Apakah bot grafit pecvd?

Ⅰ. Apakah bahan bot grafit pecvd?

Bahan teras dariPECVD Graphite Boat(Bot grafit pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan) diperbuat daripada kemarahan tinggiBahan grafit isotropik(Kesucian biasanya ≥99.999%), dan diubahsuai oleh proses khas (seperti pemendapan wap kimia CVD atau salutan permukaan). Grafit kemelut tinggi digunakan secara meluas dalam sistem PECVD kerana kekonduksian elektrik yang sangat baik dan kekonduksian terma yang tinggi (80 ~ 150 W/m · k). IniBahan grafit kemelut tinggiboleh mengekalkan kestabilan struktur yang baik dan kestabilan kimia dalam persekitaran suhu tinggi, dan boleh menahan kakisan dari gas reaktif dan plasma.

Ⅱ. Apakah sifat fizikal bot grafit?

Ciri -ciri fizikal bot grafit PECVD termasuk:

● Kekonduksian elektrik: Grafit isostatik mempunyai kekonduksian elektrik yang sangat baik, yang membolehkannya menguruskan tenaga elektrik dengan berkesan dan mempromosikan penjanaan dan penyelenggaraan plasma semasa proses PECVD.

●  Kekonduksian terma: Kekonduksian terma tinggi grafit (kira -kira 80 ~ 150 W/m · k) membantu mengekalkan persekitaran suhu yang stabil semasa proses PECVD dan memastikan pemendapan seragam filem nipis.

●  Ketumpatan: Ketumpatan grafit polikristalin komersial berkisar antara 1.30 g/cm³ hingga 1.88 g/cm³. Semakin tinggi ketumpatan, semakin baik sifat fizikal dan mekanikal, yang dapat meningkatkan hayat perkhidmatan produk.

Ⅲ. Apakah kelebihan bot grafit pecvd berbanding dengan bot grafit biasa?

Berbanding dengan bot grafit biasa, bot grafit PECVD mempunyai kelebihan berikut:

Ⅳ. Mengapa memilih bot grafit pecvd veteksemicon?

Seperti yang kita semua tahu, Veteksemicon adalah pengeluar terkemuka dan pembekal produk salutan semikonduktor danproduk grafitdi China. KamiPECVD Graphite Boatsterutamanya digunakan dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, terutamanya dalam proses PECVD dan CVD.

Bot grafit biasanya digunakan sebagai pembawa untuk membawa wafer silikon atau bahan lain untuk memastikan pengendalian dan pengangkutan bahan -bahan yang selamat dalam persekitaran suhu tinggi dan plasma. Sebagai contoh, dalam proses pembuatan semikonduktor, bot grafit PECVD Veteksemicon direka untuk proses pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma. Bot grafit memainkan peranan mendepositkan lapisan passivasi silikon nitrida (sin ₓ) dan filem pemalar dielektrik rendah (rendah-K).

Dalam medan fotovoltaik, bot grafit PECVD digunakan untuk menyediakan sel solar filem nipis berasaskan silikon (seperti silikon amorf A-Si: H) dan lapisan pascasvation sel Perc. Bot grafit PECVD Veteksemicon mengoptimumkan proses salutan dengan berkesan jarak silikon wafer dan mendorong pelepasan cahaya untuk mencapai pemendapan salutan seragam.

Lebih penting lagi, Veteksemicon dapat menyediakan produk dan perkhidmatan teknikal yang disesuaikan, dan boleh merekabentuk dan mengeluarkan produk bot grafit dari spesifikasi yang berbeza mengikut keperluan proses sebenar anda. Memilih Veteksemicon bermakna memilih pemimpin industri dengan kekuatan yang kuat dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik. Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda.