Plat sokongan alas TAC Coating

VETEK Semiconductor adalah pengeluar & pembekal China yang terutamanya menghasilkan penahan salutan CVD TAC, cincin masuk, wafer chunck, pemegang bersalut TAC, plat sokongan alas TAC Coating dengan pengalaman bertahun -tahun. Berharap untuk membina hubungan perniagaan dengan anda.

Seramik TAC mempunyai titik lebur sehingga 3880 ℃, kekerasan tinggi (kekerasan Mohs 9 ~ 10), kekonduksian terma besar (22W · m^-1· K^-1), kekuatan lenturan besar (340 ~ 400mpa), dan pekali pengembangan haba kecil (6.6 × 10^-6K^-1), dan menunjukkan kestabilan termokimia yang sangat baik dan sifat fizikal yang sangat baik. Ia mempunyai keserasian kimia dan mekanikal yang baik dengan bahan -bahan komposit grafit dan C/C, jadi salutan TAC digunakan secara meluas dalam perlindungan haba aeroangkasa, pertumbuhan kristal tunggal dan reaktor epitaxial seperti AIXTRON, LPE EPI reaktor dalam industri semikonduktor. 

Grafit bersalut TAC mempunyai rintangan kakisan kimia yang lebih baik daripada dakwat batu telanjang atau grafit bersalut SIC, boleh digunakan secara stabil wafer. Ia amat sesuai untuk tumbuh kristal tunggal GAN ​​atau ALN dalam peralatan MOCVD dan kristal tunggal SIC dalam peralatan PVT, dan kualiti kristal tunggal yang ditanam jelas bertambah baik.