Perisai & Pengatup Kuarza Legap Ketulenan Tinggi Untuk MOCVD

1. Spesifikasi Teknikal

Kami menyediakan pemesinan berketepatan tinggi berdasarkan lukisan teknikal anda untuk memastikan kesesuaian sempurna dengan model peralatan khusus anda.

2. Medan Aplikasi Teras

● Perlindungan Proses MOCVD: Berfungsi sebagai perisai/pelapis dalaman yang penting untuk melindungi persekitaran tindak balas.

● Epitaksi Semikonduktor: Digunakan sebagai pengatup berketepatan tinggi untuk penstabilan aliran dan suhu semasa pertumbuhan filem nipis.

● Pembuatan Semikonduktor Jurang Jalur Lebar: Serasi dengan persekitaran permintaan tinggi untuk GaN dan bahan termaju lain.

3. Mengapa Memilih Penyelesaian Kuarza VETEK?

● Pengurusan Sinaran Terma Unggul: Kuarza putih susu kami mengandungi ketumpatan tinggi gelembung mikro yang menyerakkan dan menyekat sinaran haba suhu tinggi (>1000°C) dengan berkesan. Ia menyerap cahaya nampak dan inframerah dekat daripada unsur pemanasan dan menukarkannya kepada sinaran inframerah jauh, memastikan pemanasan yang sangat seragam.
● Kawalan Pencemaran & Penyelenggaraan Mudah: Sebagai pelapik dalam korban atau boleh diganti, Perisai Kuarza memastikan ruang tindak balas bersih dengan menghalang pemendapan produk sampingan pada dinding dan pemanas ruang yang mahal. Bahagian ini boleh dijana semula melalui pembersihan basah (seperti penyelesaian SPM+DHF) atau diganti dengan mudah untuk memastikan hasil wafer yang tinggi.
● Rintangan Kimia Melampau: Kuarza VETEK direka bentuk untuk menahan kitaran haba yang kerap dan menahan kakisan daripada organik logam (seperti TMGa) dan hidrida (seperti AsH₃).
● Kawalan Proses Ketepatan: Pengatup Kuarza kami mengekalkan kestabilan dimensi tinggi di bawah pemanasan inframerah atau filamen. Inersia haba yang rendah membolehkan tindak balas mekanikal yang cepat, membolehkan kawalan pertumbuhan "tahap atom" yang tepat dan mencegah pencemaran silang semasa pensuisan berbilang wafer atau berbilang proses.
● Alternatif Kos-Efektif: Untuk projek dengan keperluan bajet yang ketat, produk kuarza kami menyediakan titik masuk yang boleh dipercayai berbanding grafit bersalut, menawarkan perlindungan dan fungsi penting untuk sistem MOCVD.