Kepala mandi berbentuk cakera sic pepejal

Peranan kepala mandi berbentuk cakera SIC pepejal dalam proses CVD adalah sama rata mengedarkan gas reaksi di atas kawasan pemendapan supaya gas dapat merata di seluruh reaktor untuk mendapatkan filem rata dan seragam.

Kepala mandi SIC pepejal ditetapkan di bahagian atas relau CVD atau berhampiran salur masuk gas. Gas reaksi memasuki struktur berbentuk cakera melalui lubang yang diedarkan di kepala pancuran dan meresap di sepanjang permukaan kepala pancuran. Melalui reka bentuk saluran berganda dan cawangan yang diedarkan secara merata, gas tindak balas boleh mengalir secara merata ke seluruh kawasan reaktor, mengelakkan kepekatan atau pergolakan, dan memastikan konsistensi ketebalan lapisan yang didepositkan pada substrat.

PAda masa yang sama, struktur cakera cakera semikonduktor kepala pancuran juga mempunyai kesan penyebaran, yang dapat mengurangkan kadar aliran gas dengan berkesan, supaya ia dapat merentas secara merata di outlet muncung, dan mengurangkan kesan perubahan aliran gas tempatan pada kesan pemendapan. Ia membantu untuk mengelakkan kesan gas langsung ke atas substrat dan mencegah masalah pemendapan yang tidak rata.

Dari perspektif bahan, kepala pancuran gas pepejal diperbuat daripada bahan tahan tahan suhu tinggi, tahan karat, dan kekuatan tinggi dengan kestabilan yang sangat tinggi. Ia boleh berfungsi dengan stabil untuk masa yang lama di relau CVD dan mempunyai hayat perkhidmatan yang panjang.

Vetek Semiconductor menyediakan perkhidmatan yang disesuaikan berkualiti tinggi. Susun atur bentuk dan lubang kepala SIC cakera yang berbentuk cakera pepejal boleh diselaraskan secara fleksibel mengikut keperluan proses pelanggan untuk menyesuaikan diri dengan jenis gas, kadar aliran dan bahan pemendapan yang berlainan. Untuk pelbagai saiz reaktor atau saiz substrat, kepala mandi berbentuk cakera dengan diameter dan pengagihan lubang yang berbeza boleh disesuaikan untuk mengoptimumkan kesan pengedaran gas.

Vetek Semiconductor mempunyai proses yang matang dan teknologi canggih untuk produk kepala pancuran semikonduktor SIC yang solid, membantu sejumlah besar pelanggan untuk mencapai kemajuan berterusan dalam proses CVD. Vetek Semiconductor berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Sifat fizikal sic pepejal

Ia semikonduktorKedai Pengeluaran Kepala Mandi Berbentuk Cakera Sic Pepejal