Komponen reaktor planet SiC Pepejal Aixtron G10

1. Ciri Utama & Kelebihan

• Struktur SiC Pepejal padat sepenuhnya, bebas pengikat untuk rintangan haus dan kakisan yang unggul

• Kekonduksian haba yang sangat baik dan rintangan kejutan haba pada suhu melebihi 1500 °C

• Penjanaan zarah ultra-rendah dan ketulenan tinggi, meminimumkan risiko pencemaran

• Kelalaian kimia yang luar biasa terhadap gas proses yang digunakan dalam epitaksi SiC

• Hayat perkhidmatan yang panjang di bawah kitaran suhu tinggi yang berulang

• Dimesin ketepatan kepada toleransi dimensi yang ketat untuk kesesuaian yang boleh dipercayai dan kestabilan proses

 2. Aplikasi Biasa

Aksesori Solid SiC ini digunakan dalam kawasan fungsi utama reaktor Aixtron G10, termasuk:

• Plat penutup dan elemen penutup terpilih

• Cincin pelindung dan komponen haus tinggi

• Pin ketepatan, pencuci dan bahagian struktur kecil

• Sisipan ketulenan tinggi tersuai lain yang terdedah kepada aliran gas yang kuat atau beban terma

Ia menyokong pengedaran suhu yang stabil, penghantaran gas seragam dan ketumpatan kecacatan yang rendah semasa pertumbuhan epitaxial SiC volum tinggi untuk MOSFET kuasa, diod dan peranti celah jalur lebar yang berkaitan.

3. Mengapa Memilih VeTek Solid SiC untuk Aixtron G10?

Sebagai pengilang khusus bahan gred semikonduktor, VeTek Semiconductor menyediakan:

• Komponen SiC Pepejal berketulenan tinggi yang disesuaikan untuk sistem Aixtron G10, sebagai contoh: Gelang penutup，Penutup dalam/luar，penarik ke bawah/plat sokongan，cakera satelit，susceptor

• Kawalan ketulenan yang ketat dan pemesinan CNC ketepatan

• Penyelesaian pelengkap termasuk grafit bersalut CVD SiC dan bahagian bersalut TaC untuk liputan medan terma yang lengkap

• Reka bentuk tersuai dipadankan dengan keadaan proses tertentu dan konfigurasi reaktor

Aksesori Solid SiC kami membantu pelanggan memaksimumkan kelebihan produktiviti platform Aixtron G10—keluaran wafer tinggi, ketebalan dan keseragaman doping yang sangat baik, dan kos pemilikan yang kompetitif—sambil memanjangkan hayat komponen dan mengurangkan kehilangan hasil berkaitan zarah.