Alas silikon

Vetek Semiconductor Silicon Susceptor adalah produk silikon tulen yang direka untuk memastikan kestabilan suhu dalam tiub reaktor haba semasa pemprosesan wafer silikon, dengan itu meningkatkan kecekapan penebat haba. Pemprosesan wafer silikon adalah proses yang sangat tepat, dan suhu memainkan peranan penting, secara langsung mempengaruhi ketebalan dan keseragaman filem wafer silikon.

Pedestal silikon terletak di bahagian bawah tiub reaktor haba relau, menyokong silikonpembawa wafersemasa menyediakan penebat haba yang berkesan. Pada akhir proses, ia secara beransur -ansur menyejukkan ke suhu ambien bersama -sama dengan pembawa wafer silikon.

Fungsi teras dan faedah dari Vetek Semikonduktor Silicon Patchals:

Memberikan sokongan yang stabil untuk memastikan ketepatan proses

Pedestal silikon menyediakan platform sokongan yang stabil dan sangat tahan haba untuk bot silikon dalam ruang relau suhu tinggi. Kestabilan ini secara berkesan boleh menghalang bot silikon daripada beralih atau condong semasa pemprosesan, dengan itu mengelakkan menjejaskan keseragaman aliran udara atau memusnahkan taburan suhu, memastikan ketepatan dan ketekalan proses yang tinggi.

Meningkatkan keseragaman suhu dalam relau dan meningkatkan kualiti wafer

Dengan mengasingkan bot silikon daripada sentuhan langsung dengan bahagian bawah atau dinding relau, asas silikon boleh mengurangkan kehilangan haba yang disebabkan oleh pengaliran, dengan itu mencapai taburan suhu yang lebih seragam dalam tiub tindak balas haba. Persekitaran terma seragam ini penting untuk mencapai keseragaman resapan wafer dan lapisan oksida, meningkatkan kualiti keseluruhan wafer.

Optimumkan prestasi penebat haba dan mengurangkan penggunaan tenaga

Ciri -ciri penebat haba yang sangat baik bagi bahan asas silikon membantu mengurangkan kehilangan haba di ruang relau, dengan itu meningkatkan kecekapan tenaga proses. Mekanisme pengurusan terma yang cekap ini bukan sahaja mempercepatkan kitaran pemanasan dan penyejukan, tetapi juga mengurangkan penggunaan tenaga dan kos operasi, menyediakan penyelesaian yang lebih ekonomik untuk pembuatan semikonduktor.

Spesifikasi Vetek semikonduktor silikon

Bandingkan kedai pengeluaran alas silikon semikonduktor