Apakah aplikasi spesifik bahagian bersalut TAC dalam bidang semikonduktor?

Ciri -ciri Fizikal Salutan Tantalum Carbide (TAC)

Penggunaan salutan Tantalum Carbide (TAC) dalam bidang semikonduktor

1. Komponen Reaktor Pertumbuhan Epitaxial

Lapisan TAC digunakan secara meluas dalam komponen reaktor pemendapan wap kimia (CVD) epitaxial epitaxial dan silikon karbida (SIC), termasuk epitaxial, termasukpembawa wafer, hidangan satelit, muncung dan sensor. Komponen ini memerlukan ketahanan dan kestabilan yang sangat tinggi dalam persekitaran yang tinggi dan persekitaran yang menghakis. Lapisan TAC secara berkesan dapat memanjangkan hayat perkhidmatan mereka dan meningkatkan hasil.

2. Komponen pertumbuhan kristal tunggal

Dalam proses pertumbuhan kristal tunggal bahan seperti sic, gan dan aluminium nitride (AIN),Salutan TACdigunakan untuk komponen utama seperti crucibles, pemegang kristal benih, cincin panduan dan penapis. Bahan grafit dengan salutan TAC dapat mengurangkan penghijrahan kekotoran, meningkatkan kualiti kristal dan mengurangkan ketumpatan kecacatan.

3. Komponen perindustrian suhu tinggi

Lapisan TAC boleh digunakan dalam aplikasi perindustrian suhu tinggi seperti elemen pemanasan rintangan, muncung suntikan, cincin perisai dan lekapan patah. Komponen ini perlu mengekalkan prestasi yang baik dalam persekitaran suhu tinggi, dan rintangan haba TAC dan rintangan kakisan menjadikannya pilihan yang ideal.

4. Pemanas dalam sistem MOCVD

Pemanas grafit bersalut TAC telah berjaya diperkenalkan dalam sistem pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD). Berbanding dengan pemanas bersalut PBN tradisional, pemanas TAC dapat memberikan kecekapan dan keseragaman yang lebih baik, mengurangkan penggunaan kuasa, dan mengurangkan emisi permukaan, dengan itu meningkatkan integriti.

5. Pembawa wafer

Pembawa wafer bersalut TAC memainkan peranan penting dalam penyediaan bahan semikonduktor generasi ketiga seperti SIC, AIN dan GAN. Kajian telah menunjukkan bahawa kadar kakisanSalutan TACdalam persekitaran ammonia dan hidrogen suhu tinggi jauh lebih rendah daripadaSalutan sic, yang menjadikannya menunjukkan kestabilan dan ketahanan yang lebih baik dalam penggunaan jangka panjang.