Salutan seramik karbida silikon

Ia semikonduktor Salutan seramik karbida silikonadalah salutan pelindung berprestasi tinggi yang diperbuat daripada bahan silikon karbida yang sangat keras dan tahan haus, yang memberikan ketahanan kakisan kimia yang sangat baik dan kestabilan suhu tinggi. Ciri -ciri ini penting dalam pengeluaran semikonduktor, jadi salutan seramik karbida silikon digunakan secara meluas pada komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor.

Peranan spesifik yang dimainkan oleh salutan seramik karbida silikon vetonduktor dalam pengeluaran semikonduktor adalahseperti berikut:

Meningkatkan ketahanan peralatan: Salutan seramik karbida silikon menyediakan perlindungan permukaan yang sangat baik untuk peralatan pembuatan semikonduktor dengan kekerasan yang sangat tinggi dan rintangan haus. Terutama dalam persekitaran proses yang tinggi, yang sangat menghakis, seperti pemendapan wap kimia (CVD) dan etsa plasma, salutan seramik silikon karbida secara berkesan dapat mencegah kerosakan pada permukaan peralatan akibat hakisan kimia atau pakaian fizikal, dengan itu memperluaskan hayat perkhidmatan peralatan dan mengurangkan downtime yang disebabkan oleh penggantian dan penyelenggaraan yang kerap.

Meningkatkan kesucian proses: Dalam proses pembuatan semikonduktor, sebarang pencemaran kecil boleh menyebabkan kecacatan produk. Kekurangan kimia salutan seramik karbida silikon membolehkannya kekal stabil di bawah keadaan yang melampau, menghalang bahan daripada melepaskan zarah atau kekotoran, dan memastikan kesucian alam sekitar semasa proses. Ini amat penting untuk langkah -langkah pembuatan yang memerlukan ketepatan yang tinggi dan kebersihan yang tinggi, seperti implantasi PECVD dan ion.

Mengoptimumkan pengurusan terma: Dalam pemprosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti pemprosesan terma pesat (RTP) dan proses pengoksidaan, kekonduksian terma tinggi salutan seramik karbida silikon membolehkan pengedaran suhu seragam di dalam peralatan. Ini membantu mengurangkan tekanan haba dan ubah bentuk bahan yang disebabkan oleh turun naik suhu, dengan itu meningkatkan ketepatan pembuatan produk dan konsistensi.

Menyokong Persekitaran Proses Kompleks: Dalam proses yang memerlukan kawalan atmosfera yang kompleks, seperti proses etsa ICP dan proses etsa PSS, rintangan kestabilan dan pengoksidaan pemanas salutan seramik karbida silikon memastikan prestasi yang stabil peralatan dalam operasi jangka panjang, mengurangkan risiko kerosakan bahan atau kerosakan peralatan akibat perubahan alam sekitar.

Ia semikonduktormemberi tumpuan kepada pembuatan dan pembekalan prestasi tinggiSalutan seramik karbida silikon, dan komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk canggih untuk industri semikonduktor.Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Sifat fizikal asasSalutan seramik karbida silikon:

Kedai salutan seramik silikon karbida silikon vetek:

Gambaran Keseluruhan Rangkaian Industri Epitaxy Chip Semikonduktor: