Apa yang ada pada wafer?

Wafer silikonadalah asas litar bersepadu dan peranti semikonduktor. Mereka mempunyai ciri yang menarik - tepi rata atau alur kecil di sisi. Ia bukan kecacatan, tetapi penanda fungsi yang sengaja direka.Malah, kedudukan ini berfungsi sebagai rujukan arah dan penanda identiti sepanjang proses pembuatan keseluruhan.

Pada masa -masa awal, wafer kebanyakannya menggunakan "rata" sebagai penanda, yang bermaksud segmen segmen lurus pendek di tepi bulat. Kedudukan dan bilangan flat ini digunakan untuk membezakan orientasi kristal dan jenis doping. Oleh kerana saiz wafer meningkat dan proses precision bertambah baik, arus perdana 200 mm dan 300 mm wafer telah sebahagian besarnya diseragamkan pada reka bentuk takik berbentuk arka kecil. Kedudukan takik ini ditakrifkan oleh piawaian dan terletak pada orientasi tetap, yang digunakan untuk menunjukkan orientasi kristal wafer (contohnya <100> atau <111>) dan untuk menyediakan titik rujukan bersama untuk peralatan berikutnya.

Apakah fungsi taksiran wafer? 

• Pertama, ia memberikan rujukan untuk penjajaran wafer. Langkah -langkah utama seperti litografi, etsa dan implantasi ion memerlukan pelbagai lapisan corak yang akan disusun. Jika sistem koordinat setiap lapisan tidak konsisten, peranti akhir akan salah dan dibatalkan. Dengan mengesan kedudukan Notch, peralatan dapat dengan cepat menubuhkan sistem koordinat bersatu dan kemudian menggunakan tanda penjajaran untuk mencapai overlay yang tepat.
• Kedua, ia mengkodekan maklumat wafer. Orientasi kristal yang berbeza dan jenis doping yang berbeza (seperti p-jenis dan N-jenis) mempunyai sifat bahan yang berbeza dan pertimbangan reka bentuk. Orientasi Notch, digabungkan dengan tanda belakang dan cara lain, membolehkan garis pengeluaran dengan cepat mengenal pasti wafer semasa pengendalian dan penyortiran automatik, mengelakkan campuran antara jenis produk yang berbeza.
• Ketiga, ia memastikan keselamatan dalam pengendalian automatik. Fabs moden menggunakan senjata robot dan sistem pengendalian bahan automatik (AMHS). Sistem -sistem ini bergantung pada takik untuk menentukan bahagian depan/belakang dan orientasi wafer, mencegah misloading atau flipping yang sebaliknya akan menyebabkan kerugian hasil.

Bagi jurutera peranti dan proses, takik pada wafer mungkin kelihatan tidak penting, tetapi ia berjalan melalui keseluruhan rantaian proses dari fabrikasi kristal, epitaxy dan wafer sepanjang jalan ke ujian pra-pembungkusan. Setiap kali "arah" terlibat -orientasi kristal, penjajaran susun atur, orientasi tekanan, atau bahkan reka bentuk struktur peranti kuasa tertentu -ini penanda geometri kecil hampir selalu di latar belakang. Sebaik sahaja anda memahami peranan takik, ia menjadi lebih mudah untuk mengikuti bagaimana wafer "bergerak" melalui garis pengeluaran dan bagaimana setiap langkah proses membina sistem koordinatnya di sekeliling silikon ini.