Suseptor grafit bersalut SiC untuk ASM

Maklumat umum produk

Terma perniagaan produk

✔ Permohonan: Substrat grafit bersalut Veteksemicon SiC ialah bahan guna guna utama untuk peralatan epitaxial siri ASM. Ia secara langsung menyokong wafer dan menyediakan medan haba yang seragam dan stabil semasa epitaksi suhu tinggi, menjadikannya komponen teras untuk memastikan pertumbuhan berkualiti tinggi bahan semikonduktor termaju seperti GaN dan SiC.

✔ Perkhidmatan yang boleh disediakan: analisis senario aplikasi pelanggan, bahan padanan, penyelesaian masalah teknikal. 

✔ Profil syarikat：Veteksemicon mempunyai 2 makmal, pasukan pakar dengan 20 tahun pengalaman material, dengan keupayaan R&D dan pengeluaran, ujian dan pengesahan.

Parameter Teknikal

Susceptor grafit bersalut Veteksemicon SiC untuk kelebihan teras ASM

1. Ketulenan yang melampau dan kadar kecacatan yang rendah

Dengan menggunakan substrat grafit khas gred zarah halus ketulenan tinggi, digabungkan dengan proses salutan pemendapan wap kimia (CVD) kami yang dikawal ketat, kami memastikan salutan itu padat, bebas daripada lubang jarum dan bebas daripada kekotoran. Ini dengan ketara mengurangkan risiko pencemaran zarah semasa proses epitaxial, menyediakan persekitaran substrat yang bersih untuk pertumbuhan lapisan epitaxial berkualiti tinggi.

2. rintangan kakisan yang sangat baik dan rintangan haus

Salutan silikon karbida pirolitik mempunyai kekerasan yang sangat tinggi dan lengai kimia, dengan berkesan menentang hakisan sumber silikon (seperti SiH4, SiHCl3), sumber karbon (seperti C3H8), dan gas etsa (seperti HCl, H2) pada suhu tinggi. Ini memanjangkan kitaran penyelenggaraan pangkalan dengan ketara dan mengurangkan masa henti mesin yang disebabkan oleh penggantian komponen.

3. Keseragaman dan kestabilan haba yang sangat baik

Kami mengoptimumkan pengagihan medan haba dalam julat suhu operasi melalui reka bentuk struktur substrat yang tepat dan kawalan ketebalan salutan. Ini secara langsung diterjemahkan kepada keseragaman ketebalan dan rintangan yang sangat baik dalam wafer epitaxial, menyumbang kepada hasil pembuatan cip yang lebih baik.

4. kekuatan lekatan salutan yang sangat baik

Prarawatan permukaan yang unik dan teknologi salutan kecerunan membolehkan salutan silikon karbida membentuk lapisan ikatan yang kuat dengan substrat grafit, dengan berkesan mencegah masalah pengelupasan, pengelupasan atau keretakan salutan yang mungkin berlaku semasa kitaran haba jangka panjang.

5. Saiz dan replikasi struktur yang tepat

Kami memiliki keupayaan pemesinan dan ujian CNC yang matang, membolehkan kami meniru sepenuhnya geometri kompleks, dimensi rongga dan antara muka pelekap asas asal, memastikan padanan sempurna dan kefungsian plug-and-play dengan platform pelanggan.

6. Pengesahan pengesahan rantaian ekologi

Susceptor grafit bersalut Veteksemicon SiC untuk pengesahan rantaian ekologi ASM meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah lulus pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kemampanannya dalam bidang semikonduktor dan tenaga baharu.

Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih atau susunan ujian sampel, sila hubungi Pasukan Sokongan Teknikal kami untuk meneroka cara Veteksemicon boleh meningkatkan kecekapan proses anda.

Medan aplikasi utama

Kedai produk Veteksemicon