Kepala Pancuran SiC Gas Pepejal

Kepala Pancuran SiC Gas Pepejal

VeTek Semiconductor ialah syarikat bersepadu khusus untuk penyelidikan, pengeluaran dan jualan. VeTek Semiconductor telah mengusahakan epitaksi semikonduktor, etsa dan produk berkaitan proses lain selama bertahun-tahun, terutamanya salutan CVD SiC, salutan CVD TaC dan CVD Solid SiC adalah produk utama kami.

Vetek Semiconductor Pepejal SIC Gas Shower Head biasanya digunakan untuk mengedarkan secara merata gas prekursor ke permukaan substrat semasa proses CVD semikonduktor. Menggunakan bahan CVD-SIC untuk kepala mandi menawarkan beberapa kelebihan. Kekonduksian terma yang tinggi membantu menghilangkan haba yang dihasilkan dalam proses CVD, memastikan pengagihan suhu seragam pada substrat. Di samping itu, kestabilan kimia CVD SIC Shower Head membolehkan ia menahan gas yang menghakis dan persekitaran yang keras yang biasa ditemui dalam proses CVD. 

Reka bentuk kepala pancuran mandian CVD SiC boleh disesuaikan dengan sistem CVD dan keperluan proses tertentu. Walau bagaimanapun, ia biasanya terdiri daripada plat atau komponen berbentuk cakera dengan satu siri lubang atau slot gerudi ketepatan. Corak lubang dan geometri direka bentuk dengan teliti untuk memastikan pengagihan gas seragam dan halaju aliran di atas permukaan substrat.

Sifat fizikal sic pepejal