TAC Coating Chuck

Vetek Semiconductor's TAC Coating Chuck adalah penyelesaian yang ideal untuk mencapai hasil yang luar biasa dalam proses EPI SIC. Dengan salutan karbida tantalum, rintangan suhu tinggi, dan ketidakcukupan kimia, produk kami memberi anda kuasa untuk menghasilkan kristal berkualiti tinggi dengan ketepatan dan kebolehpercayaan.

Tac tantalum carbide adalah bahan yang biasa digunakan untuk melapisi permukaan bahagian dalaman peralatan epitaxial. Ia mempunyai ciri -ciri berikut:

● Rintangan suhu tinggi yang sangat baik: Salutan karbida Tantalum dapat menahan suhu sehingga 2200 ° C, menjadikannya sesuai untuk aplikasi dalam persekitaran suhu tinggi seperti ruang reaksi epitaxial.

● Kekerasan tinggi: Kekerasan karbida Tantalum mencapai kira -kira 2000 HK, yang jauh lebih sukar daripada keluli tahan karat atau aloi aluminium yang biasa digunakan, yang secara berkesan dapat mencegah pakaian permukaan.

● Kestabilan kimia yang kuat: Salutan karbida Tantalum berfungsi dengan baik dalam persekitaran yang menghakis kimia dan dapat memanjangkan hayat perkhidmatan komponen peralatan epitaxial.

● Kekonduksian elektrik yang baik: Permukaan salutan mempunyai kekonduksian elektrik yang baik, yang kondusif untuk pelepasan elektrostatik dan pengaliran haba.

Ciri -ciri ini menjadikan TAC tantalum carbide salutan bahan yang ideal untuk pembuatan bahagian kritikal seperti bushings dalaman, dinding ruang tindak balas, dan unsur pemanasan untuk peralatan epitaxial. Dengan melapisi komponen ini dengan TAC, prestasi keseluruhan dan hayat perkhidmatan peralatan epitaxial dapat ditingkatkan.

Untuk epitaxy karbida silikon, TAC Coating Chunk juga boleh memainkan peranan penting. Salutan permukaan lancar dan padat, yang kondusif untuk pembentukan filem karbida silikon berkualiti tinggi. Pada masa yang sama, kekonduksian terma yang sangat baik dari TAC dapat membantu meningkatkan keseragaman pengagihan suhu di dalam peralatan, dengan itu meningkatkan ketepatan kawalan suhu proses epitaxial, dan akhirnya mencapai kualiti yang lebih tinggiSilicon Carbide Epitaxialpertumbuhan lapisan.

Kedai Produk Semikonduktor Vetek: