Sic Coated Graphite Barrel Susceptor untuk EPI

✔ Pencemaran yang dikurangkan: Sifat lengai SiC menghalang kekotoran daripada melekat pada permukaan suseptor, mengurangkan risiko pencemaran filem termendap.

✔ Peningkatan rintangan hakisan: SiC jauh lebih tahan terhadap hakisan berbanding grafit konvensional, yang membawa kepada jangka hayat yang lebih lama untuk susceptor.

✔ Kestabilan Terma yang dipertingkatkan: SIC mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik dan dapat menahan suhu tinggi tanpa herotan yang ketara.

✔ Kualiti filem yang dipertingkatkan: Kestabilan terma yang lebih baik dan pencemaran yang dikurangkan menghasilkan filem termendap berkualiti tinggi dengan keseragaman dan kawalan ketebalan yang lebih baik.

✔ LED berasaskan GaN

✔ kuasa elektronik

✔ Peranti Optoelectronic

✔ Transistor frekuensi tinggi

✔ Sensor

Parameter Produk SIC Coated Graphite Barrel Susceptor

        Nota: Sebelum salutan, kami akan melakukan pembersihan pertama, selepas salutan, akan melakukan penulenan kedua.

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD