Vakum seramik alumina

Vakum seramik Alumina Chuck adalah pemegang wafer untuk proses epitaxial dalam pemprosesan semikonduktor. Ia adalah alat utama untuk menstabilkan wafer dan memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial. Ia digunakan secara meluas dalam peralatan epitaxial sepertiMOCVDdanLpcvd.

Vetek semikonduktor alumina vakum seramik Chuck memainkan peranan penting dalam penipisan wafer dan pengisaran peringkat pembuatan semikonduktor. Peringkat ini melibatkan dengan tepat mengurangkan ketebalanSubstrat waferUntuk meningkatkan pelesapan haba cip, yang penting untuk meningkatkan kecekapan dan kehidupan peranti semikonduktor.

Sesuai dengan saiz wafer berganda: Vetek semikonduktor alumina seramik vakum Chuck direka untuk menyokong pelbagai saiz wafer, termasuk 2, 3, 4, 5, 6, 8, dan 12 inci. Kesesuaian ini menjadikannya sesuai untuk pelbagai persekitaran pengeluaran semikonduktor, memastikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai merentasi saiz wafer yang berbeza.

Komposisi bahan unggul: Pangkalan vakum seramik alumina diperbuat daripada ultra-pure 99.9999% alumina (al₂O₃), yang menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap serangan kimia dan kestabilan terma. Permukaan chuck diperbuat daripada berliangkarbida silikon (sic). Bahan seramik berliang mempunyai struktur padat dan seragam, yang meningkatkan ketahanan dan prestasinya.

FaedahTeknologi seramik berliang：

Kesucian bahan dan ketahanan: Diperbuat daripada 99.99% alumina tulen, vakum seramik alumina kami Chuck menentang serangan kimia dan menawarkan kestabilan terma yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk persekitaran pembuatan yang sangat menuntut.

Keliangan optimum dan kebolehtelapan udara: Micropores yang diedarkan secara merata memberikan kebolehtelapan udara yang sangat baik dan daya penyerapan seragam, mengakibatkan operasi yang lancar dan konsisten.

Kebosanan dan paralelisme yang dipertingkatkan: Microporous Alumina Ceramic Vacuum Chucks mempunyai kebosanan dan paralelisme yang sangat baik, memastikan pengendalian dan kestabilan wafer yang tepat.

Keupayaan perkhidmatan yang disesuaikan: Veteksemi boleh menyediakan pelbagai bentuk yang disesuaikan, termasuk bulat, persegi, cincin dan reka bentuk lain, dengan ketebalan dari 3mm hingga 10mm. Penyesuaian ini memastikan bahawa chuck vakum seramik alumina kami memenuhi keperluan khusus proses pembuatan semikonduktor yang berbeza dan pasti pilihan ideal anda.

Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk canggih untuk industri semikonduktor, dan kami berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

TheFormula kimiaSeramik Alumina：

Ia semikonduktorKedai Chuck Vacuum Ceramic Alumina: