tinggi, dan sifat mekanik suhu tinggi yang sangat baik. Menjadikannya bahan peralatan yang sangat diperlukan dalam aplikasi relau penyebaran. Vetek Semiconductor komited untuk pembuatan dan pembekalan tiub relau penyebaran SIC berkualiti tinggi, dan mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Pembawa bot wafer sic tinggi

Vetek Semiconductor menawarkan pembawa bot wafer sic yang disesuaikan tinggi. Diperbuat daripada karbida silikon kesucian yang tinggi, ia mempunyai slot untuk memegang wafer di tempat, menghalangnya daripada meluncur semasa pemprosesan. Salutan CVD SIC juga tersedia jika diperlukan. Sebagai pengeluar dan pembekal semikonduktor profesional dan kuat, pembawa bot siklus Sic Wafer yang tinggi dan kuat adalah harga yang kompetitif dan berkualiti tinggi. Vetek Semiconductor berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Kesucian tinggi sic cantilever dayung

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka dan pembekal produk Paddle Cantilever yang tinggi di China. Paddle sic cantilever yang tinggi biasanya digunakan dalam relau penyebaran semikonduktor sebagai pemindahan wafer atau platform pemuatan.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Kapal Wafer Vertikal Bot & Kaki

Kolas Vetek Semikonduktor Vetek Boat & Pedestal diperbuat daripada bahan-bahan kuarza kesejahteraan tinggi atau silikon karbon (SIC), dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal, dan merupakan komponen teras yang tidak diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor. Selamat datang perundingan lanjut anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Bot wafer yang bersebelahan

Vetek Semikonduktor Bot Wafer Bersambung adalah peralatan canggih untuk pemprosesan semikonduktor. Struktur produk direka dengan teliti untuk memastikan pemprosesan dan pengeluaran wafer ketepatan yang cekap. Veteksemi menyokong penyelesaian produk yang disesuaikan dan menantikan konsultasi anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Pembawa Wafer SiC Mendatar

VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan pembekal cincin panduan bersalut TaC, pembawa wafer SiC mendatar, dan susceptor bersalut SiC di China. Kami komited untuk menyediakan sokongan teknikal yang sempurna dan penyelesaian produk muktamad untuk industri semikonduktor. Selamat datang untuk menghubungi kami.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Pengoksidaan dan penyebaran relau di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Pengoksidaan dan penyebaran relau

Kelebihan Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Components:

Tiub relau penyebaran sic

Pembawa bot wafer sic tinggi

Kesucian tinggi sic cantilever dayung

Kapal Wafer Vertikal Bot & Kaki

Bot wafer yang bersebelahan

Pembawa Wafer SiC Mendatar

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat