Elemen pemanasan salutan cvd sic

Elemen pemanasan salutan CVD SIC digunakan terutamanya dalam peralatan PVD (pemendapan wap fizikal). Dalam proses penyejatan, bahan dipanaskan untuk mencapai penyejatan atau sputtering, dan akhirnya filem tipis seragam terbentuk pada substrat.

Ⅰ.Permohonan khusus

Pemendapan filem nipis: Unsur pemanasan salutan CVD SIC digunakan dalam sumber penyejatan atau sumber sputtering. Dengan pemanasan, elemen memanaskan bahan yang akan didepositkan ke suhu yang tinggi, supaya atom atau molekulnya dipisahkan dari permukaan bahan, dengan itu membentuk wap atau plasma. Elemen pemanasan kami berasaskan salutan SIC juga boleh memanaskan beberapa bahan logam atau seramik untuk menguap atau menyematkannya dalam persekitaran vakum untuk digunakan sebagai sumber bahan dalam proses PVD. Kerana struktur mempunyai alur sepusat, ia dapat mengawal laluan semasa dan pengedaran haba untuk memastikan keseragaman pemanasan.

Gambarajah skematik proses PVD penyejatan

Ⅱ.Prinsip kerja

Pemanasan rintangan, apabila arus melewati laluan rintangan pemanas bersalut SIC, haba joule dihasilkan, dengan itu mencapai kesan pemanasan. Struktur sepusat membolehkan arus diedarkan secara merata. Peranti kawalan suhu biasanya disambungkan ke elemen untuk memantau dan menyesuaikan suhu.

Ⅲ.Reka bentuk bahan dan struktur

Unsur pemanasan salutan CVD SIC diperbuat daripada grafit kemelut tinggi dan salutan SIC untuk mengatasi persekitaran suhu tinggi. Grafit kemelut tinggi itu sendiri telah digunakan secara meluas sebagai bahan medan terma. Selepas lapisan salutan digunakan pada permukaan grafit oleh kaedah CVD, kestabilan suhu tinggi, rintangan kakisan, kecekapan haba dan ciri-ciri lain diperbaiki lagi.

Reka bentuk alur sepusat membolehkan arus membentuk gelung seragam pada permukaan cakera. Ia mencapai pengagihan haba seragam, mengelakkan terlalu panas tempatan yang disebabkan oleh kepekatan di kawasan tertentu, mengurangkan kehilangan haba tambahan yang disebabkan oleh kepekatan semasa, dan dengan itu meningkatkan kecekapan pemanasan.

Unsur pemanasan salutan CVD SIC terdiri daripada dua kaki dan badan. Setiap kaki mempunyai benang yang menghubungkan ke bekalan kuasa. Semikonduktor Vetek boleh membuat bahagian satu bahagian atau bahagian berpecah, iaitu, kaki dan badan dibuat secara berasingan dan kemudian dipasang. Tidak kira apa keperluan yang anda miliki untuk pemanas bersalut CVD SIC, sila rujuk kami. Veteksemi boleh menyediakan produk yang anda perlukan.

Sifat fizikal asas salutan CVD sic ：