Apakah Tantalum Carbide TAC Coating? - Veteksemicon

Apakah Tantalum Carbide (TAC)?

Bahan seramik Tantalum Carbide (TAC) mempunyai titik lebur sehingga 3880 ℃ dan merupakan sebatian dengan titik lebur yang tinggi dan kestabilan kimia yang baik. Ia dapat mengekalkan prestasi yang stabil dalam persekitaran suhu tinggi. Di samping itu, ia juga mempunyai rintangan suhu yang tinggi, rintangan kakisan kimia, dan keserasian kimia dan mekanikal yang baik dengan bahan karbon, menjadikannya bahan salutan pelindung substrat grafit yang ideal. 

Tantalum Carbide Coatingsecara berkesan dapat melindungi komponen grafit dari kesan ammonia panas, hidrogen, wap silikon, dan logam cair dalam persekitaran penggunaan yang keras, dengan ketara memanjangkan hayat perkhidmatan komponen grafit dan menindas penghijrahan kekotoran dalam grafit, memastikan kualiti kualitiepitaxialdanPertumbuhan Kristal.

Rajah 1. Komponen bersalut karbida tantalum biasa

Penyediaan salutan TAC oleh proses CVD

Pemendapan wap kimia (CVD) adalah kaedah yang paling matang dan optimum untuk menghasilkan lapisan TAC pada permukaan grafit.

Menggunakan TACL5 dan propylene sebagai sumber karbon dan tantalum masing-masing, dan argon sebagai gas pembawa, wap TACL5 yang menguap suhu tinggi diperkenalkan ke dalam ruang tindak balas. Pada suhu dan tekanan sasaran, bahan-bahan wap bahan prekursor di permukaan grafit, menjalani satu siri tindak balas kimia yang kompleks seperti penguraian dan gabungan sumber karbon dan tantalum, serta satu siri tindak balas permukaan seperti penyebaran dan desorpsi oleh produk precursor. Akhirnya, lapisan pelindung padat terbentuk di permukaan grafit, yang melindungi grafit dari kewujudan yang stabil di bawah keadaan persekitaran yang melampau dan memperluaskan senario aplikasi bahan grafit.

Rajah 2.Prinsip proses pemendapan wap kimia (CVD)

Untuk maklumat lanjut mengenai prinsip dan proses penyediaan salutan CVD TAC, sila rujuk artikel:Bagaimana untuk menyediakan salutan CVD TAC?

Mengapa memilih Veteksemicon?

SemiconTerutamanya menyediakan produk Tantalum Carbide: cincin panduan TAC, TAC bersalut tiga cincin kelopak,TAC Coating Crucible, Grafit berliang salutan TAC digunakan secara meluas ialah proses pertumbuhan kristal SIC; Grafit berpori dengan TAC bersalut, cincin panduan bersalut TAC,Pembawa wafer grafit bersalut TAC, Salutan Tac Salutan,PELANGGAN PLANETER, Dan produk salutan karbida tantalum ini digunakan secara meluasProses epitaxy sicdanProses pertumbuhan kristal tunggal.

Rajah 3.Doktor haiwanproduk salutan karbida yang paling popular di semikonduktor Ek semikonduktor