Bahan apa yang digunakan dalam komponen seramik semikonduktor?

Seramik Alumina (Al₂o₃) ‌

Seramik Alumina adalah "kerja keras" untuk pembuatan komponen seramik. Mereka mempamerkan sifat-sifat mekanikal yang sangat baik, titik lebur ultra tinggi dan kekerasan, rintangan kakisan, kestabilan kimia yang kuat, ketahanan tinggi, dan penebat elektrik yang unggul. Mereka biasanya digunakan untuk membuat plat penggilap, chuck vakum, lengan seramik, dan bahagian yang sama.

Seramik Nitrida ‌Aluminium (ALN)

Seramik aluminium nitrida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, pekali pengembangan haba yang sesuai dengan silikon, dan pemalar dan kehilangan dielektrik yang rendah. Dengan kelebihan seperti titik lebur yang tinggi, kekerasan, kekonduksian terma, dan penebat, mereka digunakan terutamanya dalam substrat penyebaran haba, muncung seramik, dan chuck elektrostatik.

Seramik ‌yttria (y₂o₃)

Seramik Yttria mempunyai titik lebur yang tinggi, kestabilan bahan kimia dan fotokimia yang sangat baik, tenaga phonon yang rendah, kekonduksian terma yang tinggi, dan ketelusan yang baik. Dalam industri semikonduktor, mereka sering digabungkan dengan seramik alumina -contohnya, lapisan yttria digunakan untuk seramik alumina untuk menghasilkan tingkap seramik.

‌Silicon Nitride Ceramics (Si₃n₄) ‌

Seramik silikon nitrida dicirikan oleh titik lebur yang tinggi, kekerasan luar biasa, kestabilan kimia, pekali pengembangan haba yang rendah, kekonduksian terma yang tinggi, dan rintangan kejutan terma yang kuat. Mereka mengekalkan rintangan dan kekuatan impak yang luar biasa di bawah 1200 ° C, menjadikannya sesuai untuk substrat seramik, cangkuk beban, pin kedudukan, dan tiub seramik.

Seramik Karbida Karbida (sic) ‌Silicon ‌

Silicon Carbide Ceramics, menyerupai berlian dalam sifat, adalah bahan ringan, ultra keras, dan kekuatan tinggi. Dengan prestasi komprehensif yang luar biasa, rintangan haus, dan rintangan kakisan, ia digunakan secara meluas dalam kerusi injap, galas gelongsor, pembakar, muncung, dan penukar haba.

‌Zirconia Ceramics (Zro₂) ‌

Seramik zirkonia menawarkan kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan haba, rintangan asid/alkali, dan penebat yang sangat baik. Berdasarkan kandungan zirkonia, mereka dikategorikan ke dalam:

• Seramik ketepatan (kandungan melebihi 99.9%, digunakan untuk substrat litar bersepadu dan bahan penebat frekuensi tinggi).
• Seramik biasa (untuk produk seramik tujuan umum).

Ciri -ciri strukturSeramik Semikonduktor Komponen

‌Dense Ceramics‌

Seramik padat digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor. Mereka mencapai ketekunan dengan meminimumkan liang-liang dan disediakan melalui kaedah seperti reaksi sintering, sintering tanpa tekanan, sintering fasa cecair, menekan panas, dan menekan isostatik panas.

‌Porous Ceramics

Berbeza dengan seramik padat, seramik berliang mengandungi jumlah lompang yang terkawal. Mereka diklasifikasikan dengan saiz liang ke dalam seramik microporous, mesoporous, dan makroporous. Dengan ketumpatan pukal yang rendah, struktur ringan, kawasan permukaan khusus yang besar, penapisan yang berkesan/penebat haba/sifat redaman akustik, dan prestasi kimia/fizikal yang stabil, ia digunakan untuk mengeluarkan pelbagai komponen dalam peralatan semikonduktor.