Penggunaan karbida silikon pepejal

SIC CARBIDE SILICON SIC adalah bahan seramik maju yang terdiri daripada silikon (SI) dan karbon (c). Ia bukan bahan yang banyak ditemui dalam alam semula jadi dan biasanya memerlukan sintesis suhu tinggi. Gabungan unik sifat fizikal dan kimia menjadikannya bahan utama yang berfungsi dengan baik dalam persekitaran yang melampau, terutamanya dalam pembuatan semikonduktor.

Ⅰ. Key physical properties of solid silicon carbide (Solid SiC)

▶ Kekerasan Tinggi dan Rintangan Pakai:

Sic mempunyai kekerasan Mohs kira-kira 9-9.5, kedua hanya untuk berlian. Ini memberikan rintangan yang sangat baik dan memakai rintangan, dan ia berfungsi dengan baik dalam persekitaran yang perlu menahan tekanan mekanikal atau hakisan zarah.

▶ Kekuatan dan kestabilan suhu tinggi yang sangat baik

1.

2. Pekali pengembangan terma yang rendah bermakna ia mempunyai kestabilan dimensi yang baik dan tidak terdedah kepada ubah bentuk atau retak apabila suhu berubah secara drastik.

▶ Kekonduksian terma yang tinggi:

Tidak seperti banyak bahan seramik lain, SIC mempunyai kekonduksian terma yang agak tinggi. Ini membolehkan ia menjalankan dan menghilangkan haba dengan cekap, yang penting untuk aplikasi yang memerlukan kawalan suhu dan keseragaman yang tepat.

Ketahanan Kimia Superior dan Rintangan Kakisan:

SIC mempamerkan ketahanan yang sangat kuat terhadap asid yang paling kuat, pangkalan yang kuat, dan gas menghakis yang biasa digunakan dalam proses semikonduktor (seperti gas berasaskan fluorin dan klorin dalam persekitaran plasma), walaupun pada suhu tinggi. Ini adalah penting untuk mencegah komponen ruang proses daripada berkarat atau tercemar.

▶ Potensi untuk kesucian yang tinggi:

Lapisan SIC yang sangat tinggi atau bahagian SIC pepejal boleh dihasilkan melalui proses pembuatan tertentu (seperti pemendapan wap kimia - CVD). Dalam pembuatan semikonduktor, kesucian bahan secara langsung mempengaruhi tahap pencemaran wafer dan hasil produk akhir.

▶ Kekakuan tinggi (Modulus Young):

Sic mempunyai modulus Young yang tinggi, yang bermaksud ia sangat sukar dan tidak mudah untuk mengubah bentuk di bawah beban. Ini sangat penting untuk komponen yang perlu mengekalkan bentuk dan saiz yang tepat (seperti pembawa wafer).

▶ Ciri -ciri Elektrik Tunable:

Walaupun ia sering digunakan sebagai penebat atau semikonduktor (bergantung kepada bentuk kristal dan doping), resistivitas yang tinggi membantu menguruskan tingkah laku plasma atau mencegah pelepasan arka yang tidak perlu dalam beberapa aplikasi komponen.

Ⅱ. Aplikasi khusus dan kelebihan produk siap silikon silikon pepejal (pepejal) dalam pembuatan semikonduktor

Berdasarkan sifat fizikal di atas, SIC pepejal dihasilkan ke dalam pelbagai komponen ketepatan dan digunakan secara meluas dalam pelbagai pautan utama proses depan semikonduktor.

1) Pembawa wafer sic pepejal (pembawa / bot wafer pepejal):

Permohonan:

Digunakan untuk membawa dan memindahkan wafer silikon dalam proses suhu tinggi (seperti penyebaran, pengoksidaan, LPCVD-pemendapan wap kimia tekanan rendah).

Analisis Kelebihan:

1. Kestabilan suhu tinggi: Pada suhu proses melebihi 1000 ° C, pembawa SIC tidak akan melembutkan, ubah bentuk atau sag semudah kuarza, dan dapat mengekalkan jarak wafer dengan tepat untuk memastikan keseragaman proses.

2. Hayat panjang dan generasi zarah yang rendah: Kekerasan dan rintangan haus Sic jauh melebihi kuarza, dan tidak mudah untuk menghasilkan zarah -zarah kecil untuk mencemarkan wafer. Kehidupan perkhidmatannya biasanya beberapa kali atau bahkan berpuluh -puluh kali pembawa kuarza, mengurangkan kekerapan penggantian dan kos penyelenggaraan.

3. Ketidaksuburan kimia: Ia dapat menahan hakisan kimia dalam atmosfera proses dan mengurangkan pencemaran wafer yang disebabkan oleh pemendakan bahan -bahannya sendiri.

4. Kekonduksian terma: Kekonduksian terma yang baik membantu mencapai pemanasan dan penyejukan yang cepat dan seragam pembawa dan wafer, meningkatkan kecekapan proses dan keseragaman suhu.

5. Kesucian Tinggi: Pembawa SIC yang tinggi boleh dihasilkan untuk memenuhi keperluan ketat nod lanjutan untuk kawalan kekotoran.

Nilai Pengguna:

Meningkatkan kestabilan proses, meningkatkan hasil produk, mengurangkan downtime yang disebabkan oleh kegagalan komponen atau pencemaran, dan mengurangkan kos pemilikan keseluruhan dalam jangka masa panjang.

2) Kepala mandi berbentuk cakera / gas yang padat:

Permohonan:

Dipasang di bahagian atas ruang tindak balas peralatan seperti etsa plasma, pemendapan wap kimia (CVD), pemendapan lapisan atom (ALD), dan lain -lain, yang bertanggungjawab untuk mengedarkan gas proses secara merata ke permukaan wafer di bawah.

Analisis Kelebihan:

1. Toleransi Plasma: Dalam persekitaran plasma yang aktif secara kimia dan kimia, kepala pancuran SIC mempamerkan ketahanan yang sangat kuat terhadap pengeboman plasma dan kakisan kimia, yang jauh lebih tinggi daripada kuarza atau alumina.

2. Keseragaman dan kestabilan: Kepala pancuran SIC yang dipandu ketepatan dapat memastikan aliran gas diedarkan secara merata di seluruh permukaan wafer, yang penting untuk keseragaman ketebalan filem, keseragaman komposisi, atau kadar etsa. Ia mempunyai kestabilan jangka panjang yang baik dan tidak mudah untuk mengubah atau menyumbat.

3. Pengurusan Thermal: Kekonduksian terma yang baik membantu mengekalkan keseragaman suhu di permukaan mandi, yang penting untuk banyak pemendapan sensitif haba atau proses etsa.

4. Pencemaran yang rendah: Kesucian tinggi dan inertness kimia mengurangkan pencemaran bahan -bahan mandi sendiri ke proses.

Nilai Pengguna:

Meningkatkan keseragaman dan kebolehulangan hasil proses, memperluaskan hayat perkhidmatan mandi, mengurangkan masa penyelenggaraan dan masalah zarah, dan menyokong keadaan proses yang lebih maju dan lebih ketat.

3) Cincin fokus pepejal pepejal (pepejal sic etching fokus cincin / tepi cincin):

Permohonan:

Terutamanya digunakan dalam ruang peralatan etsa plasma (seperti CCP plasma yang ditambah dengan kapasitif atau plasma ICP yang digabungkan secara induktif), biasanya diletakkan di pinggir pembawa wafer (Chuck), mengelilingi wafer. Fungsinya adalah untuk mengekang dan membimbing plasma supaya ia bertindak lebih merata di permukaan wafer sambil melindungi komponen lain ruang.

Analisis Kelebihan:

1. Rintangan kuat terhadap hakisan plasma: Ini adalah kelebihan yang paling menonjol dari cincin fokus SIC. Dalam plasmas etsa yang sangat agresif (seperti bahan kimia fluorin atau klorin), SIC memakai lebih perlahan daripada kuarza, alumina, atau bahkan yttria (yttrium oxide), dan mempunyai kehidupan yang sangat panjang.

2. Mengekalkan dimensi kritikal: kekerasan yang tinggi dan ketegaran yang tinggi membolehkan cincin memberi tumpuan untuk mengekalkan bentuk dan saiz yang tepat dalam tempoh penggunaan yang panjang, yang penting untuk menstabilkan morfologi plasma dan memastikan keseragaman etsa.

3. Generasi zarah yang rendah: Oleh kerana rintangan haus, ia sangat mengurangkan zarah yang dihasilkan oleh penuaan komponen, dengan itu meningkatkan hasil.

4. Kesucian Tinggi: Elakkan pengenalan logam atau kekotoran lain.

Nilai Pengguna:

Sangat memanjangkan kitaran penggantian komponen, dengan ketara mengurangkan kos penyelenggaraan dan downtime peralatan; meningkatkan kestabilan dan kebolehulangan proses etsa; Mengurangkan kecacatan dan meningkatkan hasil pembuatan cip mewah.

Ⅲ.Ringkasan

Karbida silikon pepejal telah menjadi salah satu bahan utama yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor moden kerana kombinasi unik sifat fizikalnya - kekerasan yang tinggi, titik lebur yang tinggi, kekonduksian terma yang tinggi, kestabilan kimia yang sangat baik dan rintangan kakisan. Sama ada pembawa untuk membawa wafer, kepala pancuran untuk mengawal pengedaran gas, atau cincin yang fokus untuk membimbing plasma, produk SIC pepejal membantu pengeluar cip mengatasi cabaran proses yang semakin ketat dengan prestasi dan kebolehpercayaan mereka yang sangat baik, meningkatkan kecekapan pengeluaran dan hasil produk, dan dengan itu menggalakkan pembangunan mampan keseluruhan industri semikonduktor.

Sebagai pengeluar terkemuka dan pembekal produk karbida silikon pepejal di China,SemiconProduk sepertiPembawa / kapal wafer pepejal / bot, Kepala mandi berbentuk cakera / gas yang padat, Cincin cincin / tepi fokus pepejaldijual secara meluas di Eropah dan Amerika Syarikat, dan telah memenangi pujian dan pengiktirafan yang tinggi dari pelanggan -pelanggan ini. Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Selamat datang ke Rundingan.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

E -mel: anny@veteksemi.com