SIC STOLED SUSCED UNTUK ASM

Maklumat produk umum

Syarat Perniagaan Produk

✔ Permohonan: Substrat grafit bersalut Veteksemicon SIC adalah penting untuk peralatan epitaxial siri ASM. Ia secara langsung menyokong wafer dan menyediakan medan terma seragam dan stabil semasa epitaxy suhu tinggi, menjadikannya komponen teras untuk memastikan pertumbuhan berkualiti tinggi bahan semikonduktor canggih seperti GAN dan SIC.

✔ Perkhidmatan yang boleh disediakan: Analisis senario aplikasi pelanggan, bahan yang sepadan, penyelesaian masalah teknikal. 

✔ Profil Syarikat: Veteksemicon mempunyai 2 makmal, satu pasukan pakar dengan 20 tahun pengalaman material, dengan R & D dan pengeluaran, ujian dan keupayaan pengesahan.

Parameter teknikal

Saingan saya Sic Coated Graphite Susceptor untuk Kelebihan Teras ASM

1. Kesucian melampau dan kadar kecacatan yang rendah

Menggunakan substrat grafit khas yang berkesinambungan tinggi, digabungkan dengan proses salutan pelepasan wap kimia (CVD) yang ketat, kami memastikan bahawa salutan itu padat, bebas dari lubang-lubang, dan bebas daripada kekotoran. Ini dengan ketara mengurangkan risiko pencemaran zarah semasa proses epitaxial, menyediakan persekitaran substrat yang bersih untuk pertumbuhan lapisan epitaxial berkualiti tinggi.

2. Rintangan kakisan yang sangat baik dan rintangan haus

Salutan karbida silikon pyrolytic mempunyai kekerasan yang sangat tinggi dan inertness kimia, dengan berkesan menentang hakisan sumber silikon (seperti SIH4, SIHCL3), sumber karbon (seperti C3H8), dan gas etsa (seperti HCl, H2) pada suhu yang tinggi. Ini dengan ketara memanjangkan kitaran penyelenggaraan asas dan mengurangkan downtime mesin yang disebabkan oleh penggantian komponen.

3. Keseragaman dan kestabilan terma yang sangat baik

Kami mengoptimumkan pengagihan medan terma dalam julat suhu operasi melalui reka bentuk struktur substrat yang tepat dan kawalan ketebalan salutan. Ini secara langsung diterjemahkan ke dalam ketebalan yang sangat baik dan keseragaman resistiviti dalam wafer epitaxial, menyumbang kepada hasil pembuatan cip yang lebih baik.

4. Kekuatan lekatan salutan yang sangat baik

Pretreatment permukaan yang unik dan teknologi salutan kecerunan membolehkan salutan karbida silikon untuk membentuk lapisan ikatan yang kuat dengan substrat grafit, dengan berkesan menghalang masalah mengupas, mengelupas, atau retak yang mungkin berlaku semasa berbasikal terma jangka panjang.

5. Saiz yang tepat dan replikasi struktur

Kami mempunyai keupayaan pemesinan dan ujian CNC yang matang, membolehkan kami meniru sepenuhnya geometri kompleks, dimensi rongga, dan antara muka asas asas, memastikan fungsi yang sesuai dan plug-and-play sempurna dengan platform pelanggan.

6. Pengesahan Pengesahan Rantaian Ekologi

Saingan saya SIC SPORCETOR grafit bersalut untuk pengesahan rantaian ekologi ASM meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah meluluskan pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kemampanannya dalam bidang semikonduktor dan medan tenaga baru.

Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih, atau pengaturan ujian sampel, sila hubungi pasukan sokongan teknikal kami untuk meneroka bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan kecekapan proses anda.

Bidang aplikasi utama

Kedai Produk Saingan saya