Produk
Cincin Pra-Haba
  • Cincin Pra-HabaCincin Pra-Haba

Cincin Pra-Haba

Cincin pra-panas digunakan dalam proses epitaxy semikonduktor untuk memanaskan wafer dan menjadikan suhu wafer lebih stabil dan seragam, yang sangat penting untuk pertumbuhan lapisan epitaxy yang berkualiti tinggi. Vetek Semiconductor dengan ketat mengawal kesucian produk ini untuk mengelakkan volatilisasi kekotoran pada suhu tinggi. Selamat datang untuk mengadakan perbincangan lanjut dengan kami.

Cincin pra-panas adalah peralatan utama yang direka khusus untuk proses epitaxial (EPI) dalam pembuatan semikonduktor. Ia digunakan untuk memanaskan wafer sebelum proses EPI, memastikan kestabilan suhu dan keseragaman sepanjang pertumbuhan epitaxial.


Dikeluarkan oleh Vetek Semiconductor, cincin Heat EPI Pre kami menawarkan beberapa ciri dan kelebihan yang ketara. Pertama, ia dibina menggunakan bahan kekonduksian terma yang tinggi, yang membolehkan pemindahan haba yang cepat dan seragam ke permukaan wafer. Ini menghalang pembentukan hotspot dan kecerunan suhu, memastikan pemendapan yang konsisten dan meningkatkan kualiti dan keseragaman lapisan epitaxial. Selain itu, Cincin Pra Haba EPI kami dilengkapi dengan sistem kawalan suhu termaju, membolehkan kawalan suhu pra-panas yang tepat dan konsisten. Tahap kawalan ini meningkatkan ketepatan dan kebolehulangan langkah penting seperti pertumbuhan kristal, pemendapan bahan dan tindak balas antara muka semasa proses EPI.


Ketahanan dan kebolehpercayaan adalah aspek penting dalam reka bentuk produk kami. Cincin Heat Pre EPI dibina untuk menahan suhu tinggi dan tekanan operasi, mengekalkan kestabilan dan prestasi dalam tempoh yang panjang. Pendekatan reka bentuk ini mengurangkan kos penyelenggaraan dan penggantian, memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dan kecekapan operasi. Pemasangan dan operasi cincin haba EPI adalah mudah, kerana ia serasi dengan peralatan EPI biasa. Ia mempunyai penempatan wafer yang mesra pengguna dan mekanisme pengambilan semula, meningkatkan kemudahan dan kecekapan operasi.


Di Vetek Semiconductor, kami juga menawarkan perkhidmatan penyesuaian untuk memenuhi keperluan pelanggan tertentu. Ini termasuk menyesuaikan saiz, bentuk, dan suhu cincin EPI Pre Heat untuk diselaraskan dengan keperluan pengeluaran yang unik. Bagi penyelidik dan pengeluar yang terlibat dalam pertumbuhan epitaxial dan pengeluaran peranti semikonduktor, cincin haba EPI oleh Vetek Semiconductor menyediakan prestasi yang luar biasa dan sokongan yang boleh dipercayai. Ia berfungsi sebagai alat kritikal dalam mencapai pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi dan memudahkan proses pembuatan peranti semikonduktor yang cekap.


DATA SEM FILEM SIC CVD

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Sifat Fizikal Asas Salutan CVD SIC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta Nilai tipikal
Struktur kristal FCC β fasa polikristalin, terutamanya (111) berorientasikan
Ketumpatan lapisan SiC 3.21 g/cm³
Kekerasan lapisan SiC 2500 kekerasan Vickers (beban 500g)
Saiz Bijirin 2 ~ 10mm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1· K-1
Suhu sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 gpa 4pt bend, 1300 ℃
Kekonduksian Terma 300W · m-1· K-1
Pengembangan terma (CTE) 4.5 × 10-6K-1


Semikonduktor VeTekCincin pra-panasKedai Pengeluaran

SiC Graphite substratePre-Heat Ring testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


Teg Panas: Cincin pra-panas
Hantar Pertanyaan
Maklumat Hubungan
Untuk pertanyaan mengenai Salutan Silikon Karbida, Salutan Tantalum Karbida, Grafit Khas atau senarai harga, sila tinggalkan e-mel anda kepada kami dan kami akan berhubung dalam masa 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept