Bahagian ganti salutan TAC

Ia semikonduktorPlat salutan TACadalah bahan khas yang digunakan secara meluas diSemikonduktorproses pembuatan. Dikombinasikan dengan kekerasan dan rintangan haus yang tinggi, rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, pekali geseran yang rendah dan kekonduksian terma yang baik, plat salutan TAC memainkan peranan yang tidak dapat digantikan dalam banyak hubungan pemprosesan semikonduktor.

Umumnya, aplikasiPlat bersalut TACDalam pemprosesan semikonduktor adalah seperti berikut:

● Substrat pertumbuhan CVD/ALD: Rintangan suhu tinggi, kestabilan kimia dan pekali geseran rendah plat bersalut TAC menjadikannya substrat pertumbuhan CVD/ALD yang ideal. Ia dapat menyediakan persekitaran pertumbuhan yang stabil untuk memastikan keseragaman dan ketumpatan filem.

●  Plat topeng etching: Kekerasan yang tinggi dan ketahanan kakisan plat bersalut TAC membolehkan mereka menahan proses tenaga tinggi seperti etsa plasma, sebagai plat topeng etching, melindungi filem yang mendasari.

●  CMP menggilap pad: Rintangan haus dan pekali geseran rendah plat bersalut TAC menjadikannya bahan yang ideal untuk pad penggilap CMP, yang secara berkesan dapat menghapuskan zarah dan kecacatan pada permukaan filem.

●  Tiub relau suhu tinggi: Rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan plat bersalut TAC membolehkan mereka digunakan sebagai tiub relau dalam relau suhu tinggi untuk penyepuh suhu tinggi, penyebaran dan proses lain.

Parameter teknikal salutan TAC CVD：

Vetek semikonduktor salutan salutan bahagian produk kedai：