Dari proses pembuatan cawan sedutan elektrostatik kepada pengeluar pengeluaran besar -besaran

Prinsip dechuckElectrostatic Chuckadalah bahagian utama aliran kerja yang melibatkan penghapusan kuasa elektrostatik dan mekanisme pelepasan wafer. Berikut adalah analisis terperinci:

Inti Dechuck adalah untuk menghapuskan atau meneutralkan daya elektrostatik yang terserap pada wafer, dan kaedah khusus termasuk:

YoudaoPlaceHolder0 memotong kuasa

Berhenti memohon voltan semasa langsung ke elektrod untuk secara beransur -ansur menghapuskan medan elektrik.

YoudaoPlaceholder0 voltan terbalik atau suntikan gas ‌

Sesetengah sistem akan menggunakan voltan terbalik atau memperkenalkan gas lengai (seperti dia, n₂) untuk mempercepat peneutralan caj atau pemisahan fizikal.

Mari kita bandingkan teknik profesional pengeluaran ESC dan lihat pertama jika syarikat itu dapat mencapai skala sedemikian.

Teknologi analisis CAE, bahan berfungsi plat, reka bentuk elektrod, teknologi analisis, teknologi saluran penyejukan, teknologi reka bentuk pemanas, kakitangan kanan dalam peralatan semikonduktor.

Syarikat -syarikat Jepun dan Korea Selatan mesti dikendalikan sepenuhnya dengan kakitangan yang berkaitan. Jika tidak, tidak perlu bercakap tentang teknologi syarikat.

Teknologi Chuck, elektrod, cakera dan juga prinsip aliran HE belum dijelaskan lagi. Mari buat cawan sedutan elektrostatik yang kasar. Syarikat -syarikat sedemikian secara langsung diteruskan. Mereka pada dasarnya digunakan untuk mengekang wang pelabur. Ini adalah tahap asas tahu bagaimana. Pelabur juga harus berputus asa pada syarikat yang bermain dengan permainan kad dan tidak mempunyai pekerja dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam peralatan etsa, kerana ini bukan sebuah syarikat yang melakukan perkara praktikal.

Ketika datang ke tembakan serbuk dalam industri, semua orang berada dalam bidang yang sama. Setiap mempunyai formula tersendiri. Mana yang tidak mempunyai kekuatan untuk dilengkapi dengan permukaan seramik sintered? Pelabur juga boleh menyampaikan konfigurasi atau syarikat -syarikat ini yang tidak sepenuhnya memegang mereka, kerana logik asas mereka adalah sama: mereka bertujuan untuk menghasilkan wang, bukan untuk membangunkan produk.

Mengenai pembaikan, banyak syarikat domestik harus mempunyai keupayaan yang sama untuk L1 hingga L3 sekarang. Walaupun keupayaannya sedikit kurang, L1 masih boleh mengendalikannya. Untuk L3 dan ke atas, sama ada ia tidak boleh diperbaiki atau ia boleh subkontrak. Walau apa pun, masih ada cara untuk membaikinya.

Pembaikan Permukaan L1 Pembaikan, Peningkatan Kekasaran Permukaan/Penambahbaikan Kebosanan/Regenerasi Bump.

Pembaikan L2: Pembaikan lapisan bersama, rebonding asas logam dan cakera seramik/pengisian semula lapisan bersama.

L3 pembaikan penggantian cakera seramik, pembuatan cakera seramik/rebonding asas logam dan cakera seramik.

Guangdong Haituo Inovasi Precision Equipment Technology Co., Ltd

Syarikat itu memegang kedudukan utama dalam reka bentuk dan pengeluaran chucks dan peralatan elektrostatik domestik berdasarkan chuck elektrostatik sebagai teknologi teras. Pada masa ini, inovasi Haituo telah mencapai pengeluaran komersil cawan sedutan elektrostatik dan telah menyelesaikan penghantaran 4 inci hingga 12 inci semikonduktor fab elektrostatik.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Piala Suction Electrostatic yang dibangunkan secara bebas oleh Syarikat mematuhi piawaian dan pemprosesan yang berkaitankeperluan industri semikonduktor. Cawan sedutan elektrostatik aluminium PVD 12-inci yang dibangunkan pada peringkat awal telah, pada tahap tertentu, memecahkan monopoli jangka panjang pengeluar asing dalam bidang produk ini. Pada masa ini, Huazhuo Jingke telah menggunakan teknologi berkaitan cawan sedutan elektrostatik untuk pembuatan produk dan mencapai pengeluaran besar-besaran kecil. Ia juga boleh menyediakan produk tersuai untuk pelanggan.

Ditubuhkan pada tahun 2016, merupakan penyedia utama bahan salutan lanjutan untuk industri semikonduktor. Pengasas kami, bekas pakar dari Institut Bahan Akademi Sains China, menubuhkan syarikat itu dengan tumpuan untuk membangunkan penyelesaian canggih untuk industri.

Tawaran produk utama kami termasuk salutan Silicon Carbide (SIC) CVD, salutan Tantalum Carbide (TAC), SIC pukal, serbuk sic, dan bahan-bahan SIC yang tinggi. Produk utama adalah SIC Coated Graphite Susceptor, Preheat Rings, TAC cincin lencongan bersalut, bahagian separuhmoon, dan lain -lain, kesucian adalah di bawah 5ppm, dapat memenuhi keperluan pelanggan.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Produk Piala Suction Electrostatic yang dibangunkan oleh IT mempunyai petunjuk prestasi yang dapat memenuhi tuntutan perusahaan pembuatan cip. Mereka mempunyai ciri -ciri yang luar biasa seperti suhu yang boleh dikawal, daya penjerapan seragam, tiada calar atau kedutan semasa penjerapan, dan tiada kesan pengecualian kelebihan pada wafer. Mereka telah diperakui oleh perusahaan industri semikonduktor domestik terkemuka seperti teknologi memori Yangtze, mikroelektronik silan, dan inovasi China Utara dan telah mencapai jualan. Ia telah memecahkan monopoli pengeluar asing dalam bidang produk ini.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

Pada tahun 2022, syarikat membuat langkah strategik dalam bidang komponen seramik ketepatan, mencapai penyetempatan bahagian ketepatan yang sangat teknikal seperti plat pemanasan dan chuck elektrostatik. Petunjuk teknikal teras plat pemanasan seramik yang dibangunkan oleh Zhongci Electronics telah mencapai tahap produk antarabangsa yang sama dan telah disahkan oleh pengguna. Mereka telah digunakan dalam kelompok dalam peralatan semikonduktor domestik utama. Plat pemanasan seramik telah dihantar secara pukal, dan chuck elektrostatik telah dihantar untuk ujian sampel.