Apakah salutan TAC? - Vetek Semiconductor

Salutan TAC (Tantalum Carbide Coating) adalah bahan salutan berprestasi tinggi yang dihasilkan oleh proses pemendapan wap kimia (CVD). Oleh kerana sifat -sifat salutan TAC yang sangat baik di bawah keadaan yang melampau, ia digunakan secara meluas dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam peralatan dan komponen yang memerlukan suhu tinggi dan persekitaran menghakis yang kuat. Lapisan TAC biasanya digunakan untuk melindungi substrat (seperti grafit atau seramik) daripada kerosakan oleh suhu tinggi, gas menghakis dan memakai mekanikal.

Sifat fizikal salutan TAC

Ciri -ciri produk dan kelebihan

● Kestabilan terma yang sangat tinggi:

Penerangan Ciri: Lapisan TAC mempunyai titik lebur lebih daripada 3880 ° C dan dapat mengekalkan kestabilan tanpa penguraian atau ubah bentuk dalam persekitaran suhu yang sangat tinggi.

Kelebihan: Ini menjadikannya bahan yang sangat diperlukan dalam peralatan semikonduktor suhu tinggi seperti salutan CVD TAC dan Susceptor bersalut TAC, terutamanya untuk aplikasi dalam reaktor MOCVD, seperti peralatan Aixtron G5.

● Rintangan kakisan yang sangat baik:

Penerangan Ciri: TAC mempunyai inertness kimia yang sangat kuat dan secara berkesan dapat menahan hakisan gas menghakis seperti klorida dan fluorida.

Kelebihan: Dalam proses semikonduktor yang melibatkan bahan kimia yang sangat menghakis, salutan TAC melindungi komponen peralatan dari serangan kimia, memanjangkan hayat perkhidmatan dan meningkatkan kestabilan proses, terutamanya dalam penggunaan bot wafer karbida silikon dan komponen utama lain.

● Kekerasan mekanikal yang sangat baik:

Penerangan Ciri: Kekerasan salutan TAC adalah setinggi 9-10 Mohs, yang menjadikannya tahan dengan memakai mekanikal dan tekanan suhu tinggi.

Kelebihan: Harta kekerasan yang tinggi menjadikan salutan TAC sangat sesuai untuk digunakan dalam haus tinggi dan persekitaran tekanan tinggi, memastikan kestabilan jangka panjang dan kebolehpercayaan peralatan di bawah keadaan yang keras.

● Kereaktifan kimia yang rendah:

Penerangan Ciri: Oleh kerana inertness kimianya, salutan TAC dapat mengekalkan kereaktifan yang rendah dalam persekitaran suhu tinggi dan mengelakkan tindak balas kimia yang tidak perlu dengan gas reaktif.

Kelebihan: Ini amat penting dalam proses pembuatan semikonduktor kerana ia memastikan kesucian persekitaran proses dan pemendapan bahan berkualiti tinggi.

Peranan salutan TAC dalam pemprosesan semikonduktor

● Melindungi komponen peralatan utama:

Fungsi Penerangan: Lapisan TAC digunakan secara meluas dalam komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor, seperti TAC Coated Susceptor, yang perlu berfungsi di bawah keadaan yang melampau. Dengan salutan dengan TAC, komponen -komponen ini boleh beroperasi untuk jangka masa yang panjang dalam suhu tinggi dan persekitaran gas yang menghakis tanpa rosak.

● Memanjangkan hayat peralatan:

Fungsi Penerangan: Dalam peralatan MOCVD seperti Aixtron G5, salutan TAC dapat meningkatkan ketahanan komponen peralatan dan mengurangkan keperluan penyelenggaraan peralatan dan penggantian akibat kakisan dan haus.

● Meningkatkan kestabilan proses:

Keterangan Fungsi: Dalam pembuatan semikonduktor, salutan TAC memastikan keseragaman dan konsistensi proses pemendapan dengan menyediakan suhu tinggi dan persekitaran kimia yang stabil. Ini amat penting dalam proses pertumbuhan epitaxial seperti epitaxy silikon dan gallium nitride (GaN).

● Meningkatkan kecekapan proses:

Fungsi Penerangan: Dengan mengoptimumkan salutan pada permukaan peralatan, salutan TAC dapat meningkatkan kecekapan keseluruhan proses, mengurangkan kadar kecacatan, dan meningkatkan hasil produk. Ini adalah penting untuk pembuatan bahan semikonduktor ketepatan tinggi, kesulitan tinggi.

Kestabilan terma yang tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik, kekerasan mekanikal dan kereaktifan kimia yang rendah yang dipamerkan oleh salutan TAC semasa pemprosesan semikonduktor menjadikannya pilihan yang ideal untuk melindungi komponen peralatan pembuatan semikonduktor. Memandangkan permintaan industri semikonduktor untuk suhu tinggi, kesucian tinggi dan proses pembuatan yang cekap terus meningkat, salutan TAC mempunyai prospek aplikasi yang luas, terutamanya dalam peralatan dan proses yang melibatkan salutan CVD TAC, TAC Coated Susceptor dan Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd adalah penyedia utama bahan salutan lanjutan untuk industri semikonduktor. Syarikat kami memberi tumpuan kepada membangunkan penyelesaian canggih untuk industri.

Tawaran produk utama kami merangkumiSalutan Silicon Carbide (SIC) CVD, lapisan Tantalum Carbide (TAC), SIC pukal, serbuk sic, dan bahan-bahan sic yang tinggi, SIC celap grafit bersalut, cincin panaskan, cincin lencongan bersalut TAC, bahagian separuh, dan lain-lain, kesucian adalah di bawah 5ppm, dapat memenuhi keperluan pelanggan.

Vetek Semiconductor memberi tumpuan kepada membangunkan teknologi canggih dan penyelesaian pembangunan produk untuk industri semikonduktor.Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.