Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier

Sebagai pengeluar profesional, kami ingin menyediakan pembawa wafer epitaxy wafer silikon karbida berkualiti tinggi. Vetek semikonduktor silikon karbida epitaxy wafer pembawa direka khusus untuk ruang epitaxial SIC. Mereka mempunyai pelbagai aplikasi dan serasi dengan pelbagai model peralatan.

Senario Aplikasi:

SendiriK semikonduktor silikon karbida epitaxy wafer pembawa digunakan terutamanya dalam proses pertumbuhan lapisan epitaxial SIC. Aksesori ini diletakkan di dalam reaktor SIC Epitaxy, di mana mereka bersentuhan langsung dengan substrat SIC. Parameter kritikal untuk lapisan epitaxial adalah ketebalan dan keseragaman kepekatan doping. Oleh itu, kami menilai prestasi dan keserasian aksesori kami dengan mengamati data seperti ketebalan filem, kepekatan pembawa, keseragaman, dan kekasaran permukaan.

Penggunaan:

Bergantung pada peralatan dan proses, produk kami dapat mencapai sekurang-kurangnya 5000 um ketebalan lapisan epitaxial dalam konfigurasi setengah bulan 6 inci. Nilai ini berfungsi sebagai rujukan, dan hasil sebenar mungkin berbeza -beza.

Model peralatan yang serasi:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide bersalut bahagian grafit bersesuaian dengan pelbagai model peralatan, termasuk LPE, Naura, JSG, CETC, Naso Tech, dan lain -lain.

Sifat fizikal asasCVD SIC Coating:

Bandingkan Kedai Pengeluaran Semikonduktor:

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaxy cip semikonduktor: