Menyediakan wafer epitaxial MOCVD

Susceptor Wafer Epitaxial MOCVD adalah peralatan wafer epitaxial berprestasi tinggi yang direka untuk peralatan MOCVD (pemendapan wap kimia logam-organik). Susceptor diperbuat daripada bahan grafit SGL dan disalut dengan salutan karbida silikon, yang menggabungkan kekonduksian terma tinggi grafit dengan suhu tinggi dan rintangan kakisan SIC, dan sesuai untuk persekitaran kerja keras, tekanan tinggi dan gas yang menghakis semasa pertumbuhan epitaxial semikonduktor.

Bahan grafit SGL mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, yang memastikan suhu wafer epitaxial diedarkan secara merata semasa proses pertumbuhan dan meningkatkan kualiti lapisan epitaxial. Salutan SIC bersalut membolehkan susceptor untuk menahan suhu tinggi lebih daripada 1600 ℃ dan menyesuaikan diri dengan persekitaran terma yang melampau dalam proses MOCVD. Di samping itu, salutan SIC secara berkesan dapat menahan gas tindak balas suhu tinggi dan kakisan kimia, memperluaskan hayat perkhidmatan pemotong, dan mengurangkan pencemaran.

Susceptor Wafer Epitaxial Wafer Veteksemi boleh digunakan sebagai pengganti aksesori pembekal peralatan MOCVD seperti Aixtron.

● Saiz: Boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan (saiz standard tersedia).

● Kapasiti membawa: Boleh membawa pelbagai atau lebih daripada 50 wafer epitaxial pada satu masa (bergantung kepada saiz susceptor).

● Rawatan permukaan: Salutan sic, rintangan kakisan, rintangan pengoksidaan.

● Industri semikonduktor: Digunakan untuk pertumbuhan wafer epitaxial seperti LED, diod laser, dan semikonduktor kuasa.

● Industri Optoelectronics: Menyokong pertumbuhan epitaxial peranti optoelektronik berkualiti tinggi.

● Penyelidikan dan pembangunan bahan mewah: Digunakan untuk penyediaan epitaxial semikonduktor baru dan bahan optoelektronik.

Bergantung pada jenis peralatan dan keperluan pengeluaran MOCVD pelanggan, Vetek Semiconductor menyediakan perkhidmatan yang disesuaikan, termasuk saiz susceptor, bahan, rawatan permukaan, dan lain -lain, untuk memastikan penyelesaian yang paling sesuai disediakan kepada pelanggan.

Struktur kristal filem cvd sic

Sifat fizikal asas salutan CVD sic

Ia semikonduktor Kedai Suseptor Wafer Epitaxial MOCVD