Susceptor Bersalut SiC MOCVD

Parameter Teknikal

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

Definisi dan Komposisi Produk

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor ialah komponen pembawa wafer premium yang direka bentuk khusus untuk pemprosesan epitaxial semikonduktor generasi ketiga, seperti GaN dan SiC. Produk ini menyepadukan sifat fizikal unggul dua bahan berprestasi tinggi:

Substrat Grafit Ketulenan Tinggi: Dihasilkan menggunakan teknologi penekan isostatik untuk memastikan bahan asas mempunyai integriti struktur yang luar biasa, ketumpatan tinggi dan kestabilan pemprosesan haba.

Salutan SiC CVD: Lapisan pelindung silikon karbida (SiC) padat tanpa tekanan ditanam pada permukaan grafit melalui teknologi Pemendapan Wap Kimia (CVD) termaju.

Mengapa VETEK adalah Jaminan Hasil Anda

Ketepatan Tertinggi dalam Kawalan Keseragaman Terma: Tidak seperti pembawa konvensional, susceptor VETEK mencapai pemindahan haba yang sangat disegerakkan merentasi seluruh permukaan melalui kawalan ketepatan skala nanometer bagi ketebalan salutan dan rintangan haba. Pengurusan terma yang canggih ini secara berkesan meminimumkan sisihan piawai (STD) panjang gelombang pada permukaan wafer, dengan ketara meningkatkan kualiti wafer tunggal dan konsistensi kelompok keseluruhan.

Perlindungan Jangka Panjang dengan Pencemaran Zarah Sifar: Dalam ruang tindak balas MOCVD yang mengandungi gas yang sangat menghakis, alas grafit biasa terdedah kepada pengelupasan zarah. Salutan CVD SiC VETEK mempunyai sifat lengai kimia yang luar biasa, bertindak sebagai perisai yang tidak dapat ditembusi yang menutup liang mikro grafit. Ini memastikan pengasingan total kekotoran substrat, menghalang sebarang pencemaran lapisan epitaxial GaN atau SiC.

Rintangan Keletihan yang Luar Biasa dan Hayat Perkhidmatan:Terima kasih kepada proses rawatan antara muka proprietari VETEK, salutan SiC kami mencapai padanan pengembangan terma yang dioptimumkan dengan substrat grafit. Walaupun di bawah kitaran haba frekuensi tinggi antara suhu yang melampau, salutan mengekalkan lekatan yang unggul tanpa mengelupas atau mengembangkan retakan mikro. Ini dengan ketara mengurangkan kekerapan penyelenggaraan alat ganti dan mengurangkan jumlah kos pemilikan anda.

Bengkel kami