Cincin bersalut relau menegak

Dalam relau menegak, penggunaan cincin bersalut SiC adalah penyelesaian biasa, terutamanya digunakan dalam proses rawatan haba suhu tinggiwafer semikonduktor. Cincin bersalut relau menegak adalah prestasi tinggi, komponen tahan suhu tinggi yang digunakan untuk menyokong atau melindungi wafer untuk memastikan kestabilan dan kebolehpercayaan proses.

Fungsi cincin bersalut SiC relau menegak

● Fungsi

Peranan menyokong. Digunakan untuk menyokong wafer untuk memastikan kestabilan dan kedudukan yang tepat dalam relau suhu tinggi.

●  Perlindungan kakisan

Elakkan gas atau bahan kimia yang menghakis daripada mengakis bahan asas.

●  Mengurangkan pencemaran

Salutan SiC ketulenan tinggi boleh menghalang penumpahan zarah dan pencemaran kekotoran dengan berkesan untuk memastikan kebersihan proses.

●  Rintangan suhu tinggi

Mengekalkan sifat mekanikal yang sangat baik dan kestabilan dimensi dalam persekitaran suhu tinggi (biasanya melebihi 1000 ° C).

Ciri-ciri cincin bersalut SiC Relau Menegak

●  Kekerasan dan kekuatan yang tinggi

Bahan SiC mempunyai kekuatan mekanikal yang sangat baik dan boleh menahan tekanan suhu tinggi di dalam relau.

●  Kestabilan haba yang baik

Kekonduksian terma tinggi SIC dan pekali pengembangan haba yang rendah membantu mengurangkan tekanan haba.

●  Kestabilan kimia yang kuat

Salutan SiC boleh menahan kakisan dalam persekitaran pengoksidaan, berasid atau beralkali.

●  Pencemaran zarah yang rendah

Permukaan licin mengurangkan kemungkinan penjanaan zarah, yang sangat sesuai untuk persekitaran ultra-bersih pembuatan semikonduktor.

Digunakan untuk resapan, pengoksidaan, penyepuhlindapan dan proses lain dalam relau menegak untuk menyokong wafer silikon dan mencegah pencemaran zarah semasa rawatan haba.

Bahan dan proses pembuatan

●  Substrat: Diperbuat daripada grafit SGL berkualiti tinggi, kualitinya dijamin.

●  Salutan: Salutan silikon karbida digunakan pada permukaan grafit melalui pemendapan wap kimia (CVD).

●  Ketebalan salutan biasanya antara 50~500μm, yang dilaraskan mengikut keperluan penggunaan.

●  Salutan SiC pemendapan wap kimia mempunyai ketulenan dan ketumpatan yang lebih tinggi serta ketahanan yang lebih baik.

Pilih yang sesuaiSalutan sicCincin mengikut diameter wafer silikon di dalam relau dan spesifikasi pembawa. Kami boleh menyesuaikannya untuk anda. Kesucian yang tinggi, salutan padat lebih tahan lama dan kurang mencemarkan. Secara teratur menggantikan mengikut kekerapan penggunaan dan keperluan proses untuk mengelakkan pencemaran atau kegagalan sokongan akibat penuaan salutan.

Sebagai pembekal dan pengilang cincin bersalut SiC Relau Tegak profesional di China, VeTek Semiconductor telah lama komited untuk menyediakan teknologi Relau Menegak termaju dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor. Kami amat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD

Ia semikonduktorKedai Cincin bersalut SiC Relau Menegak: