Pemanas salutan seramik karbida silikon

Ia semikonduktorPemanas salutan seramik karbida silikon adalah pemanas yang direka untuk suhu tinggi dan persekitaran yang keras. Ia melapisi lapisan salutan seramik karbon silikon (sic) pada permukaan elemen pemanasan untuk memberikan peralatan rintangan haba yang sangat baik, rintangan kakisan dan kekonduksian terma. 

Pemanas salutan seramik karbida silikonterutamanya digunakan dalam peralatan vakum (penyejatan). Kaedah yang biasa digunakan ialah PCD (pengeringan kimia plasma) dan PVD (pemendapan wap fizikal), yang digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor dan aplikasi perindustrian yang lain.

Digabungkan dengan reka bentuk salutan berprestasi tinggi pemanas salutan seramik karbida silikon,ia dapat memberikan penyelesaian pemanasan yang sangat baik untuk proses suhu tinggi.

Kekonduksian terma yang sangat baik: Bahan SIC mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, memastikan pemanas dapat mencapai pengagihan haba seragam di kawasan kerja dan mengurangkan kecerunan suhu.

Berikan taburan haba seragam: Pemanas salutan seramik karbida silikon menggunakan kekonduksian haba yang tinggi bagi bahan SIC untuk mencapai pengagihan suhu seragam di seluruh kawasan pemanasan. Ini adalah penting untuk memastikan rawatan haba seragam wafer semikonduktor dalam pelbagai proses suhu tinggi seperti pemprosesan haba pesat (RTP), penyebaran dan pengoksidaan, mengelakkan kecacatan produk yang disebabkan oleh suhu panas atau suhu yang tidak rata.

Toleransi suhu tinggi: Salutan SIC membolehkan pemanas menahan suhu yang sangat tinggi, biasanya sehingga 1600 ° C, sesuai untuk pelbagai proses pemprosesan suhu tinggi.

Meningkatkan rintangan haba: Kerana salutan dapat menahan suhu yang sangat tinggi, ia berfungsi dengan baik dalam proses yang memerlukan operasi suhu tinggi jangka panjang. Sebagai contoh, dalam proses pemendapan wap kimia (CVD), pemanas salutan seramik karbida silikon dapat memastikan operasi stabil jangka panjang peralatan pada suhu tinggi dan mengekalkan prestasi pemanasan yang konsisten, dengan itu meningkatkan kebolehulangan proses dan kebolehpercayaan.

Rintangan kakisan kimia: Salutan SIC mempunyai rintangan yang sangat tinggi terhadap asid, alkali dan gas yang menghakis, dan boleh kekal stabil untuk masa yang lama dalam persekitaran atmosfera kimia yang kompleks, memanjangkan hayat peralatan. 

Memperluaskan kehidupan peralatan: Salutan SIC mempunyai rintangan pengoksidaan yang sangat baik dan rintangan kakisan, dan secara berkesan dapat menahan hakisan kimia dan pengoksidaan pada suhu tinggi. Ini sangat kritikal dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam persekitaran yang mengendalikan gas dan bahan kimia yang menghakis. Kesan perlindungan salutan dapat memanjangkan hayat perkhidmatan pemanas dan mengurangkan kekerapan kos penggantian peralatan dan penyelenggaraan.

Sifat Fizikal Asas Pemanas Salutan Seramik Silicon Carbide:

Vetek Semikonduktor Silicon Carbide Ceramic Coating Heater Shops:

Tinjauan Vetek Semikonduktor Chip Epitaxy Rantai Industri: