Sic vakum seramik chuck untuk wafer

Saingan saya sic vakum seramik Chuck untuk wafer adalah komponen teras yang dibangunkan khusus untuk pembuatan semikonduktor generasi ketiga, dioptimumkan untuk persekitaran pemprosesan tekanan tinggi, tinggi yang dialami oleh wafer. Dibuat dari bahan seramik yang tinggi, pemesinan ketepatan, dan rawatan permukaan khusus memastikan prestasi memegang vakum yang stabil dan kestabilan terma yang sangat baik dalam proses pembuatan semikonduktor yang menuntut. Mereka secara berkesan menangani masalah warpage wafer dan kedudukan ketepatan kedudukan yang disebabkan oleh kekerasan bahan yang tinggi dan suhu proses yang tinggi.

Maklumat produk umum

Syarat Perniagaan Produk

Permohonan: Veteksemicon vakum seramik Chuck untuk wafer diperbuat daripada bahan seramik berprestasi tinggi dan ketepatan yang machined untuk memastikan permukaan ultra-flat dan kestabilan terma yang sangat baik. Ia menyediakan penyelesaian penyerapan wafer dan kawalan suhu yang boleh dipercayai untuk proses seperti pertumbuhan epitaxial, implantasi ion, dan fotolitografi, meningkatkan hasil proses dan kecekapan pengeluaran dengan berkesan ..

Perkhidmatan yang boleh disediakan: Analisis senario aplikasi pelanggan, bahan yang sepadan, penyelesaian masalah teknikal.

Profil syarikat: Veteksemicon mempunyai 2 makmal, satu pasukan pakar dengan pengalaman material 20 tahun, dengan keupayaan R & D dan pengeluaran, ujian dan pengesahan.

Saingan saya vakum seramik chuck untuk kelebihan teras wafer

 ● Terobosan Sains Bahan

Saingan saya menggunakan formulasi bahan yang unik dan proses sintering untuk meningkatkan kekuatan mekanikal dan kestabilan haba produknya sambil mengekalkan sifat penebat yang sangat baik bahan seramik. Seramik berasaskan alumina kami menggunakan bahan mentah yang tinggi dan formulasi tambahan khas, memastikan kestabilan dimensi yang sangat baik walaupun dalam persekitaran suhu tinggi. Seramik berasaskan karbida silikon kami, melalui proses sintering yang dioptimumkan, mencapai kekonduksian terma yang lebih tinggi dan pencocokan haba yang lebih baik, menjadikannya sangat sesuai untuk pemprosesan wafer SIC suhu tinggi.

 ● Prestasi pengurusan terma yang sangat baik

Reka bentuk berbilang lapisan dan pemesinan ketepatan yang unik kami memastikan bahawa Chuck mengekalkan keseragaman terma yang sangat baik walaupun di bawah keadaan operasi suhu tinggi. Chuck karbida silikon mempunyai kekonduksian terma melebihi 200W/m · K, membolehkan pengimbangan suhu cepat dan mengekalkan variasi suhu permukaan wafer dalam ± 0.8 ° C. Keupayaan pengurusan terma unggul ini berkesan mengelakkan kecacatan proses yang disebabkan oleh variasi suhu dan meningkatkan hasil produk dengan ketara.

● Teknologi pemesinan ultra-ketepatan

Saingan saya mempunyai pusat pemesinan ketepatan terkemuka di China, menggunakan proses pengisaran dan penggilap yang unik untuk mencapai kebosanan permukaan submicron. Chuck silikon karbida kami mencapai kebosanan permukaan dalam 0.8μm, dengan nilai kekasaran permukaan RA tidak lebih daripada 0.1μm. Kualiti permukaan ultra-ketepatan ini memastikan kesesuaian yang sempurna antara wafer dan chuck, memberikan rujukan rata yang boleh dipercayai untuk proses ketepatan seperti fotolitografi.

● Kehidupan perkhidmatan yang lebih baik

Melalui formulasi bahan yang dioptimumkan dan reka bentuk struktur bertetulang, produk kami mempunyai hayat perkhidmatan melebihi 40% berbanding produk tradisional. Teknologi pengukuhan kelebihan khas dan permukaan permukaan membolehkan produk kami menahan operasi pengapit dan pembersihan yang kerap. Produk berasaskan alumina dijamin beroperasi lebih dari 200,000 kali, manakala produk berasaskan silikon karbida dapat mencapai lebih dari 500,000 kitaran, dengan ketara mengurangkan kos operasi untuk pelanggan kami.

● Pengesahan pengesahan rantai ekologi

Saingan saya Seramik Vakum Chuck untuk Pengesahan Rantaian Ekologi Wafer meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah meluluskan pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kemampanannya dalam bidang tenaga semikonduktor dan baru.

Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih, atau susunan ujian sampelHubungi Pasukan Sokongan Teknikal kamiUntuk meneroka bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan kecekapan proses anda.