PECVD Graphite Boat

Veteksemicon adalah pengeluar dan pembekal bot grafit China PECVD profesional.

Apakah peranan Boat Graphite Pecvd Solar Cell (Coating) Vetek?

Sebagai pembawa wafer silikon biasa yang dihasilkan oleh proses salutan, bot grafit mempunyai banyak wafer bot dengan selang tertentu dalam struktur, dan terdapat ruang yang sangat sempit di antara dua wafer bot bersebelahan, dan wafer silikon diletakkan di kedua -dua belah pintu kosong.

Kerana grafit bahan bot grafit pecvd mempunyai sifat kekonduksian elektrik dan terma yang baik, voltan ac ditanya di kedua -dua bot bersebelahan, sehingga kedua -dua bot bersebelahan membentuk tiang positif dan negatif, apabila ada tekanan dan gas tertentu di dalam ruang, Molekul Sinx dibentuk dan didepositkan di permukaan wafer silikon untuk mencapai tujuan salutan.

Bot grafit PECVD biasanya digunakan sebagai pembawa untuk membawa wafer silikon atau bahan lain untuk memastikan pengendalian dan pengangkutan bahan -bahan yang selamat dalam persekitaran suhu tinggi dan plasma. Sebagai contoh, dalam proses pembuatan semikonduktor, bot grafit PECVD Veteksemicon direka untuk proses pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma. Bot grafit memainkan peranan mendepositkan lapisan passivasi silikon nitrida (sin ₓ) dan filem pemalar dielektrik rendah (rendah-K).

Dalam medan fotovoltaik, bot grafit PECVD digunakan untuk menyediakan sel solar filem nipis berasaskan silikon (seperti silikon amorf A-Si: H) dan lapisan pascasvation sel Perc. Bot grafit PECVD Veteksemicon mengoptimumkan proses salutan dengan berkesan jarak silikon wafer dan mendorong pelepasan cahaya untuk mencapai pemendapan salutan seragam.

Lebih penting lagi, Veteksemicon dapat menyediakan produk dan perkhidmatan teknikal yang disesuaikan, dan boleh merekabentuk dan mengeluarkan produk bot grafit dari spesifikasi yang berbeza mengikut keperluan proses sebenar anda. Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda.

Dan Kelebihan bot grafit pecvd berbanding bot grafit biasa, klik sahaja