Pembawa bot wafer sic tinggi

Veteksemi High Purity SIC Wafer Boat Carrier adalah komponen galas penting yang digunakan dalam relau penyepuhlindapan, relau penyebaran dan peralatan lain dalam proses pembuatan semikonduktor. Pembawa bot sic wafer yang tinggi biasanya diperbuat daripada bahan silikon karbida silikon yang tinggi dan terutamanya termasuk bahagian -bahagian berikut:

• Badan sokongan bot: struktur yang serupa dengan kurungan, digunakan khas untuk membawawafer silikonatau bahan semikonduktor lain.

• Struktur sokongan: Reka bentuk struktur sokongannya membolehkannya menanggung beban berat pada suhu tinggi dan tidak akan berubah atau kerosakan semasa rawatan suhu tinggi.

Bahan karbida silikon

Sifat fizikalKarbida Silikon Terhablur Semula：

Jika keperluan proses pengeluaran lebih tinggi,CVD SIC Coatingboleh dilakukan pada pembawa bot wafer sic yang tinggi untuk menjadikan kesucian mencapai lebih daripada 99.99995%, meningkatkan lagi rintangan suhu tinggi.

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD:

Semasa rawatan suhu tinggi, pembawa bot wafer sic yang tinggi membolehkan wafer silikon dipanaskan sama rata untuk mengelakkan terlalu panas tempatan. Di samping itu, rintangan suhu tinggi bahan silikon karbida membolehkannya mengekalkan kestabilan struktur pada suhu 1200 ° C atau lebih tinggi.

Semasa proses penyebaran atau penyepuh, dayung cantilever dan pembawa bot wafer sic yang tinggi bekerja bersama -sama. Thedayung julurPerlahan -lahan menolak pembawa bot wafer sic yang tinggi yang membawa wafer silikon ke dalam ruang relau dan menghentikannya pada kedudukan yang ditetapkan untuk diproses. 

Pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi mengekalkan sentuhan dengan wafer silikon dan dibetulkan pada kedudukan tertentu semasa proses rawatan haba, manakala dayung julur membantu mengekalkan keseluruhan struktur dalam kedudukan yang betul sambil memastikan keseragaman suhu.

Pengangkut bot wafer SiC ketulenan tinggi dan dayung julur berfungsi bersama untuk memastikan ketepatan dan kestabilan proses suhu tinggi.

Ia semikonduktormenyediakan anda dengan pembawa bot wafer SiC ketulenan Tinggi yang disesuaikan mengikut keperluan anda. Mengharapkan pertanyaan anda.

Ia semikonduktorKedai pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi: