Silikon karbida wafer chuck

Vetek semikonduktor silikon karbida wafer chuck menggunakan sifat -sifat yang sangat baik bahan silikon karbida untuk memenuhi keperluan ketat pengeluaran semikonduktor, terutamanya dalam pemprosesan semikonduktor yang memerlukan ketepatan dan kebolehpercayaan yang sangat tinggi.

Dalam proses pemprosesan semikonduktor,Silicon Carbidemempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik (boleh berfungsi dengan stabil sehingga 1400 ° C), kekonduksian yang rendah (sic mempunyai kekonduksian yang agak rendah, biasanya 10^^-3S/m) dan pekali pengembangan haba yang rendah (kira -kira 4.0 × 10^^-6/° C), yang merupakan bahan yang sangat diperlukan dan penting, terutamanya sesuai untuk pembuatan silikon karbida wafer chuck.

SemasaProses pertumbuhan epitaxial, lapisan nipis bahan semikonduktor didepositkan pada substrat, yang memerlukan kestabilan mutlak dari wafer untuk memastikan lapisan pemendapan filem seragam dan berkualiti tinggi. Vakum SIC Chuck mencapai ini dengan mewujudkan firma, memegang vakum yang konsisten untuk mengelakkan sebarang pergerakan atau ubah bentuk wafer.

The silikon karbida wafer Chuck juga menawarkan rintangan yang sangat baik terhadap kejutan haba. Perubahan suhu pesat adalah perkara biasa dalam pembuatan semikonduktor, dan bahan -bahan yang tidak dapat menahan turun naik ini boleh retak, bengkok, atau gagal. Karbida silikon mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah dan dapat mengekalkan bentuk dan fungsinya walaupun di bawah perubahan suhu drastik, memastikan wafer tetap selamat semasa proses epitaxy tanpa pergerakan atau misalignment.

Selain itu,proses epitaxysering melibatkan gas reaktif dan bahan kimia yang menghakis lain. Ketidaksuburan kimia sic wafer chuck memastikan bahawa ia tidak terjejas oleh persekitaran yang keras ini, mengekalkan prestasinya dan memperluaskan hayat perkhidmatannya. Ketahanan kimia ini bukan sahaja mengurangkan kekerapan penggantian wafer chuck, tetapi juga memastikan prestasi produk yang konsisten ke atas pelbagai kitaran pengeluaran, membantu meningkatkan kecekapan keseluruhan dan keberkesanan kos proses pembuatan semikonduktor.

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka dan pembekal produk silikon karbida wafer chuck di China. Kami dapat menyediakan pelbagai jenis produk chuck sepertiChuck seramik sic berliang, Vakum sic berliang, Vakum seramik berliangdanTAC bersalut Chuck, dan lain -lain Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk canggih untuk industri semikonduktor. Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Data SEM CvdStruktur kristal filem sic：

Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：