Nozzle Seramik Semikonduktor

Muncung seramik semikonduktor memainkan peranan penting dalamProses HDP-CVD, digunakan untuk mengawal aliran gas dengan tepat dan memastikanpemendapan filem berkualiti tinggi. Semburan muncung seramik tepat direka bentuk untuk memastikan kadar aliran gas yang konsisten dan dikawal, meminimumkan kemungkinan pergolakan apabila gas memasuki ruang tindak balas.

Spesifikasi Teknikal:

1. Komposisi bahan:

Nozel peletupan pasir Semikonduktor VeTeK biasanya diperbuat daripada seramik Semikonduktor seperti aluminium oksida (Al2O3),karbida silikon (sic), atau zirkonium oksida (ZrO2), bahan-bahan ini mempunyai sifat yang sangat baik:

    • Kestabilan terma yang tinggi (boleh menahan suhu melebihi 1000 ℃)

    • ketahanan terhadap kakisan oleh gas reaktif yang digunakan dalamProses CVD(seperti silane, ammonia)

    • rintangan kepada pendedahan plasma berterusan.

2. Reka Bentuk Struktur:

    • Saiz Orifis: Orifis muncung seramik Semikonduktor direka secara saintifik untuk membolehkan kawalan aliran gas yang tepat, yang seterusnya menjejaskan keseragaman dan ketebalan filem.

    • Sudut dan geometri: Direka tepat untuk memastikan pengagihan gas seragam merentasi substrat, meminimumkan kecacatan dalam lapisan yang disimpan.

Dalam industri semikonduktor, muncung letupan seramik Semikonduktor memainkan peranan penting terutamanya dalam proses HDP-CVD. Ia juga digunakan untuk mendepositkan filem nipis untuk penghasilan mikroelektronik, memastikan salutan permukaan berkualiti tinggi yang seragam dan bebas daripada bahan cemar.

Kedai muncung seramik semikonduktor Vetek: