Chuck elektrostatik seramik

Proses pengeluaran semikonduktor, terutamanya pemprosesan wafer, dijalankan dalam persekitaran vakum, dan pengapit secara mekanikal membawa wafer 

risiko tertentu. Apabila daya tertumpu pada titik penjepit, wafer silikon rapuh boleh menumpahkan serpihan kecil, menyebabkan kerosakan yang serius terhadap pengeluaran wafer.

Dalam kes ini, chuck elektrostatik seramik menjadi pilihan yang lebih baik, yang membetulkan wafer oleh daya elektrostatik. Daya elektrostatik bertindak sama rata pada wafer, jadi wafer dapat diperbaiki dengan rata -rata, meningkatkan ketepatan proses.

Menurut kertas penyelidikan yang relevan, chuck elektrostatik seramik mempunyai sedutan yang lebih kuat daripada chuck elektrostatik yang lain. Sebagai contoh, chuck elektrostatik seramik mempunyai sedutan yang lebih kuat daripada filem peliharaan elektrostatik.

Seramik Chuck biasanya diperbuat daripada bahan-bahan seramik berprestasi tinggi seperti Al2O3, Aln atau SIC, yang mempunyai rintangan haba, penebat dan rintangan kakisan yang tinggi. Chuck seramik SIC tidak hanya stabil pada suhu yang melampau, tetapi juga berkesan menghalang E-chuck seramik dari kemerosotan akibat reagen kimia dan etsa plasma semasa proses pembuatan.

Kawalan suhu: Kekonduksian terma yang tinggi dan sifat terma yang stabil bahan seramik membolehkan vakum seramik alumina untuk mengawal suhu dengan berkesan, dengan itu mengoptimumkan pengagihan suhu semasa proses.

Kesesuaian vakum: Chuck elektrostatik seramik sesuai untuk persekitaran vakum, terutamanya dalam proses tekanan rendah dan ketepatan tinggi.

Generasi zarah yang rendah: E-chuck seramik SIC mempunyai permukaan licin, yang dapat mengurangkan pencemaran zarah semasa penetapan wafer dan membantu meningkatkan hasil produk.

Permohonan: Terutamanya digunakan dalam pembuatan semikonduktor, chuck elektrostatik seramik yang boleh dilepaskan yang menyediakan kedudukan dan kestabilan yang tepat, yang sangat membantu untuk litografi, etsa dan proses pembuatan pemprosesan semikonduktor yang lain. Pastikan wafer utuh semasa memproses dan meningkatkan kualiti pengeluaran cip.

Ia semikonduktorKedai Pengeluaran E-Chuck Seramik: